Графитовый носитель для процесса PECVD

Краткое описание:

VET EnergyГрафитовая лодочка для солнечных панелей, изготовленная методом плазменно-усиленного химического осаждения из газовой фазы (PECVD), — это усовершенствованный компонент, разработанный специально для производства высокоэффективных солнечных панелей. Используемая в процессах плазменно-усиленного химического осаждения из газовой фазы (PECVD), эта графитовая лодочка обеспечивает оптимальную обработку материала и равномерное осаждение тонких пленок на солнечных элементах. Разработанная с учетом точности и долговечности, она обеспечивает превосходную теплопроводность, высокую коррозионную стойкость и минимальное загрязнение, что крайне важно для производства эффективных и высококачественных солнечных панелей.

Отправьте нам электронное письмо Скачать в формате PDF

Подробная информация о товаре

Метки товаров

VET EnergyГрафитовый носитель для процесса PECVD — это высококачественный расходный материал, специально разработанный для процесса PECVD (плазменно-усиленное химическое осаждение из газовой фазы). Этот графитовый носитель изготовлен из высокочистого графита высокой плотности, обладающего превосходной термостойкостью, коррозионной стойкостью, размерной стабильностью и другими характеристиками, и может обеспечить стабильную платформу для процесса PECVD, гарантируя однородность и плоскостность осаждения тонких пленок.

Графитовые носители для процесса PECVD обладают следующими характеристиками:

▪ Высокая чистота: чрезвычайно низкое содержание примесей, что предотвращает загрязнение пленки и гарантирует ее качество.

▪ Высокая плотность: высокая плотность, высокая механическая прочность, способность выдерживать высокие температуры и высокое давление в условиях PECVD.

▪ Хорошая стабильность размеров: незначительное изменение размеров при высоких температурах, обеспечивающее стабильность процесса.

▪ Превосходная теплопроводность: эффективно передает тепло, предотвращая перегрев пластины.

▪ Высокая коррозионная стойкость: способность противостоять эрозии под воздействием различных коррозионных газов и плазмы.

▪ Индивидуальный подход: графитовые носители различных размеров и форм могут быть изготовлены на заказ в соответствии с потребностями клиента.

Графитовый материал от SGL:

Типичный параметр: R6510
Индекс	Стандарт тестирования	Ценить	Единица
Средний размер зерна	ISO 13320	10	мкм
Объемная плотность	DIN IEC 60413/204	1.83	г/см³
Открытая пористость	DIN66133	10	%
Средний размер пор	DIN66133	1.8	мкм
Проницаемость	DIN 51935	0,06	см²/с
Твердость по Роквеллу HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Удельное электрическое сопротивление	DIN IEC 60413/402	13	мкОм
прочность на изгиб	DIN IEC 60413/501	60	МПа
Прочность на сжатие	DIN 51910	130	МПа
Модуль Юнга	DIN 51915	11,5×10³	МПа
Тепловое расширение (20-200℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Теплопроводность (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Она специально разработана для высокоэффективного производства солнечных элементов и поддерживает обработку крупногабаритных пластин G12. Оптимизированная конструкция носителя значительно увеличивает производительность, обеспечивая более высокий выход годной продукции и снижение производственных затрат.

Элемент	Тип	Номер носителя пластины
Судно Grephite с системой PEVCD — серия 156.	156-13 грефитская лодка	144
	156-19 грефитская лодка	216
	156-21 грефитская лодка	240
	156-23 графитовая лодка	308
Лодка Grephite с двигателем PEVCD — серия 125.	125-15 грефитская лодка	196
	125-19 грефитская лодка	252
	125-21 лодка из графита	280