Silisyum karbür kaplama,yaygın olarak SiC kaplama olarak bilinen, Kimyasal Buhar Biriktirme (CVD), Fiziksel Buhar Biriktirme (PVD) veya termal püskürtme gibi yöntemlerle yüzeylere bir silisyum karbür tabakası uygulama sürecini ifade eder. Bu silisyum karbür seramik kaplama, olağanüstü aşınma direnci, termal kararlılık ve korozyon koruması sağlayarak çeşitli alt tabakaların yüzey özelliklerini geliştirir. SiC, yüksek erime noktası (yaklaşık 2700℃), aşırı sertlik (Mohs ölçeği 9), mükemmel korozyon ve oksidasyon direnci ve olağanüstü ablasyon performansı gibi olağanüstü fiziksel ve kimyasal özellikleriyle bilinir.
Endüstriyel Uygulamalarda Silisyum Karbür Kaplamanın Temel Faydaları
Bu özelliklerden dolayı, silisyum karbür kaplama havacılık, silah ekipmanları ve yarı iletken işleme gibi alanlarda yaygın olarak kullanılır. Aşırı ortamlarda, özellikle 1800-2000℃ aralığında, SiC kaplama olağanüstü termal kararlılık ve aşınma direnci sergiler ve bu da onu yüksek sıcaklık uygulamaları için ideal hale getirir. Ancak, silisyum karbür tek başına birçok uygulama için gereken yapısal bütünlüğe sahip değildir, bu nedenle bileşen mukavemetinden ödün vermeden benzersiz özelliklerini kullanmak için kaplama yöntemleri kullanılır. Yarı iletken üretiminde, silisyum karbür kaplamalı elemanlar MOCVD işlemlerinde kullanılan ekipmanlarda güvenilir koruma ve performans kararlılığı sağlar.
Silisyum Karbür Kaplama Hazırlamada Yaygın Yöntemler
Ⅰ● Kimyasal Buhar Biriktirme (CVD) Silisyum Karbür Kaplama
Bu yöntemde, SiC kaplamalar, metiltriklorosilanın (MTS) öncül görevi gördüğü bir reaksiyon odasına substratlar yerleştirilerek oluşturulur. Kontrollü koşullar altında (tipik olarak 950-1300°C ve negatif basınç) MTS ayrışır ve silisyum karbür yüzeye biriktirilir. Bu CVD SiC kaplama işlemi, yarı iletken ve havacılık sektörlerindeki yüksek hassasiyetli uygulamalar için ideal olan mükemmel yapışma özelliğine sahip yoğun, düzgün bir kaplama sağlar.
Ⅱ● Öncül Dönüşüm Yöntemi (Polimer Emprenye ve Piroliz – PIP)
Bir diğer etkili silikon karbür sprey kaplama yaklaşımı, önceden işlenmiş numunenin seramik bir öncül çözeltisine daldırılmasını içeren öncül dönüştürme yöntemidir. Emprenye tankı vakumlandıktan ve kaplama basınçlandırıldıktan sonra numune ısıtılır ve soğutulduğunda silikon karbür kaplama oluşumuna yol açar. Bu yöntem, düzgün kaplama kalınlığı ve gelişmiş aşınma direnci gerektiren bileşenler için tercih edilir.
Silisyum Karbür Kaplamanın Fiziksel Özellikleri
Silisyum karbür kaplamalar, onları zorlu endüstriyel uygulamalar için ideal kılan özellikler sergiler. Bu özellikler şunları içerir:
Isıl İletkenlik: 120-270 W/m·K
Isıl Genleşme Katsayısı: 4.3 × 10^(-6)/K (20~800℃'de)
Elektriksel Direnç: 10^5– 10^6Ω·cm
Sertlik: Mohs ölçeği 9
Silisyum Karbür Kaplamanın Uygulamaları
Yarı iletken üretiminde, MOCVD ve diğer yüksek sıcaklık prosesleri için silisyum karbür kaplama, hem yüksek sıcaklık direnci hem de stabilite sunarak reaktörler ve suseptörler gibi kritik ekipmanları korur. Havacılık ve savunmada, silisyum karbür seramik kaplamalar, yüksek hızlı darbelere ve aşındırıcı ortamlara dayanması gereken bileşenlere uygulanır. Ayrıca, silisyum karbür boya veya kaplamalar, sterilizasyon prosedürleri altında dayanıklılık gerektiren tıbbi cihazlarda da kullanılabilir.
Silisyum Karbür Kaplamayı Neden Seçmelisiniz?
Bileşen ömrünü uzatmada kanıtlanmış bir geçmişe sahip olan silikon karbür kaplamalar, eşsiz dayanıklılık ve sıcaklık kararlılığı sağlayarak uzun vadeli kullanım için uygun maliyetli hale getirir. Silikon karbür kaplamalı bir yüzey seçerek, endüstriler bakım maliyetlerinin azalmasından, ekipman güvenilirliğinin artmasından ve operasyonel verimliliğin artmasından faydalanır.
Neden VET ENERGY'yi Seçmelisiniz?
VET ENERGY, Çin'de silikon karbür kaplama ürünlerinin profesyonel üreticisi ve fabrikasıdır. Başlıca SiC kaplama ürünleri arasında silikon karbür seramik kaplama ısıtıcısı,CVD Silisyum Karbür Kaplama MOCVD Susceptor, CVD SiC Kaplamalı MOCVD Grafit Taşıyıcı, SiC Kaplamalı Grafit Tabanlı Taşıyıcılar, Yarıiletkenler için Silisyum Karbür Kaplamalı Grafit Alt Tabaka,Yarıiletken için SiC Kaplama/Kaplamalı Grafit Alt Tabaka/Tepsi, CVD SiC Kaplamalı Karbon-karbon Kompozit CFC Tekne Kalıbı. VET ENERGY, yarı iletken endüstrisi için ileri teknoloji ve ürün çözümleri sağlamaya kendini adamıştır. Çin'deki uzun vadeli ortağınız olmayı içtenlikle umuyoruz.
Gönderi zamanı: Sep-02-2023