Поддержка пластин графита PECVD

Графитовая пластина-подложка VET Energy PECVD-процесса — это основной расходный материал, разработанный для процесса PECVD (плазменное химическое осаждение из паровой фазы). Этот продукт изготовлен из высокочистого, высокоплотного графитового материала с превосходной устойчивостью к высоким температурам, коррозионной стойкостью, размерной стабильностью и другими характеристиками, может обеспечить стабильную опорную платформу для процесса PECVD, чтобы гарантировать однородность и плоскостность осаждения пленки.

Конструкция «графитовой опоры» графитовой опоры пластины VET Energy может не только эффективно поддерживать пластину, но и обеспечивать термическую стабильность в условиях высоких температур и давления PECVD, гарантируя стабильность процесса.

Графитовая подложка, изготовленная по технологии PECVD компании VET Energy, имеет следующие характеристики:

▪Высокая чистота:чрезвычайно низкое содержание примесей, предотвращает загрязнение пленки, обеспечивает качество пленки.

▪Высокая плотность:высокая плотность, высокая механическая прочность, способность выдерживать высокие температуры и высокое давление в среде PECVD.

▪Хорошая размерная стабильность:небольшие изменения размеров при высокой температуре для обеспечения стабильности процесса.

▪Отличная теплопроводность:эффективно передают тепло, предотвращая перегрев пластины.

▪Высокая коррозионная стойкость:Способен противостоять эрозии, вызываемой различными едкими газами и плазмой.

▪Индивидуальное обслуживание:Графитовые опорные столы различных размеров и форм могут быть изготовлены по индивидуальному заказу в соответствии с потребностями заказчика.