Premaz od silicij-karbida,Općenito poznat kao SiC premaz, odnosi se na proces nanošenja sloja silicijevog karbida na površine metodama kao što su kemijsko taloženje iz parne faze (CVD), fizičko taloženje iz parne faze (PVD) ili termičko prskanje. Ovaj keramički premaz od silicijevog karbida poboljšava površinska svojstva različitih podloga dajući iznimnu otpornost na habanje, toplinsku stabilnost i zaštitu od korozije. SiC je poznat po svojim izvanrednim fizikalnim i kemijskim svojstvima, uključujući visoku točku taljenja (približno 2700 ℃), ekstremnu tvrdoću (Mohsova skala 9), izvrsnu otpornost na koroziju i oksidaciju te iznimne performanse ablacije.
Ključne prednosti premaza silicijevim karbidom u industrijskim primjenama
Zbog ovih svojstava, premaz silicij-karbida široko se koristi u područjima kao što su zrakoplovstvo, oprema za naoružanje i obrada poluvodiča. U ekstremnim okruženjima, posebno u rasponu od 1800-2000 ℃, SiC premaz pokazuje izvanrednu toplinsku stabilnost i otpornost na ablaciju, što ga čini idealnim za primjene na visokim temperaturama. Međutim, sam silicij-karbid nema strukturni integritet potreban za mnoge primjene, pa se koriste metode premazivanja kako bi se iskoristila njegova jedinstvena svojstva bez ugrožavanja čvrstoće komponenti. U proizvodnji poluvodiča, elementi obloženi silicij-karbidom pružaju pouzdanu zaštitu i stabilnost performansi unutar opreme koja se koristi u MOCVD procesima.
Uobičajene metode za pripremu premaza silicijevim karbidom
Ⅰ● Premaz silicijevim karbidom kemijskim taloženjem iz parne faze (CVD)
U ovoj metodi, SiC premazi se formiraju postavljanjem supstrata u reakcijsku komoru, gdje metiltriklorosilan (MTS) djeluje kao prekursor. Pod kontroliranim uvjetima - obično 950-1300 °C i negativnim tlakom - MTS se raspada, a silicijev karbid se taloži na površinu. Ovaj CVD SiC postupak premazivanja osigurava gusti, ujednačeni premaz s izvrsnim prianjanjem, idealan za visokoprecizne primjene u poluvodičkom i zrakoplovnom sektoru.
Ⅱ● Metoda pretvorbe prekursora (impregnacija i piroliza polimera – PIP)
Drugi učinkovit pristup nanošenja premaza raspršivanjem silicijevim karbidom je metoda konverzije prekursora, koja uključuje uranjanje prethodno obrađenog uzorka u otopinu keramičkog prekursora. Nakon vakuumiranja impregnacijskog spremnika i stavljanja premaza pod tlak, uzorak se zagrijava, što dovodi do stvaranja premaza silicijevim karbidom nakon hlađenja. Ova metoda je poželjna za komponente koje zahtijevaju ujednačenu debljinu premaza i poboljšanu otpornost na habanje.
Fizička svojstva premaza silicijevim karbidom
Premazi silicij-karbida pokazuju svojstva koja ih čine idealnim za zahtjevne industrijske primjene. Ta svojstva uključuju:
Toplinska vodljivost: 120-270 W/m·K
Koeficijent toplinskog širenja: 4,3 × 10^(-6)/K (pri 20~800℃)
Električni otpor: 10^5– 10^6Ω·cm
Tvrdoća: Mohsova skala 9
Primjena premaza silicijevim karbidom
U proizvodnji poluvodiča, silicijev karbidni premaz za MOCVD i druge visokotemperaturne procese štiti kritičnu opremu, poput reaktora i susceptora, nudeći otpornost na visoke temperature i stabilnost. U zrakoplovstvu i obrani, silicijev karbidni keramički premazi nanose se na komponente koje moraju izdržati udarce velikim brzinama i korozivne okoline. Nadalje, silicijev karbidna boja ili premazi mogu se koristiti i na medicinskim uređajima koji zahtijevaju trajnost tijekom postupaka sterilizacije.
Zašto odabrati premaz od silicij-karbida?
S dokazanim uspjehom u produljenju vijeka trajanja komponenti, silicij-karbidni premazi pružaju neusporedivu izdržljivost i temperaturnu stabilnost, što ih čini isplativim za dugotrajnu upotrebu. Odabirom površine obložene silicij-karbidom, industrije imaju koristi od smanjenih troškova održavanja, povećane pouzdanosti opreme i poboljšane operativne učinkovitosti.
Zašto odabrati VET ENERGY?
VET ENERGY je profesionalni proizvođač i tvornica proizvoda od silicij-karbidnih premaza u Kini. Glavni proizvodi od SiC premaza uključuju grijač od silicij-karbidne keramike,CVD premaz silicijevim karbidom MOCVD susceptor, MOCVD grafitni nosač s CVD SiC premazom, Nosači s grafitom obloženim SiC-om, Grafitna podloga obložena silicijevim karbidom za poluvodiče,SiC premaz/obloženi grafitni supstrat/pladanj za poluvodiče, Kalup za brodove od ugljik-ugljikovog kompozita CFC s CVD SiC premazomVET ENERGY je posvećen pružanju napredne tehnologije i proizvodnih rješenja za poluvodičku industriju. Iskreno se nadamo da ćemo postati vaš dugoročni partner u Kini.
Vrijeme objave: 02.09.2023.
