Szilícium-karbid bevonat,A közismert nevén SiC bevonat egy szilícium-karbid réteg felületre történő felvitelének folyamatára utal, olyan módszerekkel, mint a kémiai gőzfázisú leválasztás (CVD), a fizikai gőzfázisú leválasztás (PVD) vagy a termikus permetezés. Ez a szilícium-karbid kerámia bevonat javítja a különféle hordozók felületi tulajdonságait azáltal, hogy kivételes kopásállóságot, hőstabilitást és korrózióvédelmet biztosít. A SiC kiemelkedő fizikai és kémiai tulajdonságairól ismert, beleértve a magas olvadáspontot (kb. 2700 ℃), a rendkívüli keménységet (Mohs-skála 9), a kiváló korrózió- és oxidációállóságot, valamint a kivételes ablációs teljesítményt.
A szilícium-karbid bevonat főbb előnyei ipari alkalmazásokban
Ezen tulajdonságoknak köszönhetően a szilícium-karbid bevonatot széles körben használják olyan területeken, mint a repülőgépipar, a fegyvergyártás és a félvezető-feldolgozás. Szélsőséges környezetben, különösen az 1800-2000 ℃-os tartományban, a SiC bevonat figyelemre méltó hőstabilitást és ablatív ellenállást mutat, így ideális magas hőmérsékletű alkalmazásokhoz. A szilícium-karbid önmagában azonban nem rendelkezik a számos alkalmazáshoz szükséges szerkezeti integritással, ezért olyan bevonási módszereket alkalmaznak, amelyekkel egyedi tulajdonságait kihasználhatják az alkatrészek szilárdságának feláldozása nélkül. A félvezetőgyártásban a szilícium-karbid bevonatú elemek megbízható védelmet és teljesítménystabilitást biztosítanak az MOCVD folyamatokban használt berendezésekben.
A szilícium-karbid bevonat előkészítésének általános módszerei
Ⅰ● Kémiai gőzfázisú leválasztás (CVD) szilícium-karbid bevonat
Ennél a módszernél a SiC bevonatokat úgy alakítják ki, hogy a szubsztrátumokat egy reakciókamrába helyezik, ahol a metiltriklór-szilán (MTS) prekurzorként működik. Szabályozott körülmények között – jellemzően 950-1300°C-on és negatív nyomáson – az MTS bomlik, és szilícium-karbid rakódik le a felületre. Ez a CVD SiC bevonási eljárás sűrű, egyenletes bevonatot biztosít kiváló tapadású, ami ideális a félvezető- és repülőgépipari nagy pontosságú alkalmazásokhoz.
II.● Prekurzor-átalakítási módszer (polimer impregnálás és pirolízis – PIP)
Egy másik hatékony szilícium-karbid szóróbevonatolási megközelítés a prekurzor konverziós módszer, amely során az előkezelt mintát kerámia prekurzor oldatba merítik. Az impregnáló tartály vákuumozása és a bevonat nyomás alá helyezése után a mintát felmelegítik, ami lehűléskor szilícium-karbid bevonat kialakulásához vezet. Ez a módszer előnyös az egyenletes bevonatvastagságot és a fokozott kopásállóságot igénylő alkatrészek esetében.
A szilícium-karbid bevonat fizikai tulajdonságai
A szilícium-karbid bevonatok olyan tulajdonságokkal rendelkeznek, amelyek ideálissá teszik őket az igényes ipari alkalmazásokhoz. Ezek a tulajdonságok a következők:
Hővezető képesség: 120-270 W/m·K
Hőtágulási együttható: 4,3 × 10^(-6)/K (20~800 ℃-on)
Elektromos ellenállás: 10^5– 10^6Ω·cm
Keménység: Mohs-skála 9
Szilícium-karbid bevonat alkalmazásai
A félvezetőgyártásban a MOCVD és más magas hőmérsékletű eljárásokhoz használt szilícium-karbid bevonat védi a kritikus berendezéseket, például a reaktorokat és a szuszceptorokat, mivel magas hőmérsékleti ellenállást és stabilitást biztosít. A repülőgépiparban és a védelemben a szilícium-karbid kerámia bevonatokat olyan alkatrészekre alkalmazzák, amelyeknek ellen kell állniuk a nagy sebességű ütéseknek és a korrozív környezetnek. Továbbá a szilícium-karbid festék vagy bevonatok olyan orvostechnikai eszközökön is használhatók, amelyeknek tartósságra van szükségük a sterilizálási eljárások során.
Miért érdemes szilícium-karbid bevonatot választani?
A szilícium-karbid bevonatok bizonyítottan meghosszabbítják az alkatrészek élettartamát, páratlan tartósságot és hőmérsékleti stabilitást biztosítanak, így költséghatékonyak a hosszú távú használat során. A szilícium-karbid bevonatú felület választásával az iparágak a karbantartási költségek csökkenését, a berendezések megbízhatóságának növekedését és a működési hatékonyság javulását élvezhetik.
Miért válassza a VET ENERGY-t?
A VET ENERGY egy professzionális szilícium-karbid bevonattermékek gyártója és gyára Kínában. A fő SiC bevonattermékek közé tartozik a szilícium-karbid kerámia bevonatfűtő,CVD szilícium-karbid bevonat MOCVD szuszceptor, MOCVD grafit hordozó CVD SiC bevonattal, SiC bevonatú grafit alaphordozók, Szilícium-karbid bevonatú grafit hordozó félvezetőkhöz,SiC bevonat/bevonatú grafit hordozó/tálca félvezetőhöz, CVD SiC bevonatú szén-szén kompozit CFC hajóformaA VET ENERGY elkötelezett a félvezetőipar számára fejlett technológiák és termékmegoldások biztosítása iránt. Őszintén reméljük, hogy hosszú távú partnerévé válhatunk Kínában.
Közzététel ideje: 2023. szeptember 2.