ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ଆବରଣ,ସାଧାରଣତଃ SiC ଆବରଣ ଭାବରେ ଜଣାଶୁଣା, ଏହା ରାସାୟନିକ ବାଷ୍ପ ଜମା (CVD), ଭୌତିକ ବାଷ୍ପ ଜମା (PVD), କିମ୍ବା ଥର୍ମାଲ୍ ସ୍ପ୍ରେ କରିବା ଭଳି ପଦ୍ଧତି ମାଧ୍ୟମରେ ପୃଷ୍ଠରେ ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡର ଏକ ସ୍ତର ପ୍ରୟୋଗ କରିବାର ପ୍ରକ୍ରିୟାକୁ ବୁଝାଏ। ଏହି ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ସିରାମିକ୍ ଆବରଣ ଅସାଧାରଣ ପରିଧାନ ପ୍ରତିରୋଧ, ତାପଜ ସ୍ଥିରତା ଏବଂ କ୍ଷୟ ସୁରକ୍ଷା ପ୍ରଦାନ କରି ବିଭିନ୍ନ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ର ପୃଷ୍ଠ ଗୁଣଗୁଡ଼ିକୁ ବୃଦ୍ଧି କରେ। SiC ଏହାର ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ଭୌତିକ ଏବଂ ରାସାୟନିକ ଗୁଣ ପାଇଁ ଜଣାଶୁଣା, ଯେଉଁଥିରେ ଏକ ଉଚ୍ଚ ତରଳଣ ବିନ୍ଦୁ (ପ୍ରାୟ 2700℃), ଅତ୍ୟଧିକ କଠୋରତା (Mohs ସ୍କେଲ୍ 9), ଉତ୍କୃଷ୍ଟ କ୍ଷୟ ଏବଂ ଅକ୍ସିଡେସନ୍ ପ୍ରତିରୋଧ, ଏବଂ ଅସାଧାରଣ ଆବଲେସନ୍ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ଅନ୍ତର୍ଭୁକ୍ତ।
ଶିଳ୍ପ ପ୍ରୟୋଗରେ ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ଆବରଣର ମୁଖ୍ୟ ଲାଭ
ଏହି ବୈଶିଷ୍ଟ୍ୟଗୁଡ଼ିକ ଯୋଗୁଁ, ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ଆବରଣ ମହାକାଶ, ଅସ୍ତ୍ରଶସ୍ତ୍ର ଉପକରଣ ଏବଂ ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ଭଳି କ୍ଷେତ୍ରରେ ବହୁଳ ଭାବରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ। ଅତ୍ୟନ୍ତ ପରିବେଶରେ, ବିଶେଷକରି 1800-2000℃ ପରିସର ମଧ୍ୟରେ, SiC ଆବରଣ ଉଲ୍ଲେଖନୀୟ ତାପଜ ସ୍ଥିରତା ଏବଂ ଆବଲେଟିଭ୍ ପ୍ରତିରୋଧ ପ୍ରଦର୍ଶନ କରେ, ଯାହା ଏହାକୁ ଉଚ୍ଚ-ତାପମାନ ପ୍ରୟୋଗ ପାଇଁ ଆଦର୍ଶ କରିଥାଏ। ତଥାପି, କେବଳ ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ଅନେକ ପ୍ରୟୋଗ ପାଇଁ ଆବଶ୍ୟକ ସଂରଚନାତ୍ମକ ଅଖଣ୍ଡତାର ଅଭାବ ରଖେ, ତେଣୁ ଉପାଦାନ ଶକ୍ତି ସହିତ ଆଘାତ ନକରି ଏହାର ଅନନ୍ୟ ଗୁଣଗୁଡ଼ିକୁ ଲାଭ କରିବା ପାଇଁ ଆବରଣ ପଦ୍ଧତି ନିଯୁକ୍ତ କରାଯାଏ। ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଉତ୍ପାଦନରେ, ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ଆବୃତ ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକ MOCVD ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ ବ୍ୟବହୃତ ଉପକରଣ ମଧ୍ୟରେ ନିର୍ଭରଯୋଗ୍ୟ ସୁରକ୍ଷା ଏବଂ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ସ୍ଥିରତା ପ୍ରଦାନ କରେ।
ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ଆବରଣ ପ୍ରସ୍ତୁତି ପାଇଁ ସାଧାରଣ ପଦ୍ଧତି
Ⅰ● ରାସାୟନିକ ବାଷ୍ପ ଜମା (CVD) ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ଆବରଣ
ଏହି ପଦ୍ଧତିରେ, ଏକ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ଚାମ୍ବରରେ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ରଖି SiC ଆବରଣ ଗଠନ କରାଯାଏ, ଯେଉଁଠାରେ ମିଥାଇଲଟ୍ରାଇକ୍ଲୋରୋସିଲେନ୍ (MTS) ଏକ ପୂର୍ବବର୍ତ୍ତୀ ଭାବରେ କାର୍ଯ୍ୟ କରେ। ନିୟନ୍ତ୍ରିତ ପରିସ୍ଥିତିରେ - ସାଧାରଣତଃ 950-1300°C ଏବଂ ନକାରାତ୍ମକ ଚାପ - MTS ବିଘଟିତ ହୁଏ, ଏବଂ ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ପୃଷ୍ଠରେ ଜମା ହୁଏ। ଏହି CVD SiC ଆବରଣ ପ୍ରକ୍ରିୟା ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ଆନୁଗତ୍ୟ ସହିତ ଏକ ଘନ, ସମାନ ଆବରଣ ସୁନିଶ୍ଚିତ କରେ, ଯାହା ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଏବଂ ମହାକାଶ କ୍ଷେତ୍ରରେ ଉଚ୍ଚ-ସଠିକତା ପ୍ରୟୋଗ ପାଇଁ ଆଦର୍ଶ।
Ⅱ● ପ୍ରିକର୍ସର କନଭର୍ସନ ପଦ୍ଧତି (ପଲିମର ଇମ୍ପ୍ରେଗ୍ନେସନ ଏବଂ ପାଇରୋଲିସିସ୍ - PIP)
ଆଉ ଏକ ପ୍ରଭାବଶାଳୀ ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ସ୍ପ୍ରେ ଆବରଣ ପଦ୍ଧତି ହେଉଛି ପ୍ରିକର୍ସର୍ ରୂପାନ୍ତର ପଦ୍ଧତି, ଯେଉଁଥିରେ ପୂର୍ବରୁ ଚିକିତ୍ସା କରାଯାଇଥିବା ନମୁନାକୁ ଏକ ସିରାମିକ୍ ପ୍ରିକର୍ସର୍ ଦ୍ରବଣରେ ବୁଡ଼ାଇ ଦିଆଯାଇଥାଏ। ଇମ୍ପ୍ରେଗ୍ନେସନ୍ ଟ୍ୟାଙ୍କକୁ ଶୂନ୍ୟ କରିବା ଏବଂ ଆବରଣକୁ ଚାପ ଦେବା ପରେ, ନମୁନାକୁ ଗରମ କରାଯାଏ, ଯାହା ଥଣ୍ଡା ହେବା ପରେ ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ଆବରଣ ଗଠନ କରିଥାଏ। ଏହି ପଦ୍ଧତି ସମାନ ଆବରଣ ଘନତା ଏବଂ ବର୍ଦ୍ଧିତ ପରିଧାନ ପ୍ରତିରୋଧ ଆବଶ୍ୟକ କରୁଥିବା ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକ ପାଇଁ ପସନ୍ଦ କରାଯାଏ।
ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ଆବରଣର ଭୌତିକ ଗୁଣ
ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ଆବରଣ ଏପରି ଗୁଣ ପ୍ରଦର୍ଶନ କରେ ଯାହା ସେମାନଙ୍କୁ ଚାହିଦାପୂର୍ଣ୍ଣ ଶିଳ୍ପ ପ୍ରୟୋଗ ପାଇଁ ଆଦର୍ଶ କରିଥାଏ। ଏହି ଗୁଣଗୁଡ଼ିକ ମଧ୍ୟରେ ଅନ୍ତର୍ଭୁକ୍ତ:
ତାପଜ ପରିବାହିତା: 120-270 W/m·K
ତାପଜ ପ୍ରସାରଣର ଗୁଣାଙ୍କ: 4.3 × 10^(-6)/K (୨୦~୮୦୦℃ ରେ)
ବୈଦ୍ୟୁତିକ ପ୍ରତିରୋଧକତା: 10^5– ୧୦^6Ω·ସେମି
କଠିନତା: ମୋହସ୍ ସ୍କେଲ୍ 9
ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ଆବରଣର ପ୍ରୟୋଗ
ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଉତ୍ପାଦନରେ, MOCVD ଏବଂ ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ଉଚ୍ଚ-ତାପମାନ ପ୍ରକ୍ରିୟା ପାଇଁ ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ଆବରଣ ଉଚ୍ଚ-ତାପମାନ ପ୍ରତିରୋଧ ଏବଂ ସ୍ଥିରତା ପ୍ରଦାନ କରି ରିଆକ୍ଟର ଏବଂ ସସେପ୍ଟର ଭଳି ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ଉପକରଣଗୁଡ଼ିକୁ ସୁରକ୍ଷା ଦିଏ। ମହାକାଶ ଏବଂ ପ୍ରତିରକ୍ଷା କ୍ଷେତ୍ରରେ, ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ସିରାମିକ୍ ଆବରଣ ଏପରି ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକରେ ପ୍ରୟୋଗ କରାଯାଏ ଯାହା ଉଚ୍ଚ-ଗତି ପ୍ରଭାବ ଏବଂ କ୍ଷୟକାରୀ ପରିବେଶକୁ ସହ୍ୟ କରିବା ଆବଶ୍ୟକ। ଏହା ବ୍ୟତୀତ, ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ରଙ୍ଗ କିମ୍ବା ଆବରଣ ଚିକିତ୍ସା ଉପକରଣଗୁଡ଼ିକରେ ମଧ୍ୟ ବ୍ୟବହାର କରାଯାଇପାରିବ ଯାହା ପାଇଁ ଜୀବାଣୁମୁକ୍ତି ପ୍ରକ୍ରିୟା ଅଧୀନରେ ସ୍ଥାୟୀତ୍ୱ ଆବଶ୍ୟକ।
ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ଆବରଣ କାହିଁକି ବାଛନ୍ତୁ?
ଉପାଦାନ ଜୀବନ ବୃଦ୍ଧି କରିବାରେ ଏକ ପ୍ରମାଣିତ ରେକର୍ଡ ସହିତ, ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ଆବରଣ ଅତୁଳନୀୟ ସ୍ଥାୟୀତ୍ୱ ଏବଂ ତାପମାତ୍ରା ସ୍ଥିରତା ପ୍ରଦାନ କରେ, ଯାହା ସେମାନଙ୍କୁ ଦୀର୍ଘକାଳୀନ ବ୍ୟବହାର ପାଇଁ ମୂଲ୍ୟ-ପ୍ରଭାବଶାଳୀ କରିଥାଏ। ଏକ ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ଆବୃତ ପୃଷ୍ଠ ବାଛିବା ଦ୍ୱାରା, ଶିଳ୍ପଗୁଡ଼ିକ ହ୍ରାସିତ ରକ୍ଷଣାବେକ୍ଷଣ ଖର୍ଚ୍ଚ, ବର୍ଦ୍ଧିତ ଉପକରଣ ନିର୍ଭରଯୋଗ୍ୟତା ଏବଂ ଉନ୍ନତ କାର୍ଯ୍ୟକ୍ଷମ ଦକ୍ଷତାରୁ ଲାଭ ପାଆନ୍ତି।
କାହିଁକି VET ଶକ୍ତି ବାଛିବେ?
VET ENERGY ହେଉଛି ଚୀନ୍ରେ ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ଆବରଣ ଉତ୍ପାଦଗୁଡ଼ିକର ଏକ ବୃତ୍ତିଗତ ନିର୍ମାତା ଏବଂ କାରଖାନା। ମୁଖ୍ୟ SiC ଆବରଣ ଉତ୍ପାଦଗୁଡ଼ିକ ମଧ୍ୟରେ ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ସେରାମିକ୍ ଆବରଣ ହିଟର୍ ଅନ୍ତର୍ଭୁକ୍ତ,CVD ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ଆବରଣ MOCVD ସସପେକ୍ଟର୍, CVD SiC ଆବରଣ ସହିତ MOCVD ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ କ୍ୟାରିଅର୍, SiC ଆବୃତ ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ବେସ୍ କ୍ୟାରିଅର୍, ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ପାଇଁ ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ଆବୃତ ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍,ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ପାଇଁ SiC ଆବରଣ/ଆବରଣିତ ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍/ଟ୍ରେ, CVD SiC ଆବୃତ କାର୍ବନ-କାର୍ବନ କମ୍ପୋଜିଟ୍ CFC ଡଙ୍ଗା ଛାଞ୍ଚ। VET ENERGY ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଶିଳ୍ପ ପାଇଁ ଉନ୍ନତ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ଏବଂ ଉତ୍ପାଦ ସମାଧାନ ପ୍ରଦାନ କରିବାକୁ ପ୍ରତିବଦ୍ଧ। ଆମେ ଚୀନରେ ଆପଣଙ୍କର ଦୀର୍ଘକାଳୀନ ଅଂଶୀଦାର ହେବାକୁ ଆନ୍ତରିକ ଭାବରେ ଆଶା କରୁଛୁ।
ପୋଷ୍ଟ ସମୟ: ସେପ୍ଟେମ୍ବର-୦୨-୨୦୨୩