Soporte para obleas de grafito PECVD

Imagen destacada del soporte de oblea de grafito PECVD

Breve descripción:

Diseñado para ofrecer precisión y rendimiento, el soporte de grafito para obleas de VET Energy es el material ideal para el procesamiento avanzado de obleas, donde la alta estabilidad térmica y el rendimiento constante son fundamentales. Ya sea que trabaje con obleas semiconductoras u otros sustratos delicados, este soporte de grafito de alta calidad mejorará la fiabilidad de su proceso y la calidad de su producto, convirtiéndose en un componente indispensable para la fabricación moderna.

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Detalles del producto

Etiquetas de producto

El soporte de oblea de grafito para el proceso PECVD de VET Energy es un consumible esencial diseñado para este proceso (deposición química en fase vapor asistida por plasma). Fabricado con grafito de alta pureza y densidad, este producto ofrece una excelente resistencia a altas temperaturas, a la corrosión y una gran estabilidad dimensional, proporcionando una plataforma de soporte estable para el proceso PECVD y garantizando la uniformidad y planitud de la deposición de la película.

El diseño de "soporte de grafito" del soporte de obleas de grafito de VET Energy no solo proporciona un soporte eficaz a la oblea, sino que también ofrece estabilidad térmica en el entorno PECVD de alta temperatura y alta presión para garantizar la estabilidad del proceso.

El soporte de oblea de grafito del proceso PECVD de VET Energy tiene las siguientes características:

▪Alta pureza:Contenido de impurezas extremadamente bajo, para evitar la contaminación de la película y garantizar su calidad.

▪Densidad alta:Alta densidad, alta resistencia mecánica, puede soportar altas temperaturas y alta presión en entornos PECVD.

▪Buena estabilidad dimensional:pequeños cambios dimensionales a alta temperatura para garantizar la estabilidad del proceso.

▪Excelente conductividad térmica:Transfiere el calor de forma eficaz para evitar el sobrecalentamiento de la oblea.

▪Alta resistencia a la corrosión:Capaz de resistir la erosión causada por diversos gases corrosivos y plasma.

▪Servicio personalizado:Las mesas de soporte de grafito, de diferentes tamaños y formas, se pueden personalizar según las necesidades del cliente.

Material de grafito de SGL:

Parámetro típico: R6510
Índice	Estándar de prueba	Valor	Unidad
Tamaño medio del grano	ISO 13320	10	μm
Densidad aparente	DIN IEC 60413/204	1,83	g/cm³
Porosidad abierta	DIN66133	10	%
Tamaño de poro medio	DIN66133	1.8	μm
Permeabilidad	DIN 51935	0,06	cm²/s
Dureza Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
resistividad eléctrica específica	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Resistencia a la flexión	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Resistencia a la compresión	DIN 51910	130	MPa
Módulo de Young	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Expansión térmica (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Conductividad térmica (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Está diseñado específicamente para la fabricación de células solares de alta eficiencia, compatible con el procesamiento de obleas de gran tamaño G12. El diseño optimizado del soporte aumenta significativamente el rendimiento, lo que permite mayores tasas de producción y menores costos.

Artículo	Tipo	Portador de oblea numérica
Embarcación PEVCD Grephite - Serie 156	Barco de grefita 156-13	144
	Barco de grefita 156-19	216
	Barco de grefita 156-21	240
	Barco de grafito 156-23	308
Embarcación PEVCD Grephite - Serie 125	Barco de grefito 125-15	196
	Barco de grefito 125-19	252
	Barco de grafito 125-21	280