Покрытие из карбида кремния,Обычно известное как покрытие SiC, относится к процессу нанесения слоя карбида кремния на поверхности с помощью таких методов, как химическое осаждение из паровой фазы (CVD), физическое осаждение из паровой фазы (PVD) или термическое напыление. Это керамическое покрытие из карбида кремния улучшает поверхностные свойства различных подложек, придавая им исключительную износостойкость, термическую стабильность и защиту от коррозии. SiC известен своими выдающимися физическими и химическими свойствами, включая высокую температуру плавления (приблизительно 2700 ℃), чрезвычайную твердость (шкала Мооса 9), превосходную коррозионную и окислительную стойкость и исключительные характеристики абляции.
Основные преимущества покрытия из карбида кремния в промышленных применениях
Благодаря этим особенностям покрытие из карбида кремния широко используется в таких областях, как аэрокосмическая промышленность, оружейное оборудование и обработка полупроводников. В экстремальных условиях, особенно в диапазоне 1800-2000 ℃, покрытие SiC демонстрирует замечательную термическую стабильность и абляционную стойкость, что делает его идеальным для высокотемпературных применений. Однако сам по себе карбид кремния не обладает структурной целостностью, необходимой для многих применений, поэтому методы нанесения покрытия используются для использования его уникальных свойств без ущерба для прочности компонентов. В производстве полупроводников элементы с покрытием из карбида кремния обеспечивают надежную защиту и стабильность работы в оборудовании, используемом в процессах MOCVD.
Распространенные методы подготовки покрытия из карбида кремния
Ⅰ● Покрытие из карбида кремния методом химического осаждения из паровой фазы (CVD)
В этом методе покрытия SiC формируются путем помещения подложек в реакционную камеру, где метилтрихлорсилан (MTS) выступает в качестве прекурсора. В контролируемых условиях — обычно 950-1300°C и отрицательном давлении — MTS подвергается разложению, и карбид кремния осаждается на поверхность. Этот процесс покрытия CVD SiC обеспечивает плотное, однородное покрытие с превосходной адгезией, идеально подходящее для высокоточных применений в полупроводниковой и аэрокосмической промышленности.
Ⅱ● Метод преобразования прекурсора (полимерная пропитка и пиролиз – PIP)
Другим эффективным методом нанесения покрытия из карбида кремния является метод конверсии прекурсора, который включает погружение предварительно обработанного образца в раствор керамического прекурсора. После вакуумирования пропиточного бака и создания давления в покрытии образец нагревается, что приводит к образованию покрытия из карбида кремния при охлаждении. Этот метод предпочтителен для компонентов, требующих равномерной толщины покрытия и повышенной износостойкости.
Физические свойства покрытия из карбида кремния
Покрытия из карбида кремния демонстрируют свойства, которые делают их идеальными для сложных промышленных применений. Эти свойства включают:
Теплопроводность: 120-270 Вт/м·К
Коэффициент теплового расширения: 4,3 × 10^(-6)/К (при 20~800℃)
Удельное электрическое сопротивление: 10^5– 10^6Ом·см
Твёрдость: 9 по шкале Мооса
Применение покрытия из карбида кремния
В производстве полупроводников покрытие из карбида кремния для MOCVD и других высокотемпературных процессов защищает критическое оборудование, такое как реакторы и токоприемники, предлагая как устойчивость к высоким температурам, так и стабильность. В аэрокосмической и оборонной промышленности покрытия из карбида кремния наносятся на компоненты, которые должны выдерживать высокоскоростные удары и коррозионные среды. Кроме того, краска или покрытия из карбида кремния могут также использоваться на медицинских устройствах, которые требуют долговечности при процедурах стерилизации.
Почему стоит выбрать покрытие из карбида кремния?
Имея подтвержденный опыт продления срока службы компонентов, покрытия из карбида кремния обеспечивают непревзойденную прочность и температурную стабильность, что делает их экономически эффективными для долгосрочного использования. Выбирая поверхность с покрытием из карбида кремния, отрасли получают выгоду от снижения затрат на техническое обслуживание, повышения надежности оборудования и улучшения эксплуатационной эффективности.
Почему стоит выбрать VET ENERGY?
VET ENERGY является профессиональным производителем и фабрикой изделий с покрытием из карбида кремния в Китае. Основные изделия с покрытием SiC включают нагреватель с керамическим покрытием из карбида кремния,Покрытие из карбида кремния CVD MOCVD токоприемник, Графитовый носитель MOCVD с покрытием CVD SiC, Графитовые носители с покрытием SiC, Графитовая подложка с покрытием из карбида кремния для полупроводников,Покрытие SiC/Покрытая графитовая подложка/Лоток для полупроводников, Форма для лодок из композитного материала CFC с покрытием CVD SiC. VET ENERGY стремится предоставлять передовые технологии и решения в области продукции для полупроводниковой промышленности. Мы искренне надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае.
Время публикации: 02-сен-2023