SiC-gecoate grafietsusceptor en -drager voor wafer

Korte beschrijving:

De VET Energy SiC-gecoate grafietsusceptor is een hoogwaardig product dat is ontworpen om gedurende een langere periode consistente en betrouwbare prestaties te leveren. Het heeft een uitstekende hittebestendigheid en thermische uniformiteit, een hoge zuiverheid en erosiebestendigheid, waardoor het de perfecte oplossing is voor toepassingen in de waferverwerking.

Materiaal:Isostatisch grafiet van hoge zuiverheid

Zuivering: <5 ppm

Coating:CVD-SiC, CVD-TaC, Pyro-koolstof

OEM ODM:Beschikbaar

Stuur ons een e-mail. Downloaden als PDF

Productdetails

Productlabels

SiC-gecoate grafiet susceptorSiC is een essentieel onderdeel dat gebruikt wordt in diverse halfgeleiderproductieprocessen. We gebruiken onze gepatenteerde technologie om de SiC-gecoate drager te produceren met een extreem hoge zuiverheid, goede coatinguniformiteit en een uitstekende levensduur, evenals een hoge chemische bestendigheid en thermische stabiliteit.

Kenmerken van onze producten:

1. Bestand tegen oxidatie bij hoge temperaturen tot 1700℃.
2. Hoge zuiverheid en thermische uniformiteit
3. Uitstekende corrosiebestendigheid: bestand tegen zuren, basen, zouten en organische reagentia.
4. Hoge hardheid, compact oppervlak, fijne deeltjes.
5. Langere levensduur en duurzamer

Hart- en vaatziekten SiC薄膜基本物理性能 Basis fysische eigenschappen van CVD SiCcoating
性质 / Eigendom	典型数值 / Typische waarde
Ik denk dat dit het geval is / Kristalstructuur	FCC β-fase多晶，主要为（111）取向
密度 / Dikte	3,21 g/cm³
硬度 / Hardheid	2500 维氏硬度(500g belasting)
晶粒大小 / Korrelgrootte	2~10 μm
纯度 / Chemische zuiverheid	99,99995%
热容 / Warmtecapaciteit	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Sublimatietemperatuur	2700℃
Geen probleem / Buigsterkte	415 MPa RT 4-punts
杨氏模量 / Young's modulus	430 GPA 4-punts buiging, 1300℃
导热系数 / ThermalGeleidbaarheid	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Thermische uitzetting (CTE)	4,5×10^-6K^-1

VET Energy is een professionele fabrikant die zich richt op de R&D en productie van hoogwaardige, geavanceerde materialen zoals grafiet, siliciumcarbide en kwarts, evenals materiaalbehandelingen zoals SiC-coating, TaC-coating, glasachtige koolstofcoating, pyrolytische koolstofcoating, enz. De producten worden veelvuldig gebruikt in de fotovoltaïsche sector, halfgeleiders, nieuwe energiebronnen, metallurgie, enz.

Ons technische team is afkomstig van vooraanstaande binnenlandse onderzoeksinstellingen en kan u professionelere materiaaloplossingen bieden.

De voordelen van VET Energy omvatten:
• Eigen fabriek en professioneel laboratorium;
• Toonaangevende zuiverheidsniveaus en kwaliteit in de branche;
• Concurrerende prijs & snelle levertijd;
• Diverse samenwerkingsverbanden met verschillende sectoren wereldwijd;

U bent van harte welkom om onze fabriek en ons laboratorium op elk gewenst moment te bezoeken!