Какво е силициево-карбидно покритие?

Силициево-карбидно покритие,Обикновено известно като SiC покритие, се отнася до процеса на нанасяне на слой от силициев карбид върху повърхности чрез методи като химическо отлагане от пари (CVD), физическо отлагане от пари (PVD) или термично пръскане. Това силициево-карбидно керамично покритие подобрява повърхностните свойства на различни субстрати, като им придава изключителна износоустойчивост, термична стабилност и защита от корозия. SiC е известен със своите изключителни физични и химични свойства, включително висока точка на топене (приблизително 2700℃), изключителна твърдост (скала на Моос 9), отлична устойчивост на корозия и окисляване, както и изключителни аблационни характеристики.

Основни предимства на силициево-карбидното покритие в промишлени приложения

Поради тези характеристики, силициево-карбидното покритие се използва широко в области като аерокосмическа индустрия, оръжейно оборудване и обработка на полупроводници. В екстремни среди, особено в диапазона 1800-2000℃, SiC покритието показва забележителна термична стабилност и аблационна устойчивост, което го прави идеално за приложения при високи температури. Въпреки това, самият силициев карбид не притежава структурната цялост, необходима за много приложения, така че се използват методи за нанасяне на покритие, за да се възползват от неговите уникални свойства, без да се прави компромис със здравината на компонентите. В производството на полупроводници, елементите със силициево-карбидно покритие осигуряват надеждна защита и стабилност на производителността в оборудването, използвано в MOCVD процесите.

Общи методи за приготвяне на силициево-карбидни покрития

● Силициево-карбидно покритие чрез химическо отлагане от пари (CVD)

При този метод, SiC покритията се образуват чрез поставяне на субстратите в реакционна камера, където метилтрихлоросилан (MTS) действа като прекурсор. При контролирани условия – обикновено 950-1300°C и отрицателно налягане – MTS се разлага и силициевият карбид се отлага върху повърхността. Този CVD процес на SiC покритие осигурява плътно, равномерно покритие с отлично сцепление, идеално за високопрецизни приложения в полупроводниковия и аерокосмическия сектор.

● Метод за преобразуване на прекурсори (импрегниране на полимери и пиролиза – PIP)

Друг ефективен подход за нанасяне на покритие със силициев карбид чрез пръскане е методът на преобразуване на прекурсора, който включва потапяне на предварително обработената проба в разтвор на керамичен прекурсор. След вакуумиране на импрегнационния резервоар и повишаване на налягането на покритието, пробата се нагрява, което води до образуване на силициево-карбидно покритие при охлаждане. Този метод е предпочитан за компоненти, изискващи равномерна дебелина на покритието и подобрена износоустойчивост.

Физични свойства на силициево-карбидното покритие

Силициево-карбидните покрития проявяват свойства, които ги правят идеални за взискателни промишлени приложения. Тези свойства включват:

Топлопроводимост: 120-270 W/m·K
Коефициент на термично разширение: 4,3 × 10^(-6)/K (при 20~800℃)
Електрическо съпротивление: 10^5– 10^6Ω·cm
Твърдост: скала на Моос 9

Приложения на силициево-карбидно покритие

В производството на полупроводници, силициево-карбидното покритие за MOCVD и други високотемпературни процеси защитава критично оборудване, като реактори и токоприемници, като предлага едновременно устойчивост на високи температури и стабилност. В аерокосмическата и отбранителната промишленост, силициево-карбидните керамични покрития се нанасят върху компоненти, които трябва да издържат на удари с висока скорост и корозивни среди. Освен това, силициево-карбидните бои или покрития могат да се използват и върху медицински изделия, които изискват издръжливост при процедури за стерилизация.

Защо да изберете силициево-карбидно покритие?

С доказан опит в удължаването на живота на компонентите, покритията от силициев карбид осигуряват несравнима издръжливост и температурна стабилност, което ги прави рентабилни за дългосрочна употреба. Избирайки повърхност със силициев карбид, индустриите се възползват от намалени разходи за поддръжка, повишена надеждност на оборудването и подобрена оперативна ефективност.

Защо да изберете VET ENERGY?

VET ENERGY е професионален производител и фабрика за продукти от силициево-карбидни покрития в Китай. Основните продукти за SiC покритие включват нагревател от силициево-карбидни керамични покрития,CVD силициево-карбидно покритие MOCVD сусцептор, MOCVD графитен носител с CVD SiC покритие, Основи от графит с покритие от SiC, Графитна подложка със силициево-карбидно покритие за полупроводници,SiC покритие/покрит графитен субстрат/тава за полупроводници, CVD SiC покрит въглерод-въглероден композит CFC лодка калъпVET ENERGY е ангажирана с предоставянето на съвременни технологични и продуктови решения за полупроводниковата индустрия. Искрено се надяваме да станем ваш дългосрочен партньор в Китай.

https://www.vet-china.com/silicon-carbide-sic-ceramic/


Време на публикуване: 02 септември 2023 г.
Онлайн чат в WhatsApp!