Пакрыццё з карбіду крэмнію,Звычайна вядомае як пакрыццё SiC, адносіцца да працэсу нанясення пласта карбіду крэмнію на паверхні з дапамогай такіх метадаў, як хімічнае асаджэнне з паравой фазы (CVD), фізічнае асаджэнне з паравой фазы (PVD) або тэрмічнае напыленне. Гэта керамічнае пакрыццё з карбіду крэмнію паляпшае ўласцівасці паверхні розных падкладак, надаючы ім выключную зносаўстойлівасць, тэрмічную стабільнасць і абарону ад карозіі. SiC вядомы сваімі выдатнымі фізічнымі і хімічнымі ўласцівасцямі, у тым ліку высокай тэмпературай плаўлення (прыблізна 2700℃), надзвычайнай цвёрдасцю (шкала Мооса 9), выдатнай устойлівасцю да карозіі і акіслення, а таксама выключнымі характарыстыкамі абляцыі.
Асноўныя перавагі пакрыцця з карбіду крэмнію ў прамысловым ужыванні
Дзякуючы гэтым уласцівасцям, пакрыццё з карбіду крэмнію шырока выкарыстоўваецца ў такіх галінах, як аэракасмічная прамысловасць, абсталяванне для ўзбраення і апрацоўка паўправаднікоў. У экстрэмальных умовах, асабліва ў дыяпазоне 1800-2000℃, пакрыццё SiC дэманструе выдатную тэрмічную стабільнасць і абляцыйную ўстойлівасць, што робіць яго ідэальным для прымянення пры высокіх тэмпературах. Аднак сам па сабе карбід крэмнію не мае структурнай цэласнасці, неабходнай для многіх ужыванняў, таму выкарыстоўваюцца метады нанясення пакрыццяў, каб выкарыстоўваць яго унікальныя ўласцівасці без шкоды для трываласці кампанентаў. У вытворчасці паўправаднікоў элементы з пакрыццём з карбіду крэмнію забяспечваюць надзейную абарону і стабільнасць прадукцыйнасці абсталявання, якое выкарыстоўваецца ў працэсах MOCVD.
Агульныя метады падрыхтоўкі пакрыццяў з карбіду крэмнію
Ⅰ● Пакрыццё карбідам крэмнію метадам хімічнага асаджэння з паравой фазы (CVD)
Пры гэтым метадзе пакрыцці з карбіду крэмнію (SIC) фармуюцца шляхам размяшчэння падкладак у рэакцыйнай камеры, дзе метылтрыхлорсілан (MTS) выступае ў якасці папярэдніка. У кантраляваных умовах — звычайна пры тэмпературы 950-1300°C і адмоўным ціску — MTS раскладаецца, і на паверхню наносіцца карбід крэмнію. Гэты працэс CVD-пакрыцця SiC забяспечвае шчыльнае, аднастайнае пакрыццё з выдатнай адгезіяй, ідэальнае для высокадакладных прымяненняў у паўправадніковай і аэракасмічнай галінах.
II● Метад пераўтварэння папярэдніка (палімерная імпрэгнацыя і піроліз – PIP)
Яшчэ адзін эфектыўны падыход да нанясення пакрыццяў з карбіду крэмнію распыленнем — гэта метад пераўтварэння папярэдніка, які прадугледжвае апусканне папярэдне апрацаванага ўзору ў раствор керамічнага папярэдніка. Пасля вакуумавання рэзервуара для насычэння і стварэння пакрыцця пад ціскам, узор награваецца, што прыводзіць да ўтварэння пакрыцця з карбіду крэмнію пры астуджэнні. Гэты метад пераважнейшы для кампанентаў, якія патрабуюць аднастайнай таўшчыні пакрыцця і павышанай зносаўстойлівасці.
Фізічныя ўласцівасці пакрыцця з карбіду крэмнію
Пакрыцці з карбіду крэмнію валодаюць уласцівасцямі, якія робяць іх ідэальнымі для складаных прамысловых ужыванняў. Да гэтых уласцівасцей адносяцца:
Цеплаправоднасць: 120-270 Вт/м·К
Каэфіцыент цеплавога пашырэння: 4,3 × 10^(-6)/К (пры 20~800℃)
Электрычнае супраціўленне: 10^5– 10^6Ом·см
Цвёрдасць: 9 па шкале Мооса
Прымяненне пакрыцця з карбіду крэмнію
У вытворчасці паўправаднікоў пакрыццё з карбіду крэмнію для MOCVD і іншых высокатэмпературных працэсаў абараняе крытычна важнае абсталяванне, такое як рэактары і токапрыёмнікі, забяспечваючы як устойлівасць да высокіх тэмператур, так і стабільнасць. У аэракасмічнай і абароннай прамысловасці керамічныя пакрыцці з карбіду крэмнію наносяцца на кампаненты, якія павінны вытрымліваць удары пры высокай хуткасці і агрэсіўныя асяроддзі. Акрамя таго, фарба або пакрыцці з карбіду крэмнію таксама могуць выкарыстоўвацца на медыцынскіх прыладах, якія патрабуюць трываласці пры працэдурах стэрылізацыі.
Чаму варта выбраць пакрыццё з карбіду крэмнію?
Пакрыцці з карбіду крэмнію, якія даказалі сваю эфектыўнасць у падаўжэнні тэрміну службы кампанентаў, забяспечваюць непераўзыдзеную трываласць і тэмпературную стабільнасць, што робіць іх эканамічна выгаднымі для працяглага выкарыстання. Выбіраючы паверхню з пакрыццём з карбіду крэмнію, прамысловасць атрымлівае выгаду ад зніжэння выдаткаў на абслугоўванне, павышэння надзейнасці абсталявання і павышэння эфектыўнасці эксплуатацыі.
Чаму варта выбраць VET ENERGY?
VET ENERGY з'яўляецца прафесійным вытворцам і фабрыкай прадуктаў для пакрыццяў з карбіду крэмнію ў Кітаі. Асноўнымі прадуктамі для пакрыццяў з карбіду крэмнію з'яўляюцца керамічны награвальнік з карбіду крэмнію,CVD пакрыццё з карбіду крэмнію MOCVD сусцэтар, Графітавы носьбіт MOCVD з пакрыццём SiC CVD, Графітавыя носьбіты з пакрыццём з карбіду крэмніюГрафітавая падкладка з пакрыццём з карбіду крэмнію для паўправаднікоў,Пакрыццё SiC/графітавая падкладка/латок для паўправаднікоў, Форма для лодкі з вуглярод-вугляроднага кампазіта CFC з пакрыццём CVD SiCVET ENERGY імкнецца прадастаўляць перадавыя тэхналогіі і прадуктовыя рашэнні для паўправадніковай прамысловасці. Мы шчыра спадзяемся стаць вашым доўгатэрміновым партнёрам у Кітаі.
Час публікацыі: 02 верасня 2023 г.