Графитовый носитель для процесса PECVD

Краткое описание:

ВЕТ ЭнергияГрафитовая лодочка PECVD для солнечных панелей — это усовершенствованный компонент, разработанный специально для производства высокопроизводительных солнечных панелей. Используемая в процессах плазменно-химического осаждения из паровой фазы (PECVD), эта графитовая лодочка обеспечивает оптимальную обработку материала и равномерное осаждение тонких пленок на солнечных элементах. Разработанная для точности и долговечности, она обеспечивает превосходную теплопроводность, высокую коррозионную стойкость и минимальное загрязнение, что необходимо для производства эффективных высококачественных солнечных панелей.

Напишите нам письмо Загрузить как PDF

Подробности продукта

Теги продукта

ВЕТ ЭнергияГрафитовый носитель для процесса PECVD — это высококачественный расходный материал, специально разработанный для процесса PECVD (плазменное химическое осаждение из паровой фазы). Этот графитовый носитель изготовлен из высокочистого, высокоплотного графитового материала с превосходной устойчивостью к высоким температурам, коррозионной стойкостью, размерной стабильностью и другими характеристиками, может обеспечить стабильную платформу носителя для процесса PECVD, чтобы гарантировать однородность и плоскостность осаждения тонкой пленки.

Графитовые носители для процесса PECVD имеют следующие характеристики:

▪ Высокая чистота: чрезвычайно низкое содержание примесей, что позволяет избежать загрязнения пленки и гарантирует ее качество.

▪ Высокая плотность: высокая плотность, высокая механическая прочность, способность выдерживать высокие температуры и высокое давление в среде PECVD.

▪ Хорошая размерная стабильность: небольшое изменение размеров при высокой температуре, обеспечивающее стабильность процесса.

▪ Отличная теплопроводность: эффективная передача тепла для предотвращения перегрева пластины.

▪ Высокая коррозионная стойкость: способность противостоять эрозии под воздействием различных едких газов и плазмы.

▪ Индивидуальное обслуживание: графитовые носители различных размеров и форм могут быть изготовлены по индивидуальному заказу в соответствии с потребностями заказчика.

Графитовый материал от SGL:

Типичный параметр: R6510
Индекс	Стандарт испытаний	Ценить	Единица
Средний размер зерна	ИСО 13320	10	мкм
Насыпная плотность	DIN МЭК 60413/204	1.83	г/см³
Открытая пористость	DIN66133	10	%
Средний размер пор	DIN66133	1.8	мкм
Проницаемость	ДИН 51935	0,06	см²/с
Твёрдость по Роквеллу HR5/100	DIN МЭК60413/303	90	HR
Удельное электрическое сопротивление	DIN МЭК 60413/402	13	мкОм
Прочность на изгиб	DIN МЭК 60413/501	60	МПа
Прочность на сжатие	ДИН 51910	130	МПа
модуль Юнга	ДИН 51915	11,5×10³	МПа
Тепловое расширение (20-200℃)	ДИН 51909	4.2X10^-6	K^-1
Теплопроводность (20℃)	ДИН 51908	105	Wm^-1K^-1

Он специально разработан для высокоэффективного производства солнечных элементов, поддерживая обработку пластин большого размера G12. Оптимизированная конструкция носителя значительно увеличивает производительность, обеспечивая более высокие показатели выхода и более низкие производственные затраты.

Элемент	Тип	Номер пластины-носителя
Лодка из PEVCD Grephite - серия 156	156-13 грефитовая лодка	144
	156-19 грефитовая лодка	216
	156-21 лодка из грефита	240
	156-23 графитовая лодка	308
Лодка из PEVCD Grephite - серия 125	125-15 грефитовая лодка	196
	125-19 грефитовая лодка	252
	125-21 графитовая лодка	280