Recubrimiento de SiC/Sustrato/Bandeja de grafito recubierto para semiconductores

Imagen destacada de sustrato/bandeja de grafito recubierto/recubrimiento de SiC para semiconductores

Descripción breve:

El susceptor de grafito recubierto de SiC de VET Energy para crecimiento epitaxial es un producto de alto rendimiento diseñado para ofrecer un rendimiento constante y fiable durante un período prolongado. Ofrece una excelente resistencia al calor y uniformidad térmica, alta pureza y resistencia a la erosión, lo que lo convierte en la solución ideal para aplicaciones de procesamiento de obleas.

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Recubrimiento de SiC/recubrimiento de susceptor de grafito para semiconductores

ElSustrato de grafito recubierto de SiCEs una solución altamente duradera y eficiente diseñada para satisfacer las rigurosas exigencias de la industria de procesamiento de semiconductores. Con una capa de alta purezarecubrimiento de carburo de silicio (SiC)Este sustrato ofrece una estabilidad térmica excepcional, resistencia a la oxidación y una vida útil prolongada, lo que lo hace ideal para aplicaciones en procesos MOCVD, portadores de obleas de grafito y otros entornos de alta temperatura.

Características:
· Excelente resistencia al choque térmico
· Excelente resistencia a los golpes físicos
· Excelente resistencia química
· Pureza súper alta
· Disponibilidad en forma compleja
·Utilizable en atmósfera oxidante

Solicitud:

Características y ventajas del producto:

1. Resistencia térmica superior:Con una alta purezaRecubrimiento de SiCEl sustrato soporta temperaturas extremas, lo que garantiza un rendimiento constante en entornos exigentes como la epitaxia y la fabricación de semiconductores.

2. Mayor durabilidad:Los componentes de grafito recubiertos de SiC están diseñados para resistir la corrosión química y la oxidación, lo que aumenta la vida útil del sustrato en comparación con los sustratos de grafito estándar.

3. Grafito revestido de vidrio:La estructura vítrea única delRecubrimiento de SiCProporciona una excelente dureza superficial, minimizando el desgaste durante el procesamiento a alta temperatura.

4. Recubrimiento de SiC de alta pureza:Nuestro sustrato garantiza una contaminación mínima en procesos de semiconductores sensibles, ofreciendo confiabilidad para industrias que requieren una pureza de material estricta.

5. Amplia aplicación en el mercado:ElSusceptor de grafito recubierto de SiCEl mercado continúa creciendo a medida que aumenta la demanda de productos recubiertos de SiC avanzados en la fabricación de semiconductores, lo que posiciona a este sustrato como un actor clave tanto en el mercado de portadores de obleas de grafito como en el mercado de bandejas de grafito recubiertas de carburo de silicio.

Propiedades típicas del material base de grafito:

Densidad aparente:	1,85 g/cm3
Resistividad eléctrica:	11 μΩm
Resistencia a la flexión:	49 MPa (500 kgf/cm2)
Dureza Shore:	58
Ceniza:	<5 ppm
Conductividad térmica:	116 W/mK (100 kcal/mh-℃)

ECV SiC薄膜基本物理性能 Propiedades físicas básicas del SiC CVDrevestimiento
性质 / Propiedad	典型数值 / Valor típico
晶体结构 / Estructura cristalina	Fase β de la FCC 多晶，主要为（111）取向
密度 / Densidad	3,21 g/cm³
硬度 / Dureza	2500 libras (carga de 500 g)
晶粒大小 / Tamaño del grano	2~10 μm
纯度 / Pureza química	99.99995%
热容 / Capacidad calorífica	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Temperatura de sublimación	2700℃
抗弯强度 / Resistencia a la flexión	415 MPa RT 4 puntos
杨氏模量 / Módulo de Young	430 Gpa, curva de 4 puntos, 1300 ℃
导热系数 / Conductividad térmica	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Expansión térmica (CTE)	4,5×10^-6K^-1

VET Energy es un verdadero fabricante de productos de carburo de silicio y grafito personalizados con diferentes recubrimientos como recubrimiento de SiC, recubrimiento de TaC, recubrimiento de carbono vítreo, recubrimiento de carbono pirolítico, etc., puede suministrar varias piezas personalizadas para la industria de semiconductores y fotovoltaica.

Nuestro equipo técnico proviene de las principales instituciones de investigación nacionales y puede brindarle soluciones de materiales más profesionales.

Desarrollamos continuamente procesos avanzados para ofrecer materiales más avanzados y hemos elaborado una tecnología patentada exclusiva que puede hacer que la unión entre el revestimiento y el sustrato sea más estrecha y menos propensa al desprendimiento.

Le damos una cálida bienvenida para visitar nuestra fábrica, ¡tengamos más discusión!