پوشش سیلیکون کاربید،پوشش SiC که معمولاً به عنوان پوشش SiC شناخته میشود، به فرآیند اعمال لایهای از کاربید سیلیکون بر روی سطوح از طریق روشهایی مانند رسوب بخار شیمیایی (CVD)، رسوب بخار فیزیکی (PVD) یا پاشش حرارتی اشاره دارد. این پوشش سرامیکی کاربید سیلیکون با ایجاد مقاومت سایشی استثنایی، پایداری حرارتی و محافظت در برابر خوردگی، خواص سطحی زیرلایههای مختلف را بهبود میبخشد. SiC به دلیل خواص فیزیکی و شیمیایی برجسته خود، از جمله نقطه ذوب بالا (تقریباً 2700 درجه سانتیگراد)، سختی شدید (مقیاس Mohs 9)، مقاومت در برابر خوردگی و اکسیداسیون عالی و عملکرد فرسایش استثنایی شناخته شده است.
مزایای کلیدی پوشش کاربید سیلیکون در کاربردهای صنعتی
با توجه به این ویژگیها، پوشش کاربید سیلیکون به طور گسترده در زمینههایی مانند هوافضا، تجهیزات تسلیحاتی و پردازش نیمههادیها مورد استفاده قرار میگیرد. در محیطهای سخت، به ویژه در محدوده دمایی 1800 تا 2000 درجه سانتیگراد، پوشش SiC پایداری حرارتی و مقاومت سایشی قابل توجهی از خود نشان میدهد که آن را برای کاربردهای دمای بالا ایدهآل میکند. با این حال، کاربید سیلیکون به تنهایی فاقد یکپارچگی ساختاری مورد نیاز برای بسیاری از کاربردها است، بنابراین از روشهای پوششدهی برای بهرهگیری از خواص منحصر به فرد آن بدون به خطر انداختن استحکام قطعه استفاده میشود. در تولید نیمههادیها، عناصر پوشش داده شده با کاربید سیلیکون، محافظت قابل اعتماد و پایداری عملکرد را در تجهیزات مورد استفاده در فرآیندهای MOCVD فراهم میکنند.
روشهای متداول برای تهیه پوشش کاربید سیلیکون
۱.● پوششدهی کاربید سیلیکون به روش رسوبگذاری شیمیایی بخار (CVD)
در این روش، پوششهای SiC با قرار دادن زیرلایهها در یک محفظه واکنش، جایی که متیلتریکلروسیلان (MTS) به عنوان پیشساز عمل میکند، تشکیل میشوند. تحت شرایط کنترلشده - معمولاً 950-1300 درجه سانتیگراد و فشار منفی - MTS تجزیه میشود و کاربید سیلیکون روی سطح رسوب میکند. این فرآیند پوشش SiC به روش CVD، یک پوشش متراکم و یکنواخت با چسبندگی عالی را تضمین میکند که برای کاربردهای با دقت بالا در بخشهای نیمهرسانا و هوافضا ایدهآل است.
دوم● روش تبدیل پیشساز (اشباع پلیمری و پیرولیز – PIP)
یکی دیگر از رویکردهای مؤثر پوششدهی اسپری کاربید سیلیکون، روش تبدیل پیشماده است که شامل غوطهور کردن نمونه پیشتیمار شده در محلول پیشماده سرامیکی است. پس از مکش مخزن اشباع و اعمال فشار به پوشش، نمونه گرم میشود که منجر به تشکیل پوشش کاربید سیلیکون پس از خنک شدن میشود. این روش برای قطعاتی که نیاز به ضخامت یکنواخت پوشش و مقاومت سایشی افزایشیافته دارند، مطلوب است.
خواص فیزیکی پوشش کاربید سیلیکون
پوششهای کاربید سیلیکون خواصی از خود نشان میدهند که آنها را برای کاربردهای صنعتی دشوار ایدهآل میکند. این خواص عبارتند از:
رسانایی حرارتی: ۱۲۰-۲۷۰ وات بر متر مکعب در کلوین
ضریب انبساط حرارتی: ۴.۳ × ۱۰^(-6)/K (در دمای 20 تا 800 درجه سانتیگراد)
مقاومت الکتریکی: 10^5– ۱۰^6اهم·سانتیمتر
سختی: مقیاس موس ۹
کاربردهای پوشش کاربید سیلیکون
در تولید نیمههادیها، پوشش کاربید سیلیکون برای MOCVD و سایر فرآیندهای دما بالا، با ارائه مقاومت در برابر دمای بالا و پایداری، از تجهیزات حیاتی مانند راکتورها و سوسپتورها محافظت میکند. در هوافضا و دفاع، پوششهای سرامیکی کاربید سیلیکون روی اجزایی اعمال میشوند که باید در برابر ضربات با سرعت بالا و محیطهای خورنده مقاومت کنند. علاوه بر این، رنگ یا پوششهای کاربید سیلیکون را میتوان در دستگاههای پزشکی که نیاز به دوام در فرآیندهای استریلیزاسیون دارند نیز استفاده کرد.
چرا پوشش کاربید سیلیکون را انتخاب کنیم؟
با سابقهای اثباتشده در افزایش طول عمر قطعات، پوششهای کاربید سیلیکون دوام و پایداری دمایی بینظیری را ارائه میدهند که آنها را برای استفاده طولانیمدت مقرونبهصرفه میکند. با انتخاب سطح پوشش داده شده با کاربید سیلیکون، صنایع از کاهش هزینههای نگهداری، افزایش قابلیت اطمینان تجهیزات و بهبود راندمان عملیاتی بهرهمند میشوند.
چرا انرژی وت را انتخاب کنیم؟
VET ENERGY یک تولید کننده و کارخانه حرفه ای محصولات پوشش کاربید سیلیکون در چین است. محصولات اصلی پوشش SiC شامل بخاری پوشش سرامیکی کاربید سیلیکون،پوشش کاربید سیلیکون CVD - سوسپکتور MOCVD, حامل گرافیتی MOCVD با پوشش SiC به روش CVD, حاملهای پایه گرافیتی روکشدار با SiC، زیرلایه گرافیتی روکش شده با کاربید سیلیکون برای نیمه هادی،پوشش SiC/زیرلایه گرافیتی پوشش داده شده/سینی برای نیمه هادی, قالب قایق CFC با کامپوزیت کربن-کربن با پوشش SiC به روش CVDشرکت VET ENERGY متعهد به ارائه فناوریهای پیشرفته و راهکارهای محصول برای صنعت نیمههادی است. ما صمیمانه امیدواریم که شریک بلندمدت شما در چین باشیم.
زمان ارسال: سپتامبر-02-2023