Soporte de grafito para el proceso PECVD

Breve descripción:

Energía VETERINARIALa barquilla de grafito PECVD para paneles solares es un componente avanzado diseñado específicamente para la producción de paneles solares de alto rendimiento. Utilizada en procesos de deposición química en fase vapor asistida por plasma (PECVD), esta barquilla de grafito garantiza una manipulación óptima del material y una deposición uniforme de películas delgadas sobre las células solares. Diseñada para ofrecer precisión y durabilidad, proporciona una conductividad térmica superior, alta resistencia a la corrosión y mínima contaminación, características esenciales para la producción de paneles solares eficientes y de alta calidad.

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Detalles del producto

Etiquetas de producto

Energía VETERINARIAEl soporte de grafito para el proceso PECVD es un consumible de alta calidad diseñado específicamente para este proceso (deposición química en fase vapor asistida por plasma). Fabricado con grafito de alta pureza y densidad, este soporte ofrece una excelente resistencia a altas temperaturas, a la corrosión y una gran estabilidad dimensional, proporcionando una plataforma estable para el proceso PECVD que garantiza la uniformidad y planitud de la deposición de películas delgadas.

Los soportes de grafito para el proceso PECVD tienen las siguientes características:

▪ Alta pureza: contenido de impurezas extremadamente bajo, lo que evita la contaminación de la película y garantiza su calidad.

▪ Alta densidad: alta densidad, alta resistencia mecánica, capaz de soportar altas temperaturas y alta presión en un entorno PECVD.

▪ Buena estabilidad dimensional: pequeño cambio dimensional a alta temperatura, lo que garantiza la estabilidad del proceso.

▪ Excelente conductividad térmica: transfiere el calor de forma eficaz para evitar el sobrecalentamiento de la oblea.

▪ Alta resistencia a la corrosión: capaz de resistir la erosión causada por diversos gases corrosivos y plasma.

▪ Servicio personalizado: los soportes de grafito de diferentes tamaños y formas se pueden personalizar según las necesidades del cliente.

Material de grafito de SGL:

Parámetro típico: R6510
Índice	Estándar de prueba	Valor	Unidad
Tamaño medio del grano	ISO 13320	10	μm
Densidad aparente	DIN IEC 60413/204	1,83	g/cm³
Porosidad abierta	DIN66133	10	%
Tamaño de poro medio	DIN66133	1.8	μm
Permeabilidad	DIN 51935	0,06	cm²/s
Dureza Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
resistividad eléctrica específica	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Resistencia a la flexión	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Resistencia a la compresión	DIN 51910	130	MPa
Módulo de Young	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Expansión térmica (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Conductividad térmica (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Está diseñado específicamente para la fabricación de células solares de alta eficiencia, compatible con el procesamiento de obleas de gran tamaño G12. El diseño optimizado del soporte aumenta significativamente el rendimiento, lo que permite mayores tasas de producción y menores costos.

Artículo	Tipo	Portador de oblea numérica
Embarcación PEVCD Grephite - Serie 156	Barco de grefita 156-13	144
	Barco de grefita 156-19	216
	Barco de grefita 156-21	240
	Barco de grafito 156-23	308
Embarcación PEVCD Grephite - Serie 125	Barco de grefito 125-15	196
	Barco de grefito 125-19	252
	Barco de grafito 125-21	280