Silicio karbido danga,Paprastai vadinama SiC danga – tai silicio karbido sluoksnio padengimo ant paviršių procesas, kai naudojami cheminis garų nusodinimas (CVD), fizikinis garų nusodinimas (PVD) arba terminis purškimas. Ši silicio karbido keraminė danga pagerina įvairių pagrindų paviršiaus savybes, suteikdama išskirtinį atsparumą dilimui, terminį stabilumą ir apsaugą nuo korozijos. SiC yra žinomas dėl savo išskirtinių fizikinių ir cheminių savybių, įskaitant aukštą lydymosi temperatūrą (maždaug 2700 ℃), ypatingą kietumą (Mohso skalė 9), puikų atsparumą korozijai ir oksidacijai bei išskirtines abliacijos savybes.
Pagrindiniai silicio karbido dangos privalumai pramonėje
Dėl šių savybių silicio karbido danga plačiai naudojama tokiose srityse kaip aviacija ir kosmoso pramonė, ginklų įranga ir puslaidininkių apdirbimas. Ekstremaliomis sąlygomis, ypač 1800–2000 ℃ diapazone, SiC danga pasižymi puikiu terminiu stabilumu ir atsparumu abliacijai, todėl idealiai tinka naudoti aukštoje temperatūroje. Tačiau vien tik silicio karbidui trūksta daugeliui pritaikymų reikalingo struktūrinio vientisumo, todėl naudojami dengimo metodai, siekiant išnaudoti unikalias jo savybes nepakenkiant komponentų stiprumui. Puslaidininkių gamyboje silicio karbidu dengti elementai užtikrina patikimą apsaugą ir veikimo stabilumą įrangoje, naudojamoje MOCVD procesuose.
Įprasti silicio karbido dangos paruošimo metodai
Ⅰ● Cheminio garinimo nusodinimo (CVD) silicio karbido danga
Šiuo metodu SiC dangos formuojamos įdedant substratus į reakcijos kamerą, kurioje metiltrichlorosilanas (MTS) veikia kaip pirmtakas. Kontroliuojamomis sąlygomis – paprastai 950–1300 °C temperatūroje ir esant neigiamam slėgiui – MTS skyla, o ant paviršiaus nusodamas silicio karbidas. Šis CVD SiC dengimo procesas užtikrina tankią, vienodą dangą su puikiu sukibimu, idealiai tinkančią didelio tikslumo taikymams puslaidininkių ir aviacijos bei kosmoso sektoriuose.
II● Pirmtakų konversijos metodas (polimerų impregnavimas ir pirolizė – PIP)
Kitas efektyvus silicio karbido purškimo dengimo būdas yra prekursoriaus konversijos metodas, kai iš anksto apdorotas mėginys panardinamas į keraminį prekursoriaus tirpalą. Išsiurbus impregnavimo baką ir suslėgus dangą, mėginys kaitinamas, todėl atvėsus susidaro silicio karbido danga. Šis metodas tinka komponentams, kuriems reikalingas vienodas dangos storis ir didesnis atsparumas dilimui.
Silicio karbido dangos fizinės savybės
Silicio karbido dangos pasižymi savybėmis, dėl kurių jos idealiai tinka sudėtingoms pramonės reikmėms. Šios savybės apima:
Šilumos laidumas: 120–270 W/m·K
Šiluminio plėtimosi koeficientas: 4,3 × 10^(-6)/K (esant 20–800 ℃)
Elektrinė varža: 10^5– 10^6Ω·cm
Kietumas: Moso skalė 9
Silicio karbido dangos panaudojimas
Puslaidininkių gamyboje silicio karbido danga, skirta MOCVD ir kitiems aukštos temperatūros procesams, apsaugo svarbią įrangą, pavyzdžiui, reaktorius ir susceptorius, užtikrindama atsparumą aukštai temperatūrai ir stabilumą. Aviacijos ir kosmoso bei gynybos pramonėje silicio karbido keraminės dangos dedamos ant komponentų, kurie turi atlaikyti didelio greičio smūgius ir korozinę aplinką. Be to, silicio karbido dažai arba dangos taip pat gali būti naudojami medicinos prietaisams, kuriems reikalingas patvarumas sterilizavimo procedūrų metu.
Kodėl verta rinktis silicio karbido dangą?
Silicio karbido dangos, įrodydamos savo ilgaamžiškumą komponentų tarnavimo metu, pasižymi neprilygstamu patvarumu ir temperatūros stabilumu, todėl yra ekonomiškos ilgalaikiam naudojimui. Pasirinkdamos silicio karbido danga padengtą paviršių, pramonės šakos gali pasinaudoti mažesnėmis priežiūros išlaidomis, didesniu įrangos patikimumu ir geresniu veiklos efektyvumu.
Kodėl verta rinktis VET ENERGY?
„VET ENERGY“ yra profesionalus silicio karbido dangų gaminių gamintojas ir gamykla Kinijoje. Pagrindiniai SiC dangų produktai yra silicio karbido keraminis dangų šildytuvas,CVD silicio karbido danga MOCVD susceptorius, MOCVD grafito nešiklis su CVD SiC danga, SiC dengti grafito baziniai nešėjai, Silicio karbidu dengtas grafito substratas puslaidininkiams,SiC danga / dengtas grafito substratas / dėklas puslaidininkiams, CVD SiC dengta anglies-anglies kompozito CFC valčių liejimo forma„VET ENERGY“ yra įsipareigojusi tiekti pažangias technologijas ir produktų sprendimus puslaidininkių pramonei. Nuoširdžiai tikimės tapti jūsų ilgalaikiu partneriu Kinijoje.
Įrašo laikas: 2023 m. rugsėjo 2 d.