ציפוי סיליקון קרביד,ציפוי סיליקון קרביד, הידוע בכינויו SiC, מתייחס לתהליך של מריחת שכבת סיליקון קרביד על משטחים באמצעות שיטות כגון שקיעת אדים כימית (CVD), שקיעת אדים פיזיקלית (PVD) או ריסוס תרמי. ציפוי קרמי זה של סיליקון קרביד משפר את תכונות פני השטח של מצעים שונים על ידי הקניית עמידות יוצאת דופן בפני שחיקה, יציבות תרמית והגנה מפני קורוזיה. SiC ידוע בתכונותיו הפיזיקליות והכימיות המצוינות, כולל נקודת התכה גבוהה (כ-2700 ℃), קשיות קיצונית (סולם מוס 9), עמידות מצוינת בפני קורוזיה וחמצון וביצועי אבלציה יוצאי דופן.
יתרונות עיקריים של ציפוי סיליקון קרביד ביישומים תעשייתיים
בשל תכונות אלו, ציפוי סיליקון קרביד נמצא בשימוש נרחב בתחומים כמו תעופה וחלל, ציוד נשק ועיבוד מוליכים למחצה. בסביבות קיצוניות, במיוחד בטווח של 1800-2000 מעלות צלזיוס, ציפוי SiC מציג יציבות תרמית יוצאת דופן ועמידות אבלטיבית, מה שהופך אותו לאידיאלי עבור יישומים בטמפרטורה גבוהה. עם זאת, סיליקון קרביד לבדו חסר את השלמות המבנית הנדרשת עבור יישומים רבים, ולכן שיטות ציפוי משמשות כדי למנף את תכונותיו הייחודיות מבלי לפגוע בחוזק הרכיבים. בייצור מוליכים למחצה, אלמנטים מצופים סיליקון קרביד מספקים הגנה אמינה ויציבות ביצועים בתוך ציוד המשמש בתהליכי MOCVD.
שיטות נפוצות להכנת ציפוי סיליקון קרביד
Ⅰ● ציפוי סיליקון קרביד באמצעות שקיעת אדים כימית (CVD)
בשיטה זו, ציפויי SiC נוצרים על ידי הנחת מצעים בתא תגובה, שבו מתילטריכלורוסילאן (MTS) משמש כמקור. בתנאים מבוקרים - בדרך כלל 950-1300 מעלות צלזיוס ולחץ שלילי - ה-MTS עובר פירוק, וסיליקון קרביד מושקע על פני השטח. תהליך ציפוי CVD SiC זה מבטיח ציפוי צפוף ואחיד עם הידבקות מעולה, אידיאלי ליישומים מדויקים במגזרי המוליכים למחצה והחלל.
Ⅱ● שיטת המרת קודמן (הספגת פולימרים ופירוליזה – PIP)
גישת ציפוי ריסוס יעילה נוספת בסיליקון קרביד היא שיטת המרת חומר קדם-מקור, הכוללת טבילה של הדגימה שטופלה מראש בתמיסת חומר קדם-מקור קרמית. לאחר שאיבת מיכל ההספגה ויצירת לחץ על הציפוי, הדגימה מחוממת, מה שמוביל להיווצרות ציפוי סיליקון קרביד לאחר קירור. שיטה זו מועדפת עבור רכיבים הדורשים עובי ציפוי אחיד ועמידות משופרת בפני שחיקה.
תכונות פיזיקליות של ציפוי סיליקון קרביד
ציפויי סיליקון קרביד מציגים תכונות שהופכות אותם לאידיאליים עבור יישומים תעשייתיים תובעניים. תכונות אלה כוללות:
מוליכות תרמית: 120-270 וואט/מטר קילו-ג'ולנט
מקדם התפשטות תרמית: 4.3 × 10^(-6)/K (בטמפרטורה של 20~800℃)
התנגדות חשמלית: 10^5– 10^6Ω·ס"מ
קשיות: סולם מוס 9
יישומים של ציפוי סיליקון קרביד
בייצור מוליכים למחצה, ציפוי סיליקון קרביד עבור MOCVD ותהליכים אחרים בטמפרטורה גבוהה מגן על ציוד קריטי, כגון כורים וספקטרים, על ידי מתן עמידות בטמפרטורה גבוהה ויציבות כאחד. בתחום התעופה והחלל והביטחון, ציפויי קרמיקה מסיליקון קרביד מיושמים על רכיבים שחייבים לעמוד בפני פגיעות במהירות גבוהה וסביבות קורוזיביות. יתר על כן, ניתן להשתמש בצבע או ציפויים מסיליקון קרביד גם על מכשירים רפואיים הדורשים עמידות תחת הליכי עיקור.
למה לבחור ציפוי סיליקון קרביד?
עם רקורד מוכח בהארכת חיי רכיבים, ציפויי סיליקון קרביד מספקים עמידות ויציבות טמפרטורה שאין שני לה, מה שהופך אותם לחסכוניים לשימוש ארוך טווח. על ידי בחירת משטח מצופה סיליקון קרביד, תעשיות נהנות מעלויות תחזוקה מופחתות, אמינות ציוד משופרת ויעילות תפעולית משופרת.
למה לבחור ב-VET ENERGY?
VET ENERGY היא יצרנית ומפעל מקצועיים של מוצרי ציפוי סיליקון קרביד בסין. מוצרי ציפוי ה-SiC העיקריים כוללים תנור חימום לציפוי קרמי מסיליקון קרביד,ציפוי סיליקון קרביד CVD MOCVD susceptor, נשא גרפיט MOCVD עם ציפוי CVD SiC, נשאים בסיסיים של גרפיט מצופים SiCמצע גרפיט מצופה סיליקון קרביד עבור מוליכים למחצה,ציפוי SiC/מצע/מגש גרפיט מצופה עבור מוליכים למחצה, עובש סירה מצופה CVD SiC פחמן-פחמן מרוכב CFCחברת VET ENERGY מחויבת לספק טכנולוגיה מתקדמת ופתרונות מוצר לתעשיית המוליכים למחצה. אנו מקווים בכנות להפוך לשותפה ארוכת טווח שלכם בסין.
זמן פרסום: 2 בספטמבר 2023