SiC-gecoate grafietsusceptor en drager voor wafer

Korte beschrijving:

VET Energy SiC-gecoate grafietsusceptor is een hoogwaardig product dat is ontworpen om consistente en betrouwbare prestaties te leveren gedurende een lange periode. Het heeft een zeer goede hittebestendigheid en thermische uniformiteit, hoge zuiverheid en erosiebestendigheid, waardoor het de perfecte oplossing is voor waferverwerkingstoepassingen.

Materiaal:Isostatisch grafiet met hoge zuiverheid

Zuivering: <5 ppm

Coating:CVD-SiC, CVD-TaC, pyrokoolstof

OEM ODM:Beschikbaar

Stuur ons een e-mail Downloaden als PDF

Productdetails

Productlabels

SiC-gecoat grafietsusceptoris een belangrijk onderdeel dat wordt gebruikt in diverse halfgeleiderproductieprocessen. We gebruiken onze gepatenteerde technologie om SiC-gecoate susceptor te produceren met een extreem hoge zuiverheid, een goede coatinguniformiteit en een uitstekende levensduur, evenals hoge chemische bestendigheid en thermische stabiliteit.

Kenmerken van onze producten:

1. Hoge oxidatiebestendigheid tot 1700℃.
2. Hoge zuiverheid en thermische uniformiteit
3. Uitstekende corrosiebestendigheid: zuur, alkali, zout en organische reagentia.
4. Hoge hardheid, compact oppervlak, fijne deeltjes.
5. Langere levensduur en duurzamer

CVD SiC薄膜基本物理性能 Basisfysische eigenschappen van CVD SiCcoating
性质 / Eigendom	典型数值 / Typische waarde
Ik denk dat dit het geval is / Kristalstructuur	FCC β-fase多晶，主要为（111）取向
密度 / Dikte	3,21 g/cm³
硬度 / Hardheid	2500 维氏硬度(500g belasting)
晶粒大小 / Korrelgrootte	2~10μm
纯度 / Chemische zuiverheid	99,99995%
热容 / Warmtecapaciteit	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Sublimatietemperatuur	2700℃
Ik denk dat dit het geval is / Buigsterkte	415 MPa RT 4-punts
杨氏模量 / Young's modulus	430 Gpa 4pt bocht, 1300℃
导热系数 / ThermaikGeleidbaarheid	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Thermische uitzetting (CTE)	4,5×10^-6K^-1

VET Energy is een professionele fabrikant die zich richt op R&D en de productie van hoogwaardige, geavanceerde materialen zoals grafiet, siliciumcarbide en kwarts. Ook biedt het materiaalbehandelingen aan zoals SiC-coating, TaC-coating, glasachtige koolstofcoating, pyrolytische koolstofcoating, enz. De producten worden veel gebruikt in de fotovoltaïsche sector, halfgeleidertechnologie, nieuwe energie, metallurgie, enz.

Ons technische team is afkomstig van toonaangevende binnenlandse onderzoeksinstellingen en kan u voorzien van professionelere materiële oplossingen.

Voordelen van VET Energy zijn onder andere:
• Eigen fabriek en professioneel laboratorium;
• Toonaangevende zuiverheidsniveaus en kwaliteit;
• Concurrerende prijs en snelle levertijd;
• Meerdere industriële partnerschappen wereldwijd;

U bent van harte welkom om onze fabriek en ons laboratorium te bezoeken!