Urujya n'uruza rw'imikorere ya semiconductor-Ⅱ

Murakaza neza ku rubuga rwacu kugira ngo mumenye amakuru ku bicuruzwa no kugisha inama.

Urubuga rwacu:https://www.vet-china.com/

 

Gushushanya Poly na SiO2:

Nyuma y'ibi, Poly na SiO2 bisigaye birakurwaho, ni ukuvuga bivanwaho. Muri iki gihe, icyerekezogushushanyaikoreshwa. Mu gushyira mu byiciro imiterere y'amabara, hari uburyo bwo gushyira mu byiciro imiterere y'amabara mu cyerekezo n'uburyo butari mu cyerekezo. imiterere y'amabara mu cyerekezo yerekeza kurigushushanyamu cyerekezo runaka, mu gihe gushushanya bitari mu cyerekezo bitajyanye n'icyerekezo (navuze byinshi ku buryo butunguranye. Muri make, ni ugukuraho SiO2 mu cyerekezo runaka binyuze muri aside na bases byihariye). Muri uru rugero, dukoresha gushushanya mu cyerekezo cyo hasi kugira ngo dukureho SiO2, kandi biba gutya.

Amaherezo, kuraho fotoresisti. Muri iki gihe, uburyo bwo gukuraho fotoresisti si ugukoresha imirasire y'urumuri twavuze haruguru, ahubwo ni ubundi buryo, kuko tudakeneye kumenya ingano runaka muri iki gihe, ahubwo ni ukuraho fotoresisti yose. Amaherezo, biba nk'uko bigaragara ku ishusho ikurikira.

Muri ubu buryo, twageze ku ntego yo kugumana aho Poly SiO2 iherereye.

 

Imiterere y'isoko n'imiyoboro y'amazi:

Hanyuma, reka turebe uko isoko n'umuyoboro w'amazi bikorwa. Buri wese aracyabyibuka ko twabivuzeho mu nomero iheruka. Isoko n'umuyoboro w'amazi byashyizwemo ioni hamwe n'ibintu bimwe. Muri iki gihe, dushobora gukoresha photoresist kugira ngo dufungure agace k'isoko/umuyoboro w'amazi aho ubwoko bwa N bugomba gushyirwamo. Kubera ko dufata urugero rwa NMOS gusa, ibice byose biri ku ishusho iri hejuru bizafungurwa, nk'uko bigaragara ku ishusho ikurikira.

Kubera ko igice gitwikiriwe na photoresist kidashobora gushyirwamo (urumuri rurafunze), ibintu byo mu bwoko bwa N bizashyirwamo gusa kuri NMOS isabwa. Kubera ko substrate iri munsi ya poly ifunze na poly na SiO2, ntabwo izashyirwamo, bityo biba bimeze gutya.

Kuri iyi ngingo, hakozwe moderi yoroshye ya MOS. Mu by’ukuri, iyo voltage yongewe ku isoko, drain, poly na substrate, iyi MOS ishobora gukora, ariko ntidushobora gufata probe gusa ngo twongere voltage ku isoko hanyuma drain. Muri iki gihe, insinga za MOS zirakenewe, ni ukuvuga kuri iyi MOS, guhuza insinga kugira ngo MOS nyinshi zihuzwe hamwe. Reka turebe uburyo insinga zikorwa.

 

Gukora VIA:

Intambwe ya mbere ni ugupfuka MOS yose n'urwego rwa SiO2, nk'uko bigaragara ku ishusho iri hepfo:

Birumvikana ko iyi SiO2 ikorwa na CVD, kuko yihuta cyane kandi ikagabanya igihe. Ibikurikira ni inzira yo gushyiramo photoresist no gushyira ahagaragara. Nyuma y'iherezo, bisa gutya.

Noneho koresha uburyo bwo gukata kugira ngo ucukure umwobo kuri SiO2, nk'uko bigaragara mu gice cy'imvi ku ishusho iri hepfo. Ubujyakuzimu bw'uyu mwobo buhura neza n'ubuso bwa Si.

Amaherezo, kuraho photoresist hanyuma ubone ishusho ikurikira.

Muri iki gihe, igikenewe gukorwa ni ukuzuza kondakita muri uyu mwobo. Ku bijyanye n'iki gikompanyi? Buri sosiyete itandukanye, inyinshi muri zo ni aloyi za tungsten, none se iki gikompanyi cyakuzuzwa gute? Uburyo bwa PVD (Physical Vapor Deposition) burakoreshwa, kandi ihame risa n'ishusho iri hepfo.

Koresha electron cyangwa iyoni zifite ingufu nyinshi kugira ngo utere ibintu by’ingenzi, maze ibintu by’ingenzi byangiritse bizagwa hasi mu buryo bwa atome, bityo bibe irangi riri hepfo. Ibintu by’ingenzi dukunze kubona mu makuru bivuga ibintu by’ingenzi hano.
Nyuma yo kuzuza umwobo, bisa gutya.

Birumvikana ko iyo twujuje, ntabwo bishoboka kugenzura ubugari bw'igitambaro kugira ngo bungane neza n'ubujyakuzimu bw'umwobo, bityo hazabaho ikintu kirenze urugero, bityo dukoresha ikoranabuhanga rya CMP (Chemical Mechanical Polishing), rigaragara nk'irigezweho cyane, ariko mu by'ukuri ni ugusya, gusya ibice bisigaye. Ibisubizo ni ibi.

Kuri iyi ngingo, twarangije gukora urwego rwa via. Birumvikana ko gukora via ahanini ari uguhuza insinga z'urwego rw'icyuma ruri inyuma.

 

Gukora urwego rw'icyuma:

Muri ibi bintu byavuzwe haruguru, dukoresha PVD kugira ngo dukuremo urundi rwego rw'icyuma. Iki cyuma ahanini ni umuringa ukozwe mu cyuma.

Hanyuma nyuma yo kugaragara no gutobora, tubona icyo twifuza. Hanyuma dukomeze gukusanya kugeza igihe tuzaba duhuye n'ibyo dukeneye.

Iyo dushushanyije imiterere, tuzakubwira umubare w'ibice by'icyuma kandi binyuze mu buryo bwakoreshejwe bishobora gushyirwamo ibice byinshi, bivuze umubare w'ibice bishobora gushyirwamo ibice byinshi.
Amaherezo, tubona iyi miterere. Igice cyo hejuru ni agapira k'iyi chip, kandi nyuma yo gupakira, kiba agapira dushobora kubona (birumvikana ko nayishushanyije ku buryo butunguranye, nta kamaro gafatika ifite, urugero gusa).

Iyi ni inzira rusange yo gukora chip. Muri iki kinyamakuru, twize ku bijyanye n'ingenzi cyane byo gushyiramo, gushushanya, gushyiramo iyoni, imiyoboro y'itanura, CVD, PVD, CMP, n'ibindi mu ruganda rw'ibikoresho bya semiconductor.