SiC Kaplamalı Grafit Süspansiyon ve Wafer Taşıyıcısı

SiC Kaplamalı Grafit Süspansiyon ve Taşıyıcı İçin Wafer Öne Çıkan Görsel

Kısa Açıklama:

VET Energy SiC Kaplamalı Grafit Susceptor, uzun bir süre boyunca tutarlı ve güvenilir performans sağlamak için tasarlanmış yüksek performanslı bir üründür. Süper iyi ısı direncine ve termal homojenliğe, yüksek saflığa, aşınma direncine sahiptir ve bu da onu gofret işleme uygulamaları için mükemmel bir çözüm haline getirir.

Malzeme:Yüksek saflıkta izostatik grafit

Arınma: <5ppm

Kaplama:CVD-SiC, CVD-TaC, Piro-karbon

OEM ODM:Mevcut

Bize e-posta gönderin PDF olarak indir

Ürün Detayı

Ürün Etiketleri

SiC kaplamalı grafit kaplamaçeşitli yarı iletken üretim süreçlerinde kullanılan temel bir bileşendir. Patentli teknolojimizi kullanarak son derece yüksek saflıkta, iyi kaplama düzgünlüğüne ve mükemmel bir hizmet ömrüne sahip SiC kaplamalı suscetpor'u, ayrıca yüksek kimyasal direnç ve termal kararlılık özellikleriyle üretiyoruz.

Ürünlerimizin özellikleri:

1. 1700℃'ye kadar yüksek sıcaklık oksidasyon direnci.
2. Yüksek saflık ve termal homojenlik
3. Mükemmel korozyon direnci: asit, alkali, tuz ve organik reaktifler.
4. Yüksek sertlik, kompakt yüzey, ince parçacıklar.
5. Daha uzun hizmet ömrü ve daha dayanıklı

CVD SiCAmerika Birleşik Devletleri CVD SiC'nin temel fiziksel özelliklerikaplama
性质 / Mülk	典型数值 / Tipik Değer
晶体结构 / Kristal Yapı	FCC β fazı多晶,主要为（111)
密度 / Yoğunluk	3,21 gr/cm³
硬度 / Sertlik	2500 kg yük (500g yük)
晶粒大小 / Tane Boyutu	2~10μm
纯度 / Kimyasal Saflık	%99,99995
热容 / Isı Kapasitesi	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Süblimleşme Sıcaklığı	2700℃
抗弯强度 / Eğilme Dayanımı	415 MPa RT 4 nokta
杨氏模量 / Young Modülü	430 Gpa 4pt dirsek, 1300℃
导热系数 / Termalbenİletkenlik	300W·m^-1·K^-1
Amerika Birleşik Devletleri / Termal Genleşme (CTE)	4,5×10^-6K^-1

VET Energy, grafit, silisyum karbür, kuvars gibi yüksek kaliteli gelişmiş malzemelerin Ar-Ge ve üretimine odaklanan profesyonel bir üreticidir ve ayrıca SiC kaplama, TaC kaplama, camsı karbon kaplama, pirolitik karbon kaplama vb. gibi malzeme işlemlerine sahiptir. Ürünler fotovoltaik, yarı iletken, yeni enerji, metalurji vb. alanlarda yaygın olarak kullanılmaktadır.

Yurtiçindeki en iyi araştırma kurumlarından gelen teknik ekibimiz, sizlere daha profesyonel malzeme çözümleri sunabilir.

VET Energy'nin avantajları şunlardır:
• Kendi fabrikamız ve profesyonel laboratuvarımız;
• Sektör lideri saflık seviyeleri ve kalite;
• Rekabetçi fiyat ve Hızlı teslimat süresi;
• Dünya çapında çok sayıda sektör ortaklığı;

Fabrikamızı ve laboratuvarımızı her zaman ziyaret etmenizi bekliyoruz!