CVD Silisyum Karbür Kaplı Grafit Halka

CVD Silisyum Karbür Kaplı Grafit Yüzük (Öne Çıkan Görsel)

Kısa Açıklama:

VET Energy silisyum karbür kaplı grafit halka, uzun bir süre boyunca tutarlı ve güvenilir performans sağlamak üzere tasarlanmış yüksek performanslı bir üründür. Süper iyi ısı direnci ve termal homojenliği, yüksek saflığı ve aşınma direnci sayesinde, wafer işleme uygulamaları için mükemmel bir çözümdür.

Bize e-posta gönderin PDF olarak indir

Ürün Detayı

Ürün Etiketleri

Temel Grafit Malzemenin Tipik Özellikleri:

Görünür Yoğunluk:	1,85 g/cm³
Elektriksel Direnç:	11 μΩm
Eğilme Mukavemeti:	49 MPa (500 kgf/cm2)
Shore Sertliği:	58
Kül:	<5ppm
Isı İletkenliği:	116 W/mK (100 kcal/mhr-℃)

Mevcut tüm epitaksi reaktörleri için çeşitli suseptörler ve grafit bileşenleri tedarik ediyoruz. Ürünlerimiz arasında LPE üniteleri için silindir suseptörler, LPE, CSD ve Gemini üniteleri için yassı suseptörler ve uygulamalı ve ASM üniteleri için tekli wafer suseptörler bulunmaktadır.

Önde gelen OEM'lerle kurduğu güçlü ortaklıklar, malzeme uzmanlığı ve üretim bilgi birikimini bir araya getiren Vet, uygulamanız için en uygun tasarımı sunar.

VET Energy oCVD kaplamalı, özel tasarım grafit ve silisyum karbür ürünlerinin gerçek üreticisi.tedarik edebilirçeşitliYarı iletken ve fotovoltaik endüstrisi için özel üretim parçalar. OTeknik ekibimiz, yurt içindeki önde gelen araştırma kurumlarından gelmektedir ve daha profesyonel malzeme çözümleri sunabilmektedir.senin için.

FÜrünlerimizin özellikleri:

1. 1700 dereceye kadar yüksek sıcaklık oksidasyon direnci℃.
2. Yüksek saflık vetermal homojenlik
3. Mükemmel korozyon direnci: asit, alkali, tuz ve organik reaktiflere karşı dayanıklıdır.
4. Yüksek sertlik, kompakt yüzey, ince parçacıklar.
5. Daha uzun kullanım ömrü ve daha dayanıklı

CVD SiCAmerika Birleşik Devletleri CVD SiC'nin temel fiziksel özelliklerikaplama
性质 / Mülk	典型数值 / Tipik Değer
晶体结构 / Kristal Yapısı	FCC β fazı多晶,主要为（111)
密度 / Yoğunluk	3,21 g/cm³
硬度 / Sertlik	2500 kg yük (500g yük)
晶粒大小 / Tane Boyutu	2~10 μm
纯度 / Kimyasal Saflık	99.99995%
热容 / Isı Kapasitesi	640 J·kg^-1K^-1
Amerika Birleşik Devletleri / Süblimasyon Sıcaklığı	2700℃
抗弯强度 / Eğilme Mukavemeti	415 MPa RT 4 noktalı
杨氏模量 / Young Modülü	430 Gpa 4 noktalı büküm, 1300℃
导热系数 / Thermalİletkenlik	300W·m^-1K^-1
Amerika Birleşik Devletleri / Termal Genleşme (CTE)	4,5×10^-6K^-1