VET Energy'ס זעלבשטענדיק אנטוויקלטע CVD טאנטאלום קארבייד (TaC) קאָוטינג וועיפער סוסעפּטאָר איז דיזיינד פֿאַר שווערע אַרבעטס באַדינגונגען ווי האַלב-קאָנדוקטאָר מאַנופאַקטורינג, LED עפּיטאַקסיאַל וועיפער וווּקס (MOCVD), קריסטאַל וווּקס אויוון, הויך-טעמפּעראַטור וואַקוום היץ באַהאַנדלונג, עטק. דורך כעמישע פארע דעפּאַזישאַן (CVD) טעכנאָלאָגיע, אַ געדיכטע און מונדיר טאנטאלום קארבייד קאָוטינג איז געשאפן אויף דער ייבערפלאַך פון די גראַפיט סאַבסטראַט, וואָס גיט די טאַץ אַולטראַ-הויך טעמפּעראַטור פעסטקייט (>3000 ℃), קעגנשטעל צו געשמאָלצן מעטאַל קעראָוזשאַן, טערמאַל קלאַפּ קעגנשטעל און נידעריק פאַרפּעסטיקונג קעראַקטעריסטיקס, באַטייטיק פאַרלענגערן די דינסט לעבן.
אונדזערע טעכנישע מעלות:
1. אולטרא-הויך טעמפּעראַטור פעסטקייט.
3880°C שמעלץ־פונקט: טאַנטאַלום קאַרבייד באַדעקונג קען אַרבעטן קאַנטיניואַסלי און סטאַביל העכער 2500°C, ווײַט איבערשטייגנדיק די 1200-1400°C דעקאָמפּאָזיציע טעמפּעראַטור פון קאַנווענשאַנעל סיליקאָן קאַרבייד (SiC) באַדעקונגען.
טערמישע שאָק קעגנשטעל: דער טערמישער יקספּאַנשאַן קאָואַפישאַנט פון דער קאָוטינג שטימט מיט דעם פון די גראַפיט סאַבסטראַט (6.6×10-6 /K), און קען וויטשטיין שנעלע טעמפּעראַטור העכערונג און פאַל ציקלען מיט אַ טעמפּעראַטור חילוק פון מער ווי 1000°C צו ויסמיידן קראַקינג אָדער אַראָפּפאַלן.
הויך טעמפּעראַטור מעכאַנישע אייגנשאַפטן: די קאָוטינג כאַרדנאַס דערגרייכט 2000 HK (וויקערס כאַרדנאַס) און די עלאַסטיש מאָדולוס איז 537 GPa, און עס האַלט נאָך אַן אויסגעצייכנטע סטרוקטורעלע שטאַרקייט ביי הויך טעמפּעראַטורן.
2. גאָר קעראָוזשאַן-קעגנשטעליק צו ענשור פּראָצעס ריינקייט
אויסגעצייכנטע קעגנשטעל: עס האט אויסגעצייכנטע קעגנשטעל צו קאראזיווע גאזן ווי H₂, NH₃, SiH₄, HCl און געשמאָלצענע מעטאַלן (למשל Si, Ga), אינגאנצן אפגעזונדערט דעם גראַפיט סאַבסטראַט פון דער רעאַקטיווער סביבה און פארמיידנדיק קוילן קאַנטאַמאַניישאַן.
נידעריקע אומריינקייט מיגראַציע: גאָר הויך ריינקייט, עפעקטיוו פאַרהיטן די מיגראַציע פון ניטראָגען, זויערשטאָף און אַנדערע אומריינקייטן צו די קריסטאַל אָדער עפּיטאַקסיאַל שיכט, רידוסינג די דעפעקט קורס פון מיקראָטובעס מיט מער ווי 50%.
3. נאַנאָ-לעוועל פּרעציזיע צו פֿאַרבעסערן פּראָצעס קאָנסיסטענסי
קאָוטינג יוניפאָרמאַטי: גרעב טאָלעראַנץ ≤ ± 5%, ייבערפלאַך פלאַכקייט ריטשאַז נאַנאָמעטער מדרגה, ינשורינג הויך קאָנסיסטענסי פון ווייפער אָדער קריסטאַל וווּקס פּאַראַמעטערס, טערמאַל יוניפאָרמאַטי טעות <1%.
דימענסיאָנעלע אַקיעראַסי: שטיצט ±0.05 מם טאָלעראַנץ קאַסטאַמייזיישאַן, אַדאַפּט זיך צו 4-אינטש ביז 12-אינטש ווייפערז, און טרעפט די באדערפענישן פון הויך-פּינטלעכקייט ויסריכט ינטערפייסיז.
4. לאַנג-דויערנדיק און דוראַבאַל, רידוסינג קוילעלדיק קאָס
באַנדינג שטאַרקייט: די באַנדינג שטאַרקייט צווישן די קאָוטינג און די גראַפיט סאַבסטראַט איז ≥5 MPa, קעגנשטעליק צו עראָוזיע און טראָגן, און די דינסט לעבן איז עקסטענדעד דורך מער ווי 3 מאָל.
מאַשין קאָמפּאַטאַביליטי
פּאַסיק פֿאַר מיינסטרים עפּיטאַקסיאַל און קריסטאַל וווּקס ויסריכט אַזאַ ווי CVD, MOCVD, ALD, LPE, עטק., קאַווערינג SiC קריסטאַל וווּקס (PVT מעטאָד), GaN עפּיטאַקסי, AlN סאַבסטראַט צוגרייטונג און אנדערע סינעריאָוז.
מיר צושטעלן אַ פאַרשיידנקייט פון סאַסעפּטאָר שאַפּעס אַזאַ ווי פלאַך, קאָנקאַווע, קאָנוועקס, אאז"ו ו. די גרעב (5-50 מם) און פּאַזישאַנינג לאָך אויסלייג קענען זיין אַדזשאַסטיד לויט די קאַוואַטי סטרוקטור צו דערגרייכן סימלאַס קאַמפּאַטאַבילאַטי מיט די ויסריכט.
הויפּט אַפּליקאַציעס:
SiC קריסטאַל וווּקס: אין די PVT מעטאָד, קען די קאָוטינג אָפּטימיזירן די טערמישע פעלד פאַרשפּרייטונג, רעדוצירן ראַנד חסרונות, און פאַרגרעסערן די עפעקטיוו וווּקס שטח פון די קריסטאַל צו מער ווי 95%.
GaN עפּיטאַקסי: אין דעם MOCVD פּראָצעס, איז דער סאַסעפּטאָר טערמישער יונאַפאָרמאַטי טעות <1%, און די קאָנסיסטענסי פון עפּיטאַקסיאַל שיכט גרעב דערגרייכט ±2%.
AlN סאַבסטראַט צוגרייטונג: אין דער הויך טעמפּעראַטור (>2000°C) אַמינאַציע רעאַקציע, קען די TaC קאָוטינג גאָר אפגעזונדערן דעם גראַפיט סאַבסטראַט, ויסמיידן קאַרבאָן קאַנטאַמאַניישאַן, און פֿאַרבעסערן די ריינקייט פון די AlN קריסטאַל.
| 碳化钽涂层物理特性物理特性 פיזישע אייגנשאפטן פון טאַק באַדעקונג | |
| 密度/ געדיכטקייט | 14.3 (ג/קמ³) |
| 比辐射率 / ספּעציפֿישע עמיסיוויטי | 0.3 |
| 热膨胀系数 / טערמישע אויסברייטונג קאעפיציענט | 6.3 10-6/K |
| 努氏硬度/ כאַרטקייט (HK) | 2000 האָנג קאָנג |
| 电阻 / קעגנשטאנד | 1×10-5 אָום*ס״מ |
| 热稳定性 / טערמישע פעסטקייט | <2500℃ |
| 石墨尺寸变化 / גראַפיט גרייס ענדערונגען | -10~-20ום |
| 涂层厚度 / קאָוטינג גרעב | טיפּישער ווערט ≥30ום (35ום ± 10ום) |
נינגבאָ וועט ענערגיע טעכנאָלאָגיע קאָו., לטד איז אַ הויך-טעק ענטערפּרייז פאָקוסירט אויף דער אַנטוויקלונג און פּראָדוקציע פון הויך-סוף אַוואַנסירטע מאַטעריאַלן, די מאַטעריאַלן און טעכנאָלאָגיע אַרייַנגערעכנט גראַפיט, סיליקאָן קאַרבייד, קעראַמיק, ייבערפלאַך באַהאַנדלונג ווי SiC קאָוטינג, TaC קאָוטינג, גלאַסי קאַרבאָן קאָוטינג, פּיראָליטיק קאַרבאָן קאָוטינג, אאז"ו ו, די פּראָדוקטן זענען וויידלי געניצט אין פאָטאָוואָלטאַיק, האַלב-קאָנדוקטאָר, נייַע ענערגיע, מעטאַלורגיע, אאז"ו ו.
אונדזער טעכנישער מאַנשאַפֿט קומט פֿון די בעסטע דינער פֿאָרשונג אינסטיטוציעס, און האָבן אַנטוויקלט קייפל פּאַטענטירטע טעכנאָלאָגיעס צו ענשור פּראָדוקט פאָרשטעלונג און קוואַליטעט, און קענען אויך צושטעלן קאַסטאַמערז מיט פּראָפֿעסיאָנעלע מאַטעריאַל לייזונגען.
