صُمم مُستقبِل رقاقة طلاء كربيد التنتالوم (TaC) بتقنية الترسيب الكيميائي البخاري (CVD)، المُطوَّر بشكل مستقل من قِبل شركة VET Energy، ليُناسب ظروف العمل القاسية، مثل تصنيع أشباه الموصلات، ونمو رقاقة الصمام الثنائي الباعث للضوء (MOCVD)، وفرن نمو البلورات، والمعالجة الحرارية الفراغية عالية الحرارة، وغيرها. من خلال تقنية الترسيب الكيميائي للبخار (CVD)، يتم تشكيل طبقة كثيفة وموحدة من كربيد التنتالوم على سطح ركيزة الجرافيت، مما يمنح الصينية ثباتًا فائقًا في درجات الحرارة (>3000 درجة مئوية)، ومقاومة للتآكل المعدني المنصهر، ومقاومة للصدمات الحرارية، وخصائص منخفضة التلوث، مما يُطيل عمر الخدمة بشكل كبير.
مزايانا التقنية:
1. استقرار درجة الحرارة العالية جدًا.
نقطة الانصهار 3880 درجة مئوية: يمكن لطلاء كربيد التنتالوم أن يعمل بشكل مستمر ومستقر فوق 2500 درجة مئوية، وهو ما يتجاوز بكثير درجة حرارة التحلل 1200-1400 درجة مئوية لطلاءات كربيد السيليكون (SiC) التقليدية.
مقاومة الصدمات الحرارية: يتطابق معامل التمدد الحراري للطلاء مع معامل الركيزة الجرافيتية (6.6×10-6 /K)، ويمكنه تحمل دورات ارتفاع وانخفاض درجات الحرارة السريعة مع فرق درجة الحرارة أكثر من 1000 درجة مئوية لتجنب التشقق أو السقوط.
الخصائص الميكانيكية في درجات الحرارة العالية: تصل صلابة الطلاء إلى 2000 HK (صلابة فيكرز) ومعامل المرونة هو 537 جيجا باسكال، ولا يزال يحافظ على قوة هيكلية ممتازة في درجات الحرارة العالية.
2. مقاومة شديدة للتآكل لضمان نقاء العملية
مقاومة ممتازة: تتمتع بمقاومة ممتازة للغازات المسببة للتآكل مثل H₂ وNH₃ وSiH₄ وHCl والمعادن المنصهرة (مثل Si وGa)، مما يعزل ركيزة الجرافيت تمامًا عن البيئة التفاعلية ويتجنب تلوث الكربون.
هجرة الشوائب المنخفضة: نقاء عالي للغاية، يمنع بشكل فعال هجرة النيتروجين والأكسجين والشوائب الأخرى إلى الطبقة البلورية أو الطبقة الطلائية، مما يقلل من معدل عيب الأنابيب الدقيقة بأكثر من 50%.
3. دقة على مستوى النانو لتحسين اتساق العملية
توحيد الطلاء: سمك التسامح ≤±5٪، تسطيح السطح يصل إلى مستوى النانومتر، مما يضمن اتساقًا عاليًا لمعلمات نمو الرقاقة أو البلورة، خطأ التوحيد الحراري <1٪.
دقة الأبعاد: تدعم تخصيص التفاوت ±0.05 مم، وتتكيف مع رقائق مقاس 4 إلى 12 بوصة، وتلبي احتياجات واجهات المعدات عالية الدقة.
4. طويلة الأمد ومتينة، مما يقلل التكاليف الإجمالية
قوة الترابط: قوة الترابط بين الطلاء وركيزة الجرافيت هي ≥ 5 ميجا باسكال، ومقاومة للتآكل والتآكل، وتمتد مدة الخدمة بأكثر من 3 مرات.
توافق الآلة
مناسب لمعدات النمو البلورية والطبقية السائدة مثل CVD وMOCVD وALD وLPE وما إلى ذلك، والتي تغطي نمو بلورات SiC (طريقة PVT) وطبقة GaN وتحضير ركيزة AlN وغيرها من السيناريوهات.
نحن نقدم مجموعة متنوعة من أشكال المستقبلات مثل المسطحة والمقعرة والمحدبة وما إلى ذلك. يمكن تعديل السُمك (5-50 مم) وتخطيط فتحة التموضع وفقًا لهيكل التجويف لتحقيق التوافق السلس مع المعدات.
التطبيقات الرئيسية:
نمو بلورة SiC: في طريقة PVT، يمكن للطلاء تحسين توزيع المجال الحراري، وتقليل عيوب الحافة، وزيادة مساحة النمو الفعالة للبلورة إلى أكثر من 95%.
طبقة GaN: في عملية MOCVD، يكون خطأ التوحيد الحراري المستقبل <1%، ويصل اتساق سمك الطبقة الظهارية إلى ±2%.
إعداد ركيزة AlN: في تفاعل الأمين في درجة حرارة عالية (>2000 درجة مئوية)، يمكن لطلاء TaC عزل ركيزة الجرافيت تمامًا، وتجنب تلوث الكربون، وتحسين نقاء بلورة AlN.
| 碳化钽涂层物理特性物理特性 الخصائص الفيزيائية لـ تاك طلاء | |
| 密度/ كثافة | 14.3 (جم/سم³) |
| شكرا جزيلا / الانبعاثية النوعية | 0.3 |
| هذا هو الحال / معامل التمدد الحراري | 6.3 10-6/K |
| شكرا جزيلا/ الصلابة (هونغ كونغ) | 2000 هونج كونج |
| 电阻 / مقاومة | 1×10-5 أوم*سم |
| 热稳定性 / الاستقرار الحراري | أقل من 2500 درجة مئوية |
| منتجات جديدة / تغيرات حجم الجرافيت | -10~-20 ميكرومتر |
| 涂层厚度 / سمك الطلاء | القيمة النموذجية ≥30 ميكرومتر (35 ميكرومتر ± 10 ميكرومتر) |
شركة نينغبو فيت لتكنولوجيا الطاقة المحدودة هي مؤسسة ذات تكنولوجيا عالية تركز على تطوير وإنتاج المواد المتقدمة الراقية، والمواد والتكنولوجيا بما في ذلك الجرافيت، وكربيد السيليكون، والسيراميك، والمعالجة السطحية مثل طلاء SiC، وطلاء TaC، وطلاء الكربون الزجاجي، وطلاء الكربون الحراري، وما إلى ذلك، وتستخدم هذه المنتجات على نطاق واسع في الطاقة الكهروضوئية، وأشباه الموصلات، والطاقة الجديدة، والمعادن، وما إلى ذلك.
يأتي فريقنا الفني من أفضل مؤسسات البحث المحلية، وقد طور العديد من التقنيات الحاصلة على براءة اختراع لضمان أداء المنتج والجودة، ويمكنه أيضًا تزويد العملاء بحلول مادية احترافية.
