ການເຄືອບຊິລິກອນຄາໄບແມ່ນຫຍັງ?

ການເຄືອບຊິລິກອນຄາໄບ,ທີ່ຮູ້ຈັກກັນທົ່ວໄປວ່າ ການເຄືອບ SiC, ໝາຍເຖິງຂະບວນການນຳໃຊ້ຊັ້ນຂອງຊິລິກອນຄາໄບລົງເທິງໜ້າດິນໂດຍຜ່ານວິທີການຕ່າງໆເຊັ່ນ: ການລະເຫີຍໄອນ້ຳທາງເຄມີ (CVD), ການລະເຫີຍໄອນ້ຳທາງກາຍະພາບ (PVD), ຫຼື ການສີດພົ່ນດ້ວຍຄວາມຮ້ອນ. ການເຄືອບເຊລາມິກຊິລິກອນຄາໄບນີ້ຊ່ວຍເສີມຄຸນສົມບັດພື້ນຜິວຂອງຊັ້ນຮອງພື້ນຕ່າງໆໂດຍການໃຫ້ຄວາມຕ້ານທານການສວມໃສ່, ຄວາມໝັ້ນຄົງທາງຄວາມຮ້ອນ, ແລະ ການປ້ອງກັນການກັດກ່ອນທີ່ໂດດເດັ່ນ. SiC ເປັນທີ່ຮູ້ຈັກສຳລັບຄຸນສົມບັດທາງກາຍະພາບ ແລະ ເຄມີທີ່ໂດດເດັ່ນ, ລວມທັງຈຸດລະລາຍສູງ (ປະມານ 2700℃), ຄວາມແຂງທີ່ສຸດ (ລະດັບ Mohs 9), ຄວາມຕ້ານທານການກັດກ່ອນ ແລະ ການຜຸພັງທີ່ດີເລີດ, ແລະ ປະສິດທິພາບການລະລາຍທີ່ໂດດເດັ່ນ.

ຜົນປະໂຫຍດຫຼັກຂອງການເຄືອບຊິລິກອນຄາໄບໃນການນຳໃຊ້ໃນອຸດສາຫະກຳ

ເນື່ອງຈາກຄຸນສົມບັດເຫຼົ່ານີ້, ການເຄືອບຊິລິກອນຄາໄບດ໌ຈຶ່ງຖືກນຳໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນຂົງເຂດຕ່າງໆເຊັ່ນ: ການບິນອະວະກາດ, ອຸປະກອນອາວຸດ, ແລະ ການປຸງແຕ່ງເຄິ່ງຕົວນຳ. ໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ຮຸນແຮງ, ໂດຍສະເພາະພາຍໃນລະດັບ 1800-2000 ℃, ການເຄືອບ SiC ສະແດງໃຫ້ເຫັນເຖິງຄວາມໝັ້ນຄົງທາງຄວາມຮ້ອນ ແລະ ຄວາມຕ້ານທານການລະລາຍທີ່ໂດດເດັ່ນ, ເຮັດໃຫ້ມັນເໝາະສົມສຳລັບການນຳໃຊ້ທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ. ຢ່າງໃດກໍຕາມ, ຊິລິກອນຄາໄບດ໌ພຽງຢ່າງດຽວຍັງຂາດຄວາມສົມບູນຂອງໂຄງສ້າງທີ່ຈຳເປັນສຳລັບການນຳໃຊ້ຫຼາຍຢ່າງ, ດັ່ງນັ້ນວິທີການເຄືອບຈຶ່ງຖືກນຳໃຊ້ເພື່ອນຳໃຊ້ຄຸນສົມບັດທີ່ເປັນເອກະລັກຂອງມັນໂດຍບໍ່ມີການຫຼຸດຜ່ອນຄວາມແຂງແຮງຂອງອົງປະກອບ. ໃນການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳ, ອົງປະກອບທີ່ເຄືອບຊິລິກອນຄາໄບດ໌ໃຫ້ການປົກປ້ອງທີ່ໜ້າເຊື່ອຖື ແລະ ຄວາມໝັ້ນຄົງດ້ານປະສິດທິພາບພາຍໃນອຸປະກອນທີ່ໃຊ້ໃນຂະບວນການ MOCVD.

ວິທີການທົ່ວໄປສໍາລັບການກະກຽມເຄືອບ Silicon Carbide

ຊັ້ນ I● ການເຄືອບຊິລິກອນຄາໄບດ໌ຈາກການຕົກຕະກອນໄອນ້ຳທາງເຄມີ (CVD)

ໃນວິທີການນີ້, ການເຄືອບ SiC ແມ່ນສ້າງຂຶ້ນໂດຍການວາງຊັ້ນຮອງພື້ນຖານໄວ້ໃນຫ້ອງປະຕິກິລິຍາ, ບ່ອນທີ່ methyltrichlorosilane (MTS) ເຮັດໜ້າທີ່ເປັນຕົວຕັ້ງຕົ້ນ. ພາຍໃຕ້ເງື່ອນໄຂທີ່ຄວບຄຸມ - ໂດຍປົກກະຕິແມ່ນ 950-1300°C ແລະຄວາມກົດດັນລົບ - MTS ຈະຜ່ານການເນົ່າເປື່ອຍ, ແລະຊິລິກອນຄາໄບຈະຖືກວາງໄວ້ເທິງໜ້າດິນ. ຂະບວນການເຄືອບ SiC CVD ນີ້ຮັບປະກັນການເຄືອບທີ່ໜາແໜ້ນ, ເປັນເອກະພາບດ້ວຍການຍຶດຕິດທີ່ດີເລີດ, ເໝາະສຳລັບການນຳໃຊ້ທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍຳສູງໃນຂະແໜງການເຄິ່ງຕົວນຳ ແລະ ການບິນອະວະກາດ.

ທີສອງ● ວິທີການປ່ຽນສານຕັ້ງຕົ້ນ (ການອີ່ມຕົວຂອງໂພລີເມີ ແລະ ໄພໂຣໄລຊິສ – PIP)

ວິທີການສີດເຄືອບຊິລິກອນຄາໄບທີ່ມີປະສິດທິພາບອີກອັນໜຶ່ງແມ່ນວິທີການປ່ຽນຕົວຕັ້ງຕົ້ນ, ເຊິ່ງກ່ຽວຂ້ອງກັບການຈຸ່ມຕົວຢ່າງທີ່ຜ່ານການປຸງແຕ່ງແລ້ວໃນສານລະລາຍເຊລາມິກ. ຫຼັງຈາກດູດຝຸ່ນຖັງແຊ່ນ້ຳ ແລະ ເພີ່ມຄວາມກົດດັນໃສ່ການເຄືອບ, ຕົວຢ່າງຈະຖືກໃຫ້ຄວາມຮ້ອນ, ເຊິ່ງນຳໄປສູ່ການກໍ່ຕົວຂອງຊັ້ນເຄືອບຊິລິກອນຄາໄບເມື່ອເຮັດໃຫ້ເຢັນລົງ. ວິທີການນີ້ແມ່ນທີ່ນິຍົມໃຊ້ສຳລັບອົງປະກອບທີ່ຕ້ອງການຄວາມໜາຂອງຊັ້ນເຄືອບທີ່ສະໝໍ່າສະເໝີ ແລະ ເພີ່ມຄວາມຕ້ານທານການສວມໃສ່.

ຄຸນສົມບັດທາງກາຍະພາບຂອງການເຄືອບຊິລິກອນຄາໄບ

ຊັ້ນເຄືອບຊິລິກອນຄາໄບດ໌ສະແດງໃຫ້ເຫັນຄຸນສົມບັດທີ່ເຮັດໃຫ້ພວກມັນເໝາະສົມສຳລັບການນຳໃຊ້ໃນອຸດສາຫະກຳທີ່ຕ້ອງການຄວາມຕ້ອງການສູງ. ຄຸນສົມບັດເຫຼົ່ານີ້ລວມມີ:

ການນຳຄວາມຮ້ອນ: 120-270 W/m·K
ຄ່າສຳປະສິດຂອງການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນ: 4.3 × 10^^(-6)/K (ທີ່ 20~800℃)
ຄວາມຕ້ານທານໄຟຟ້າ: 10 ^⁵– 10^⁶Ω·ຊມ
ຄວາມແຂງ: ຂະໜາດ Mohs 9

ການນຳໃຊ້ສານເຄືອບຊິລິກອນຄາໄບ

ໃນການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳ, ການເຄືອບຊິລິກອນຄາໄບສຳລັບ MOCVD ແລະຂະບວນການທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງອື່ນໆປົກປ້ອງອຸປະກອນທີ່ສຳຄັນ, ເຊັ່ນ: ເຕົາປະຕິກອນ ແລະ ຕົວຮັບຄວາມຮ້ອນ, ໂດຍການສະເໜີທັງຄວາມຕ້ານທານ ແລະ ຄວາມໝັ້ນຄົງໃນອຸນຫະພູມສູງ. ໃນການບິນອະວະກາດ ແລະ ການປ້ອງກັນປະເທດ, ການເຄືອບເຊລາມິກຊິລິກອນຄາໄບຖືກນຳໃຊ້ກັບອົງປະກອບທີ່ຕ້ອງທົນທານຕໍ່ຜົນກະທົບຄວາມໄວສູງ ແລະ ສະພາບແວດລ້ອມທີ່ກັດກ່ອນ. ນອກຈາກນັ້ນ, ສີ ຫຼື ການເຄືອບຊິລິກອນຄາໄບຍັງສາມາດນຳໃຊ້ກັບອຸປະກອນການແພດທີ່ຕ້ອງການຄວາມທົນທານພາຍໃຕ້ຂັ້ນຕອນການຂ້າເຊື້ອ.

ເປັນຫຍັງຕ້ອງເລືອກການເຄືອບຊິລິກອນຄາໄບ?

ດ້ວຍປະຫວັດທີ່ພິສູດແລ້ວໃນການຂະຫຍາຍອາຍຸການໃຊ້ງານຂອງອົງປະກອບ, ການເຄືອບຊິລິກອນຄາໄບໃຫ້ຄວາມທົນທານ ແລະ ຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງອຸນຫະພູມທີ່ບໍ່ມີໃຜທຽບເທົ່າ, ເຮັດໃຫ້ມັນມີປະສິດທິພາບດ້ານຕົ້ນທຶນສຳລັບການໃຊ້ງານໃນໄລຍະຍາວ. ໂດຍການເລືອກພື້ນຜິວເຄືອບຊິລິກອນຄາໄບ, ອຸດສາຫະກຳໄດ້ຮັບຜົນປະໂຫຍດຈາກຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃນການບຳລຸງຮັກສາທີ່ຫຼຸດລົງ, ຄວາມໜ້າເຊື່ອຖືຂອງອຸປະກອນທີ່ເພີ່ມຂຶ້ນ, ແລະ ປະສິດທິພາບໃນການດຳເນີນງານທີ່ດີຂຶ້ນ.

ເປັນຫຍັງຕ້ອງເລືອກ VET ENERGY?

VET ENERGY ເປັນຜູ້ຜະລິດ ແລະ ໂຮງງານຜະລິດຜະລິດຕະພັນເຄືອບຊິລິກອນຄາໄບດ໌ມືອາຊີບໃນປະເທດຈີນ. ຜະລິດຕະພັນເຄືອບ SiC ຫຼັກໆປະກອບມີເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນເຄືອບເຊລາມິກຊິລິກອນຄາໄບດ໌,ການເຄືອບຊິລິກອນຄາໄບ CVD MOCVD Susceptor, ຕົວນຳກຣາໄຟຟຼາ MOCVD ພ້ອມດ້ວຍການເຄືອບ CVD SiC, ຜ້າປູພື້ນຖານກຣາໄຟດເຄືອບ SiC, ຊັ້ນໃຕ້ດິນກຣາໄຟດທີ່ເຄືອບດ້ວຍຊິລິກອນຄາໄບສຳລັບເຊມິຄອນດັກເຕີ,ເຄືອບ SiC/ຊັ້ນໃຕ້ດິນກຣາໄຟທ໌ເຄືອບ/ຖາດສຳລັບເຄື່ອງເຄິ່ງຕົວນຳ, ແມ່ພິມເຮືອ CFC ປະສົມຄາບອນ-ຄາບອນເຄືອບ CVD SiCບໍລິສັດ VET ENERGY ມຸ່ງໝັ້ນທີ່ຈະສະໜອງເຕັກໂນໂລຊີທີ່ກ້າວໜ້າ ແລະ ຜະລິດຕະພັນແກ້ໄຂບັນຫາສຳລັບອຸດສາຫະກຳເຄິ່ງຕົວນຳ. ພວກເຮົາຫວັງຢ່າງຈິງໃຈທີ່ຈະກາຍເປັນຄູ່ຮ່ວມງານໄລຍະຍາວຂອງທ່ານໃນປະເທດຈີນ.