Silikon Karbür Kaplı Grafit Taşıyıcı ve Yüzey İşleme Malzemesi (Yonga Levha İçin)

Silikon Kaplı Grafit Destekleyici ve Taşıyıcı (Öne Çıkan Görsel)

Kısa Açıklama:

VET Energy SiC Kaplı Grafit Susceptor, uzun bir süre boyunca tutarlı ve güvenilir performans sağlamak üzere tasarlanmış yüksek performanslı bir üründür. Süper iyi ısı direnci ve termal homojenliği, yüksek saflığı ve aşınma direnci sayesinde, wafer işleme uygulamaları için mükemmel bir çözümdür.

Malzeme:Yüksek saflıkta izostatik grafit

Arıtma: <5ppm

Kaplama:CVD-SiC, CVD-TaC, Piro-karbon

OEM ODM:Mevcut

Bize e-posta gönderin PDF olarak indir

Ürün Detayı

Ürün Etiketleri

SiC kaplı grafit destekÇeşitli yarı iletken üretim süreçlerinde kullanılan önemli bir bileşendir. Patentli teknolojimizi kullanarak, son derece yüksek saflıkta, iyi kaplama homojenliğinde ve mükemmel kullanım ömrünün yanı sıra yüksek kimyasal direnç ve termal kararlılık özelliklerine sahip SiC kaplı destek malzemesi üretiyoruz.

Ürünlerimizin özellikleri:

1. 1700℃'ye kadar yüksek sıcaklık oksidasyon direnci.
2. Yüksek saflık ve termal homojenlik
3. Mükemmel korozyon direnci: asit, alkali, tuz ve organik reaktiflere karşı dayanıklıdır.
4. Yüksek sertlik, kompakt yüzey, ince parçacıklar.
5. Daha uzun kullanım ömrü ve daha dayanıklı

CVD SiCAmerika Birleşik Devletleri CVD SiC'nin temel fiziksel özelliklerikaplama
性质 / Mülk	典型数值 / Tipik Değer
晶体结构 / Kristal Yapısı	FCC β fazı多晶,主要为（111)
密度 / Yoğunluk	3,21 g/cm³
硬度 / Sertlik	2500 kg yük (500g yük)
晶粒大小 / Tane Boyutu	2~10 μm
纯度 / Kimyasal Saflık	99.99995%
热容 / Isı Kapasitesi	640 J·kg^-1K^-1
Amerika Birleşik Devletleri / Süblimasyon Sıcaklığı	2700℃
抗弯强度 / Eğilme Mukavemeti	415 MPa RT 4 noktalı
杨氏模量 / Young Modülü	430 Gpa 4 noktalı büküm, 1300℃
导热系数 / Thermalİletkenlik	300W·m^-1K^-1
Amerika Birleşik Devletleri / Termal Genleşme (CTE)	4,5×10^-6K^-1

VET Energy, grafit, silisyum karbür, kuvars gibi yüksek kaliteli gelişmiş malzemelerin yanı sıra SiC kaplama, TaC kaplama, camsı karbon kaplama, pirolitik karbon kaplama vb. malzeme işleme yöntemlerinin Ar-Ge ve üretimine odaklanan profesyonel bir üreticidir. Ürünler, fotovoltaik, yarı iletken, yeni enerji, metalurji vb. alanlarda yaygın olarak kullanılmaktadır.

Teknik ekibimiz, yurt içindeki önde gelen araştırma kurumlarından gelmektedir ve size daha profesyonel malzeme çözümleri sunabilir.

VET Energy'nin avantajları şunlardır:
• Kendi fabrikamız ve profesyonel laboratuvarımız;
• Sektör lideri saflık seviyeleri ve kalite;
• Rekabetçi fiyat ve hızlı teslimat süresi;
• Dünya çapında çok sayıda sektör ortaklığı;

Fabrikamızı ve laboratuvarımızı dilediğiniz zaman ziyaret etmenizi memnuniyetle karşılıyoruz!