Siliziumkarbidbeschichtung,Die sogenannte SiC-Beschichtung bezeichnet das Aufbringen einer Siliziumkarbidschicht auf Oberflächen durch Verfahren wie chemische Gasphasenabscheidung (CVD), physikalische Gasphasenabscheidung (PVD) oder thermisches Spritzen. Diese Siliziumkarbid-Keramikbeschichtung verbessert die Oberflächeneigenschaften verschiedener Substrate durch außergewöhnliche Verschleißfestigkeit, thermische Stabilität und Korrosionsschutz. SiC ist bekannt für seine hervorragenden physikalischen und chemischen Eigenschaften, darunter einen hohen Schmelzpunkt (ca. 2700 °C), extreme Härte (Mohs-Skala 9), ausgezeichnete Korrosions- und Oxidationsbeständigkeit sowie eine außergewöhnliche Ablationsleistung.
Hauptvorteile der Siliziumkarbidbeschichtung in industriellen Anwendungen
Aufgrund dieser Eigenschaften wird Siliziumkarbidbeschichtung häufig in Bereichen wie der Luft- und Raumfahrt, der Waffenausrüstung und der Halbleiterverarbeitung eingesetzt. In extremen Umgebungen, insbesondere im Temperaturbereich von 1800–2000 °C, weist die SiC-Beschichtung eine bemerkenswerte thermische Stabilität und Ablationsbeständigkeit auf und ist daher ideal für Hochtemperaturanwendungen. Siliziumkarbid allein verfügt jedoch nicht über die für viele Anwendungen erforderliche strukturelle Integrität. Daher werden Beschichtungsverfahren eingesetzt, um seine einzigartigen Eigenschaften zu nutzen, ohne die Festigkeit der Komponenten zu beeinträchtigen. In der Halbleiterfertigung bieten siliziumkarbidbeschichtete Elemente zuverlässigen Schutz und Leistungsstabilität in Anlagen, die in MOCVD-Prozessen eingesetzt werden.
Gängige Methoden zur Herstellung von Siliziumkarbidbeschichtungen
Ⅰ● Chemische Gasphasenabscheidung (CVD) Siliziumkarbidbeschichtung
Bei diesem Verfahren werden SiC-Beschichtungen gebildet, indem Substrate in eine Reaktionskammer gegeben werden, in der Methyltrichlorsilan (MTS) als Vorläufer fungiert. Unter kontrollierten Bedingungen – typischerweise 950–1300 °C und Unterdruck – zersetzt sich das MTS, und Siliziumkarbid scheidet sich auf der Oberfläche ab. Dieses CVD-SiC-Beschichtungsverfahren gewährleistet eine dichte, gleichmäßige Beschichtung mit hervorragender Haftung – ideal für hochpräzise Anwendungen in der Halbleiter- und Luft- und Raumfahrtindustrie.
Ⅱ● Vorläufer-Konvertierungsverfahren (Polymerimprägnierung und Pyrolyse – PIP)
Ein weiteres effektives Verfahren zur Siliziumkarbid-Sprühbeschichtung ist die Präkursor-Konversionsmethode. Dabei wird die vorbehandelte Probe in eine keramische Präkursorlösung getaucht. Nach dem Vakuumieren des Imprägnierbehälters und dem Druckaufbau der Beschichtung wird die Probe erhitzt, wodurch sich beim Abkühlen eine Siliziumkarbid-Beschichtung bildet. Dieses Verfahren wird bevorzugt für Bauteile verwendet, die eine gleichmäßige Beschichtungsdicke und erhöhte Verschleißfestigkeit erfordern.
Physikalische Eigenschaften der Siliziumkarbidbeschichtung
Siliziumkarbidbeschichtungen zeichnen sich durch Eigenschaften aus, die sie ideal für anspruchsvolle industrielle Anwendungen machen. Zu diesen Eigenschaften gehören:
Wärmeleitfähigkeit: 120-270 W/m·K
Wärmeausdehnungskoeffizient: 4,3 × 10^(-6)/K (bei 20~800℃)
Elektrischer Widerstand: 10^5– 10^6Ω·cm
Härte: Mohs-Skala 9
Anwendungen der Siliziumkarbidbeschichtung
In der Halbleiterfertigung schützt Siliziumkarbidbeschichtungen für MOCVD und andere Hochtemperaturprozesse kritische Geräte wie Reaktoren und Suszeptoren durch hohe Temperaturbeständigkeit und Stabilität. In der Luft- und Raumfahrt sowie der Verteidigung werden Siliziumkarbid-Keramikbeschichtungen auf Komponenten aufgebracht, die Hochgeschwindigkeitsstößen und korrosiven Umgebungen standhalten müssen. Darüber hinaus können Siliziumkarbidfarben oder -beschichtungen auch für medizinische Geräte verwendet werden, die Sterilisationsverfahren standhalten müssen.
Warum Siliziumkarbidbeschichtung wählen?
Siliziumkarbidbeschichtungen verlängern nachweislich die Lebensdauer von Bauteilen und bieten unübertroffene Haltbarkeit und Temperaturstabilität. Dadurch sind sie im Langzeiteinsatz kostengünstig. Durch die Wahl einer Siliziumkarbid-Beschichtung profitieren Industrien von geringeren Wartungskosten, höherer Anlagenzuverlässigkeit und verbesserter Betriebseffizienz.
Warum VET ENERGY wählen?
VET ENERGY ist ein professioneller Hersteller und Hersteller von Siliziumkarbid-Beschichtungsprodukten in China. Zu den wichtigsten SiC-Beschichtungsprodukten gehören Siliziumkarbid-Keramikbeschichtungsheizungen,CVD-Siliziumkarbid-Beschichtung MOCVD-Suszeptor, MOCVD-Graphitträger mit CVD-SiC-Beschichtung, SiC-beschichtete Graphit-Basisträger, Siliziumkarbidbeschichtetes Graphitsubstrat für Halbleiter,SiC-Beschichtung/beschichtetes Graphitsubstrat/Tablett für Halbleiter, CVD SiC-beschichtete Kohlenstoff-Kohlenstoff-Verbund-CFC-BootsformVET ENERGY hat sich der Bereitstellung fortschrittlicher Technologie- und Produktlösungen für die Halbleiterindustrie verschrieben. Wir hoffen aufrichtig, Ihr langfristiger Partner in China zu werden.
Beitragszeit: 02.09.2023