Portador de grafito para el proceso PECVD

Descripción breve:

VET EnergíaLa naveta de grafito PECVD para paneles solares es un componente avanzado diseñado específicamente para la producción de paneles solares de alto rendimiento. Utilizada en procesos de deposición química en fase de vapor asistida por plasma (PECVD), esta naveta de grafito garantiza una manipulación óptima del material y una deposición uniforme de películas delgadas sobre células solares. Diseñada para ofrecer precisión y durabilidad, proporciona una conductividad térmica superior, alta resistencia a la corrosión y mínima contaminación, esenciales para la producción de paneles solares eficientes y de alta calidad.

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Detalle del producto

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VET EnergíaEl portador de grafito para el proceso PECVD es un consumible de alta calidad diseñado específicamente para el proceso PECVD (deposición química en fase de vapor asistida por plasma). Este portador de grafito está fabricado con grafito de alta pureza y alta densidad, con excelente resistencia a altas temperaturas, resistencia a la corrosión, estabilidad dimensional y otras características. Proporciona una plataforma estable para el proceso PECVD, garantizando la uniformidad y planitud de la deposición de película delgada.

Los portadores de grafito para el proceso PECVD tienen las siguientes características:

▪ Alta pureza: contenido de impurezas extremadamente bajo, evitando la contaminación de la película y garantizando la calidad de la película.

▪ Alta densidad: alta densidad, alta resistencia mecánica, capaz de soportar entornos PECVD de alta temperatura y alta presión.

▪ Buena estabilidad dimensional: pequeño cambio dimensional a alta temperatura, lo que garantiza la estabilidad del proceso.

▪ Excelente conductividad térmica: transfiere el calor de manera efectiva para evitar el sobrecalentamiento de la oblea.

▪ Fuerte resistencia a la corrosión: capaz de resistir la erosión por diversos gases corrosivos y plasma.

▪ Servicio personalizado: los portadores de grafito de diferentes tamaños y formas se pueden personalizar según las necesidades del cliente.

Material de grafito de SGL:

Parámetro típico: R6510
Índice	Estándar de prueba	Valor	Unidad
Tamaño medio de grano	ISO 13320	10	micras
Densidad aparente	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Porosidad abierta	DIN66133	10	%
Tamaño de poro medio	DIN66133	1.8	micras
Permeabilidad	DIN 51935	0.06	cm²/s
Dureza Rockwell HR5/100	Norma DIN IEC60413/303	90	HR
Resistividad eléctrica específica	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Resistencia a la flexión	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Resistencia a la compresión	DIN 51910	130	MPa
Módulo de Young	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Expansión térmica (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Conductividad térmica (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Está diseñado específicamente para la fabricación de células solares de alta eficiencia, compatible con el procesamiento de obleas G12 de gran tamaño. El diseño optimizado del portador aumenta significativamente el rendimiento, lo que permite un mayor rendimiento y menores costos de producción.

Artículo	Tipo	Número de portador de obleas
Embarcación PEVCD Grephite - Serie 156	156-13 barco de grefitos	144
	156-19 barco de grefitos	216
	156-21 barco de grefitos	240
	Barco de grafito 156-23	308
Embarcación PEVCD Grephite - Serie 125	Barco de grefito 125-15	196
	Barco de grefitos 125-19	252
	Barco de grafito 125-21	280