ថ្នាំកូតស៊ីលីកុនកាប៊ីត,ថ្នាំកូត SiC ដែលត្រូវបានគេស្គាល់ជាទូទៅថាជាថ្នាំកូត SiC សំដៅទៅលើដំណើរការនៃការលាបស្រទាប់ស៊ីលីកុនកាប៊ីដទៅលើផ្ទៃតាមរយៈវិធីសាស្រ្តដូចជា Chemical Vapor Deposition (CVD) Physical Vapor Deposition (PVD) ឬការបាញ់ថ្នាំដោយកម្ដៅ។ ថ្នាំកូតសេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីដនេះជួយបង្កើនលក្ខណៈសម្បត្តិផ្ទៃនៃស្រទាប់ខាងក្រោមផ្សេងៗដោយផ្តល់នូវភាពធន់នឹងការពាក់ ស្ថេរភាពកម្ដៅ និងការការពារការច្រេះដ៏ល្អឥតខ្ចោះ។ SiC ត្រូវបានគេស្គាល់ដោយសារលក្ខណៈសម្បត្តិរូបវន្ត និងគីមីដ៏ល្អឥតខ្ចោះរបស់វា រួមទាំងចំណុចរលាយខ្ពស់ (ប្រហែល 2700℃) ភាពរឹងខ្លាំង (Mohs scale 9) ភាពធន់នឹងការច្រេះ និងអុកស៊ីតកម្មដ៏ល្អឥតខ្ចោះ និងដំណើរការ ablation ដ៏ល្អឥតខ្ចោះ។
អត្ថប្រយោជន៍សំខាន់ៗនៃថ្នាំកូតស៊ីលីកុនកាប៊ីដក្នុងកម្មវិធីឧស្សាហកម្ម
ដោយសារតែលក្ខណៈពិសេសទាំងនេះ ថ្នាំកូតស៊ីលីកុនកាបូអ៊ីដ្រាតត្រូវបានគេប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងវិស័យដូចជាអាកាសចរណ៍ ឧបករណ៍អាវុធ និងដំណើរការស៊ីមីកុងដុកទ័រ។ នៅក្នុងបរិយាកាសខ្លាំង ជាពិសេសនៅក្នុងជួរ 1800-2000℃ ថ្នាំកូត SiC បង្ហាញពីស្ថេរភាពកម្ដៅ និងភាពធន់នឹងការរលាយគួរឱ្យកត់សម្គាល់ ដែលធ្វើឱ្យវាល្អសម្រាប់កម្មវិធីសីតុណ្ហភាពខ្ពស់។ ទោះជាយ៉ាងណាក៏ដោយ ស៊ីលីកុនកាបូអ៊ីដ្រាតតែម្នាក់ឯងខ្វះភាពសុចរិតនៃរចនាសម្ព័ន្ធដែលត្រូវការសម្រាប់កម្មវិធីជាច្រើន ដូច្នេះវិធីសាស្ត្រថ្នាំកូតត្រូវបានប្រើដើម្បីទាញយកអត្ថប្រយោជន៍ពីលក្ខណៈសម្បត្តិតែមួយគត់របស់វាដោយមិនធ្វើឱ្យខូចដល់កម្លាំងសមាសធាតុ។ នៅក្នុងការផលិតស៊ីមីកុងដុកទ័រ ធាតុដែលស្រោបស៊ីលីកុនកាបូអ៊ីដ្រាតផ្តល់នូវការការពារដែលអាចទុកចិត្តបាន និងស្ថេរភាពនៃការអនុវត្តនៅក្នុងឧបករណ៍ដែលប្រើក្នុងដំណើរការ MOCVD។
វិធីសាស្រ្តទូទៅសម្រាប់ការរៀបចំថ្នាំកូតស៊ីលីកុនកាប៊ីដ
ទី១● ថ្នាំកូតស៊ីលីកុនកាប៊ីតដែលមានចំហាយគីមី (CVD)
នៅក្នុងវិធីសាស្ត្រនេះ ថ្នាំកូត SiC ត្រូវបានបង្កើតឡើងដោយការដាក់ស្រទាប់ខាងក្រោមនៅក្នុងបន្ទប់ប្រតិកម្ម ដែលមេទីលទ្រីក្លរ៉ូស៊ីឡាន (MTS) ដើរតួជាសារធាតុបឋម។ ក្រោមលក្ខខណ្ឌដែលបានគ្រប់គ្រង - ជាធម្មតា 950-1300°C និងសម្ពាធអវិជ្ជមាន - MTS ឆ្លងកាត់ការរលួយ ហើយស៊ីលីកុនកាប៊ីតត្រូវបានដាក់លើផ្ទៃ។ ដំណើរការថ្នាំកូត SiC CVD នេះធានានូវថ្នាំកូតក្រាស់ និងឯកសណ្ឋានជាមួយនឹងការស្អិតជាប់ដ៏ល្អឥតខ្ចោះ ដែលល្អសម្រាប់កម្មវិធីដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់នៅក្នុងវិស័យស៊ីមីកុងដុកទ័រ និងអាកាសចរណ៍។
ទី២● វិធីសាស្ត្របំលែងសារធាតុផ្សំ (ការជ្រលក់ប៉ូលីមែរ និង ការរលាយដោយកំដៅ - PIP)
វិធីសាស្រ្តបាញ់ថ្នាំកូតស៊ីលីកុនកាបៃដែលមានប្រសិទ្ធភាពមួយទៀតគឺវិធីសាស្រ្តបំលែងសារធាតុបឋម ដែលពាក់ព័ន្ធនឹងការជ្រលក់គំរូដែលបានព្យាបាលជាមុននៅក្នុងដំណោះស្រាយសារធាតុបឋមសេរ៉ាមិច។ បន្ទាប់ពីបូមធូលីធុងត្រាំ និងដាក់សម្ពាធលើថ្នាំកូត គំរូត្រូវបានកំដៅ ដែលនាំឱ្យមានការបង្កើតថ្នាំកូតស៊ីលីកុនកាបៃនៅពេលត្រជាក់។ វិធីសាស្រ្តនេះត្រូវបានគេពេញចិត្តសម្រាប់សមាសធាតុដែលត្រូវការកម្រាស់ថ្នាំកូតឯកសណ្ឋាន និងភាពធន់នឹងការពាក់កើនឡើង។
លក្ខណៈសម្បត្តិរូបវន្តនៃថ្នាំកូតស៊ីលីកុនកាប៊ីដ
ថ្នាំកូតស៊ីលីកុនកាបៃបង្ហាញពីលក្ខណៈសម្បត្តិដែលធ្វើឱ្យវាល្អសម្រាប់កម្មវិធីឧស្សាហកម្មដែលមានតម្រូវការខ្ពស់។ លក្ខណៈសម្បត្តិទាំងនេះរួមមាន៖
ចរន្តកំដៅ៖ ១២០-២៧០ W/m·K
មេគុណនៃការពង្រីកកម្ដៅ៖ ៤.៣ × ១០^(-៦)/K (នៅសីតុណ្ហភាព 20~800℃)
ភាពធន់អគ្គិសនី៖ ១០ ^5– ១០^6Ω·សង់ទីម៉ែត្រ
ភាពរឹង៖ មាត្រដ្ឋាន Mohs 9
ការអនុវត្តថ្នាំកូតស៊ីលីកុនកាប៊ីដ
នៅក្នុងការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក ថ្នាំកូតស៊ីលីកុនកាប៊ីតសម្រាប់ MOCVD និងដំណើរការសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ផ្សេងទៀតការពារឧបករណ៍សំខាន់ៗ ដូចជារ៉េអាក់ទ័រ និងឧបករណ៍ទទួលសញ្ញា ដោយផ្តល់ទាំងភាពធន់នឹងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងស្ថេរភាព។ នៅក្នុងវិស័យអាកាសចរណ៍ និងការពារជាតិ ថ្នាំកូតសេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីតត្រូវបានអនុវត្តទៅលើសមាសធាតុដែលត្រូវតែទប់ទល់នឹងផលប៉ះពាល់ល្បឿនលឿន និងបរិស្ថានច្រេះ។ លើសពីនេះ ថ្នាំលាប ឬថ្នាំកូតស៊ីលីកុនកាប៊ីតក៏អាចត្រូវបានប្រើលើឧបករណ៍វេជ្ជសាស្ត្រដែលត្រូវការភាពធន់ក្រោមនីតិវិធីសម្លាប់មេរោគផងដែរ។
ហេតុអ្វីត្រូវជ្រើសរើសថ្នាំកូតស៊ីលីកុនកាប៊ីដ?
ជាមួយនឹងកំណត់ត្រាដែលបានបង្ហាញឱ្យឃើញក្នុងការពន្យារអាយុកាលនៃសមាសធាតុ ថ្នាំកូតស៊ីលីកុនកាប៊ីតផ្តល់នូវភាពធន់ និងស្ថេរភាពសីតុណ្ហភាពដែលមិនអាចប្រៀបផ្ទឹមបាន ដែលធ្វើឱ្យវាមានប្រសិទ្ធភាពចំណាយសម្រាប់ការប្រើប្រាស់រយៈពេលវែង។ តាមរយៈការជ្រើសរើសផ្ទៃថ្នាំកូតស៊ីលីកុនកាប៊ីត ឧស្សាហកម្មទទួលបានអត្ថប្រយោជន៍ពីការចំណាយថែទាំទាប ភាពជឿជាក់នៃឧបករណ៍ប្រសើរឡើង និងប្រសិទ្ធភាពប្រតិបត្តិការប្រសើរឡើង។
ហេតុអ្វីត្រូវជ្រើសរើស VET ENERGY?
VET ENERGY គឺជាក្រុមហ៊ុនផលិត និងរោងចក្រផលិតផលិតផលថ្នាំកូតស៊ីលីកុនកាប៊ីតដែលមានជំនាញវិជ្ជាជីវៈនៅក្នុងប្រទេសចិន។ ផលិតផលថ្នាំកូត SiC សំខាន់ៗរួមមានឧបករណ៍កម្តៅថ្នាំកូតសេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីតថ្នាំកូតស៊ីលីកុនកាបូអ៊ីដ CVD ឧបករណ៍ទទួល MOCVD, សម្ភារៈផ្ទុកក្រាហ្វីត MOCVD ជាមួយថ្នាំកូត CVD SiC, ស្រោមមូលដ្ឋានក្រាហ្វីតស្រោប SiC, ស្រទាប់ក្រាហ្វីតស្រោបដោយស៊ីលីកុនកាប៊ីដសម្រាប់ឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក,ថ្នាំកូត SiC/ស្រទាប់ក្រាហ្វីតស្រោប/ថាសសម្រាប់ឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក, ផ្សិតទូក CFC សមាសធាតុកាបូន-កាបូនស្រោបដោយ CVD SiCក្រុមហ៊ុន VET ENERGY ប្តេជ្ញាផ្តល់ជូននូវបច្ចេកវិទ្យាទំនើប និងដំណោះស្រាយផលិតផលសម្រាប់ឧស្សាហកម្មស៊ីមីកុងដុកទ័រ។ យើងខ្ញុំសង្ឃឹមយ៉ាងមុតមាំថានឹងក្លាយជាដៃគូរយៈពេលវែងរបស់អ្នកនៅក្នុងប្រទេសចិន។
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ខែកញ្ញា-០២-២០២៣
