Поддержка графитовых пластин, полученных методом PECVD.

Графитовая подложка VET Energy для процесса PECVD — это основной расходный материал, разработанный для процесса PECVD (плазменно-усиленное химическое осаждение из газовой фазы). Этот продукт изготовлен из высокочистого графита высокой плотности, обладающего превосходной термостойкостью, коррозионной стойкостью, стабильностью размеров и другими характеристиками, и может обеспечить стабильную опорную платформу для процесса PECVD, гарантируя равномерность и плоскостность осаждения пленки.

Конструкция графитовой подложки VET Energy, представляющая собой "графитовую опору", не только эффективно поддерживает пластину, но и обеспечивает термическую стабильность в условиях высокой температуры и высокого давления при PECVD-процессе, гарантируя стабильность процесса.

Графитовая подложка для пластин, изготовленная по технологии PECVD компании VET Energy, обладает следующими характеристиками:

▪Высокая чистота:Чрезвычайно низкое содержание примесей предотвращает загрязнение пленки и гарантирует ее качество.

▪Высокая плотность:Высокая плотность, высокая механическая прочность, способность выдерживать высокие температуры и высокое давление в условиях PECVD.

▪Хорошая стабильность размеров:Небольшие изменения размеров при высокой температуре обеспечивают стабильность процесса.

▪Отличная теплопроводность:эффективно передавать тепло, предотвращая перегрев пластины.

▪Высокая коррозионная стойкость:Способен противостоять эрозии под воздействием различных коррозионных газов и плазмы.

▪Индивидуальный подход к обслуживанию:Графитовые опорные столы различных размеров и форм могут быть изготовлены на заказ в соответствии с потребностями заказчика.