Soporte para oblea de grafito PECVD

Imagen destacada del soporte de oblea de grafito PECVD

Descripción breve:

Diseñado para ofrecer precisión y rendimiento, el soporte de grafito para obleas de VET Energy es el material ideal para el procesamiento avanzado de obleas, donde la alta estabilidad térmica y un rendimiento constante son cruciales. Tanto si trabaja con obleas de semiconductores como con otros sustratos delicados, este soporte de grafito de alta calidad mejorará la fiabilidad de sus procesos y la calidad de sus productos, convirtiéndolo en un componente indispensable para la fabricación moderna.

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Detalle del producto

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El soporte de oblea de grafito para el proceso PECVD de VET Energy es un consumible esencial diseñado para el proceso PECVD (deposición química en fase de vapor mejorada por plasma). Este producto está fabricado con grafito de alta pureza y alta densidad, con excelente resistencia a altas temperaturas, resistencia a la corrosión, estabilidad dimensional y otras características. Proporciona una plataforma de soporte estable para el proceso PECVD, garantizando la uniformidad y planitud de la deposición de película.

El diseño de "soporte de grafito" del soporte de oblea de grafito de VET Energy no solo puede soportar eficazmente la oblea, sino que también proporciona estabilidad térmica en el entorno PECVD de alta temperatura y alta presión para garantizar la estabilidad del proceso.

El soporte de oblea de grafito del proceso PECVD de VET Energy tiene las siguientes características:

▪Alta pureza:Contenido de impurezas extremadamente bajo, evita la contaminación de la película y garantiza la calidad de la película.

▪Densidad alta:Alta densidad, alta resistencia mecánica, puede soportar entornos PECVD de alta temperatura y alta presión.

▪Buena estabilidad dimensional:Pequeños cambios dimensionales a alta temperatura para garantizar la estabilidad del proceso.

▪Excelente conductividad térmica:Transfiere eficazmente el calor para evitar el sobrecalentamiento de la oblea.

▪Fuerte resistencia a la corrosión:Capaz de resistir la erosión por diversos gases corrosivos y plasma.

▪Servicio personalizado:Las mesas de soporte de grafito de diferentes tamaños y formas se pueden personalizar según las necesidades del cliente.

Material de grafito de SGL:

Parámetro típico: R6510
Índice	Estándar de prueba	Valor	Unidad
Tamaño medio de grano	ISO 13320	10	micras
Densidad aparente	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Porosidad abierta	DIN66133	10	%
Tamaño de poro medio	DIN66133	1.8	micras
Permeabilidad	DIN 51935	0.06	cm²/s
Dureza Rockwell HR5/100	Norma DIN IEC60413/303	90	HR
Resistividad eléctrica específica	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Resistencia a la flexión	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Resistencia a la compresión	DIN 51910	130	MPa
Módulo de Young	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Expansión térmica (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Conductividad térmica (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Está diseñado específicamente para la fabricación de células solares de alta eficiencia, compatible con el procesamiento de obleas G12 de gran tamaño. El diseño optimizado del portador aumenta significativamente el rendimiento, lo que permite un mayor rendimiento y menores costos de producción.

Artículo	Tipo	Número de portador de obleas
Embarcación PEVCD Grephite - Serie 156	156-13 barco de grefitos	144
	156-19 barco de grefitos	216
	156-21 barco de grefitos	240
	Barco de grafito 156-23	308
Embarcación PEVCD Grephite - Serie 125	Barco de grefito 125-15	196
	Barco de grefitos 125-19	252
	Barco de grafito 125-21	280