Siliciumcarbide coating,SiC-coating, algemeen bekend als SiC-coating, verwijst naar het proces waarbij een laag siliciumcarbide op oppervlakken wordt aangebracht door middel van methoden zoals Chemical Vapor Deposition (CVD), Physical Vapor Deposition (PVD) of thermisch spuiten. Deze keramische coating van siliciumcarbide verbetert de oppervlakte-eigenschappen van diverse substraten door uitzonderlijke slijtvastheid, thermische stabiliteit en corrosiebescherming te bieden. SiC staat bekend om zijn uitstekende fysische en chemische eigenschappen, waaronder een hoog smeltpunt (ongeveer 2700 °C), extreme hardheid (schaal van Mohs 9), uitstekende corrosie- en oxidatiebestendigheid en uitzonderlijke ablatieprestaties.
Belangrijkste voordelen van siliciumcarbidecoating in industriële toepassingen
Vanwege deze eigenschappen wordt siliciumcarbidecoating veel gebruikt in sectoren zoals de lucht- en ruimtevaart, wapenuitrusting en halfgeleiderverwerking. In extreme omgevingen, met name in het bereik van 1800-2000 °C, vertoont SiC-coating een opmerkelijke thermische stabiliteit en ablatieve bestendigheid, waardoor het ideaal is voor toepassingen bij hoge temperaturen. Siliciumcarbide zelf mist echter de structurele integriteit die voor veel toepassingen nodig is, dus worden coatingmethoden gebruikt om de unieke eigenschappen ervan te benutten zonder de sterkte van de componenten in gevaar te brengen. In de halfgeleiderproductie bieden met siliciumcarbide gecoate elementen betrouwbare bescherming en prestatiestabiliteit in apparatuur die wordt gebruikt in MOCVD-processen.
Algemene methoden voor de voorbereiding van siliciumcarbidecoating
Ⅰ● Chemische dampafzetting (CVD) siliciumcarbidecoating
Bij deze methode worden SiC-coatings gevormd door substraten in een reactiekamer te plaatsen, waar methyltrichloorsilaan (MTS) als precursor fungeert. Onder gecontroleerde omstandigheden – doorgaans 950-1300 °C en onderdruk – ondergaat het MTS ontleding en wordt siliciumcarbide op het oppervlak afgezet. Dit CVD SiC-coatingproces garandeert een dichte, uniforme coating met uitstekende hechting, ideaal voor zeer nauwkeurige toepassingen in de halfgeleider- en lucht- en ruimtevaartsector.
Ⅱ● Precursorconversiemethode (polymeerimpregnatie en pyrolyse – PIP)
Een andere effectieve methode voor het spuiten van siliciumcarbide is de precursorconversiemethode. Hierbij wordt het voorbehandelde monster ondergedompeld in een keramische precursoroplossing. Nadat de impregneertank vacuüm is gezogen en de coating onder druk is gezet, wordt het monster verhit, wat na afkoeling leidt tot de vorming van een siliciumcarbidecoating. Deze methode geniet de voorkeur voor componenten die een uniforme coatingdikte en een verbeterde slijtvastheid vereisen.
Fysieke eigenschappen van siliciumcarbidecoating
Siliciumcarbidecoatings vertonen eigenschappen die ze ideaal maken voor veeleisende industriële toepassingen. Deze eigenschappen omvatten:
Thermische geleidbaarheid: 120-270 W/m·K
Thermische uitzettingscoëfficiënt: 4,3 × 10^(-6)/K (bij 20~800℃)
Elektrische weerstand: 10^5– 10^6Ω·cm
Hardheid: Mohs-schaal 9
Toepassingen van siliciumcarbidecoating
In de halfgeleiderproductie beschermt siliciumcarbidecoating voor MOCVD en andere hogetemperatuurprocessen kritische apparatuur, zoals reactoren en susceptors, door zowel hogetemperatuurbestendigheid als stabiliteit te bieden. In de lucht- en ruimtevaart en defensie worden keramische siliciumcarbidecoatings aangebracht op componenten die bestand moeten zijn tegen hogesnelheidsstoten en corrosieve omgevingen. Bovendien kunnen siliciumcarbideverf of -coatings ook worden gebruikt op medische apparaten die duurzaamheid vereisen tijdens sterilisatieprocedures.
Waarom kiezen voor siliciumcarbidecoating?
Met een bewezen staat van dienst in het verlengen van de levensduur van componenten bieden siliciumcarbidecoatings ongeëvenaarde duurzaamheid en temperatuurstabiliteit, waardoor ze kosteneffectief zijn voor langdurig gebruik. Door te kiezen voor een siliciumcarbidecoating profiteren industrieën van lagere onderhoudskosten, een hogere betrouwbaarheid van apparatuur en een verbeterde operationele efficiëntie.
Waarom kiezen voor VET ENERGY?
VET ENERGY is een professionele fabrikant en fabriek van siliciumcarbide coatingproducten in China. De belangrijkste SiC-coatingproducten zijn onder andere keramische siliciumcarbide coatingverwarmers,CVD siliciumcarbide coating MOCVD-susceptor, MOCVD grafietdrager met CVD SiC-coating, SiC-gecoate grafietbasisdragers, Siliciumcarbide gecoat grafietsubstraat voor halfgeleiders,SiC-coating/gecoat grafietsubstraat/tray voor halfgeleiders, CVD SiC gecoate koolstof-koolstof composiet CFC bootmalVET ENERGY streeft ernaar geavanceerde technologie en productoplossingen te leveren voor de halfgeleiderindustrie. We hopen oprecht uw partner voor de lange termijn in China te worden.
Plaatsingstijd: 02-09-2023