Rea u amohela webosaeteng ea rona bakeng sa tlhahisoleseling ea sehlahisoa le lipuisano.
Webosaete ea rona:https://www.vet-china.com/
Ho thaepa ha Poly le SiO2:
Kamora sena, Poly le SiO2 tse feteletseng lia hlakolwa, ke hore, lia tlosoa. Ka nako ena, li lebisa hoho hlabae sebediswa. Tlhophisong ya ho betla, ho na le sehlopha sa ho betla ka tsela e lebang le ho se betle ka tsela e lebang. Ho betla ka tsela e lebang ho bolelaho hlabaka lehlakoreng le itseng, ha ho tjhesa ho sa tsamayeng ka tsela e itseng ho sa tsamayeng ka tsela e itseng (ka phoso ke boletse ho hongata haholo. Ka bokhutšoanyane, ke ho tlosa SiO2 ka tsela e itseng ka li-acid le metheo e itseng). Mohlaleng ona, re sebelisa ho tjhesa ho isang tsela e theohelang ho tlosa SiO2, 'me e ba tjena.
Qetellong, tlosa photoresist. Nakong ena, mokhoa oa ho tlosa photoresist ha se ho kenya tshebetsong ka mahlaseli a lesedi a boletsweng ka hodimo, empa ke ka mekgwa e meng, hobane ha re hloke ho hlalosa boholo bo itseng ka nako ena, empa ke ho tlosa photoresist yohle. Qetellong, e ba jwalo ka ha ho bontshitswe setshwantshong se latelang.
Ka tsela ena, re fihlelletse morero oa ho boloka sebaka se itseng sa Poly SiO2.
Ho thehoa ha mohloli le mokelikeli:
Qetellong, ha re nahaneng ka moo mohlodi le mokero di thehwang ka teng. Bohle ba ntse ba hopola hore re buile ka hona tokollong e fetileng. Mohlodi le mokero di kentswe ka ion ka mofuta o tshwanang wa dielemente. Nakong ena, re ka sebedisa photoresist ho bula sebaka sa mohlodi/mokero moo mofuta wa N o hlokang ho kenngwa teng. Kaha re nka NMOS feela e le mohlala, dikarolo tsohle setshwantshong se ka hodimo di tla bulwa, jwalo ka ha ho bontshitswe setshwantshong se latelang.
Kaha karolo e koahetsoeng ke photoresist e ke ke ea kenngoa (leseli le koetsoe), likarolo tsa mofuta oa N li tla kenngoa feela ho NMOS e hlokahalang. Kaha substrate e ka tlas'a poly e koetsoe ke poly le SiO2, e ke ke ea kenngoa, kahoo e ba tjena.
Mothating ona, ho se ho entsoe mohlala o bonolo oa MOS. Ka khopolo-taba, haeba motlakase o eketsoa mohloling, drain, poly le substrate, MOS ena e ka sebetsa, empa re ke ke ra nka probe feela ebe re eketsa motlakase ka kotloloho mohloling ebe re drain. Nakong ena, ho hlokahala terata ea MOS, ke hore, ho MOS ena, hokela lithapo ho hokahanya MOS tse ngata hammoho. A re shebeng ts'ebetso ea terata.
Ho etsa VIA:
Mohato oa pele ke ho koahela MOS eohle ka lera la SiO2, joalo ka ha ho bontšitsoe setšoantšong se ka tlase:
Ehlile, SiO2 ena e hlahisoa ke CVD, hobane e potlakile haholo ebile e boloka nako. Se latelang e ntse e le ts'ebetso ea ho beha photoresist le ho pepesa. Kamora pheletso, ho shebahala tjena.
Ebe o sebedisa mokgwa wa ho hlaba ho hlaba lesoba ho SiO2, jwalo ka ha ho bontshitswe karolong e putswa setshwantshong se ka tlase. Botebo ba lesoba lena bo kopana ka ho toba le bokahodimo ba Si.
Qetellong, tlosa photoresist 'me u fumane ponahalo e latelang.
Nakong ena, se hlokang ho etsoa ke ho tlatsa mokhanni ka hara lesoba lena. Ha e le hore na mokhanni enoa ke eng? Khamphani e 'ngoe le e 'ngoe e fapane, boholo ba tsona ke li-alloy tsa tungsten, joale lesoba lena le ka tlatsoa joang? Mokhoa oa PVD (Physical Vapor Deposition) oa sebelisoa, 'me molao-motheo o tšoana le setšoantšo se ka tlase.
Sebelisa dielektrone kapa di-ion tse nang le matla a mangata ho hlasela thepa e reretsoeng, mme thepa e robehileng e tla wela tlase ka sebopeho sa diathomo, ka hona e bopa lesira le ka tlase. Thepa e reretsoeng eo re atisang ho e bona litabeng e bua ka thepa e reretsoeng mona.
Kamora ho tlatsa lesoba, ho shebahala tjena.
Ehlile, ha re e tlatsa, ho ke ke ha kgoneha ho laola botenya ba lesela hore le lekane hantle le botebo ba lesoba, kahoo ho tla ba le ho feteletseng, kahoo re sebedisa theknoloji ya CMP (Chemical Mechanical Polishing), e utlwahalang e le ya maemo a hodimo haholo, empa ha e le hantle e sila, e tlosa dikarolo tse feteletseng. Sephetho se tjena.
Mothating ona, re qetile tlhahiso ea lera la via. Ehlile, tlhahiso ea via ke haholo-holo bakeng sa ho hokela lera la tšepe le ka morao.
Tlhahiso ea lera la tšepe:
Tlas'a maemo a boletsoeng ka holimo, re sebelisa PVD ho tlosa lera le leng la tšepe. Tšepe ena haholo-holo ke motsoako o thehiloeng koporong.
Ebe ka mora ho pepeseha le ho tjhesa, re fumana seo re se batlang. Ebe re tswela pele ho bokellana ho fihlela re fihlela ditlhoko tsa rona.
Ha re taka moralo, re tla o bolella hore na ke mekhahlelo e mekae ea tšepe le hore na ke ka mokhoa o sebelisitsoeng e ka hlophisoang bonyane, ho bolelang hore na e ka hlophisoa ka mekhahlelo e mekae.
Qetellong, re fumana sebopeho sena. Karolo e ka hodimo ke phini ya chip ena, mme kamora ho e paka, e fetoha phini eo re ka e bonang (ehlile, ke e toroile ka tshohanyetso, ha ho na bohlokwa bo sebetsang, mohlala feela).
Ena ke ts'ebetso e akaretsang ea ho etsa chip. Khatisong ena, re ithutile ka ho pepesehela ha bohlokoa ka ho fetisisa, ho fata, ho kenngoa ha li-ion, li-tube tsa ontong, CVD, PVD, CMP, jj. ho foundry ea semiconductor.
Nako ea poso: Phato-23-2024