Цахиурын карбидын бүрхүүл гэж юу вэ?

Цахиурын карбидын бүрээс,SiC бүрхүүл гэж нэрлэгддэг бөгөөд энэ нь химийн уурын хуримтлал (CVD), физик уурын хуримтлал (PVD), эсвэл дулааны шүрших зэрэг аргуудаар гадаргуу дээр цахиурын карбидын давхаргыг түрхэх үйл явцыг хэлнэ. Энэхүү цахиурын карбидын керамик бүрхүүл нь элэгдэлд тэсвэртэй, дулааны тогтвортой байдал, зэврэлтээс хамгаалах онцгой шинж чанарыг өгснөөр янз бүрийн суурь материалын гадаргуугийн шинж чанарыг сайжруулдаг. SiC нь өндөр хайлах цэг (ойролцоогоор 2700℃), хэт хатуулаг (Mohs шатлал 9), маш сайн зэврэлт ба исэлдэлтэд тэсвэртэй, онцгой абляцийн гүйцэтгэл зэрэг гайхалтай физик болон химийн шинж чанараараа алдартай.

Аж үйлдвэрийн хэрэглээнд цахиурын карбидын бүрхүүлийн гол давуу талууд

Эдгээр шинж чанаруудын ачаар цахиурын карбидын бүрээсийг сансар судлал, зэвсгийн тоног төхөөрөмж, хагас дамжуулагч боловсруулах зэрэг салбарт өргөн ашигладаг. Хэт туйлын орчинд, ялангуяа 1800-2000℃-ийн хүрээнд SiC бүрээс нь гайхалтай дулааны тогтвортой байдал болон абляцийн эсэргүүцлийг үзүүлдэг тул өндөр температурт хэрэглэхэд тохиромжтой. Гэсэн хэдий ч цахиурын карбид дангаараа олон хэрэглээнд шаардлагатай бүтцийн бүрэн бүтэн байдал дутагддаг тул бүрэх аргыг түүний өвөрмөц шинж чанарыг эд ангийн бат бөх чанарыг алдагдуулахгүйгээр ашиглахад ашигладаг. Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлд цахиурын карбидын бүрээстэй элементүүд нь MOCVD процесст ашигладаг тоног төхөөрөмжийн найдвартай хамгаалалт, гүйцэтгэлийн тогтвортой байдлыг хангадаг.

Цахиурын карбидын бүрээс бэлтгэх нийтлэг аргууд

Ⅰ● Химийн ууршилтын тунадасжилт (CVD) цахиурын карбидын бүрхүүл

Энэ аргаар SiC бүрхүүлийг метилтрихлорсилан (MTS) нь урьдал бодис болж үйлчилдэг урвалын камерт субстратуудыг байрлуулснаар үүсгэдэг. Хяналттай нөхцөлд - ихэвчлэн 950-1300°C ба сөрөг даралттай үед - MTS нь задралд орж, цахиурын карбид гадаргуу дээр хуримтлагддаг. Энэхүү CVD SiC бүрхүүлийн процесс нь хагас дамжуулагч болон сансар судлалын салбарт өндөр нарийвчлалтай хэрэглээнд тохиромжтой, маш сайн наалддаг нягт, жигд бүрхүүлийг баталгаажуулдаг.

Ⅱ● Урьдчилсан хувиргалтын арга (Полимер нэвчилт ба пиролиз – PIP)

Цахиурын карбидын шүршигч бүрхүүлийн өөр нэг үр дүнтэй арга бол урьдчилсан хувиргах арга бөгөөд энэ нь урьдчилан боловсруулсан дээжийг керамик урьдчилсан уусмалд дүрэхийг агуулдаг. Нэвчилтийн савыг тоос сорогчоор соруулж, бүрхүүлийг дарсны дараа дээжийг халааж, хөргөх үед цахиурын карбидын бүрхүүл үүсдэг. Энэ аргыг жигд бүрэх зузаан, элэгдэлд тэсвэртэй байдлыг нэмэгдүүлэх шаардлагатай эд ангиудад илүүд үздэг.

Цахиурын карбидын бүрхүүлийн физик шинж чанарууд

Цахиурын карбидын бүрхүүл нь үйлдвэрлэлийн хүнд нөхцөлд ашиглахад тохиромжтой шинж чанартай байдаг. Эдгээр шинж чанаруудад дараахь зүйлс орно.

Дулаан дамжуулалт: 120-270 Вт/м·К
Дулааны тэлэлтийн коэффициент: 4.3 × 10^^(-6)/K (20~800℃ температурт)
Цахилгаан эсэргүүцэл: 10^⁵– 10^⁶Ω·см
Хатуулаг: Мохсын 9-р шат

Цахиурын карбидын бүрээсийн хэрэглээ

Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлд MOCVD болон бусад өндөр температурт ажилладаг процессуудад зориулсан цахиурын карбидын бүрхүүл нь өндөр температурт тэсвэртэй байдал, тогтвортой байдлыг хангаж реактор, сусцептор зэрэг чухал тоног төхөөрөмжийг хамгаалдаг. Агаарын тээвэр болон батлан ​​​​хамгаалах салбарт цахиурын карбидын керамик бүрхүүлийг өндөр хурдны цохилт болон идэмхий орчинд тэсвэртэй байх ёстой эд ангиудад түрхдэг. Цаашилбал, цахиурын карбидын будаг эсвэл бүрхүүлийг ариутгах журмын дагуу бат бөх чанар шаарддаг эмнэлгийн хэрэгсэлд ашиглаж болно.

Яагаад цахиурын карбидын бүрээсийг сонгох ёстой вэ?

Эд ангийн ашиглалтын хугацааг уртасгах тал дээр батлагдсан туршлагатай цахиурын карбидын бүрхүүл нь хосгүй бат бөх чанар, температурын тогтвортой байдлыг хангаж, урт хугацааны хэрэглээнд зардал багатай болгодог. Цахиурын карбидын бүрээстэй гадаргууг сонгосноор үйлдвэрүүд засвар үйлчилгээний зардлыг бууруулж, тоног төхөөрөмжийн найдвартай байдлыг нэмэгдүүлж, үйл ажиллагааны үр ашгийг дээшлүүлдэг.

Яагаад VET ENERGY-г сонгох ёстой вэ?

VET ENERGY нь Хятад улсад цахиурын карбидын бүрээсний бүтээгдэхүүний мэргэжлийн үйлдвэрлэгч, үйлдвэр юм. SiC бүрээсний гол бүтээгдэхүүнүүдэд цахиурын карбидын керамик бүрээсний халаагуур орно.CVD цахиурын карбидын бүрээс MOCVD Susceptor, CVD SiC бүрхүүлтэй MOCVD графит тээвэрлэгч, SiC бүрсэн графит суурь тээвэрлэгчидХагас дамжуулагчийн цахиурын карбид бүрсэн графит суурь,Хагас дамжуулагчийн SiC бүрхүүл/бүрсэн графит суурь/тавиур, CVD SiC бүрсэн нүүрстөрөгч-нүүрстөрөгчийн нийлмэл CFC завины хэвVET ENERGY нь хагас дамжуулагчийн салбарт дэвшилтэт технологи, бүтээгдэхүүний шийдлүүдийг хангахад чиглэгддэг. Бид Хятад дахь таны урт хугацааны түнш болохыг чин сэтгэлээсээ хүсч байна.