تم تصميم حامل رقائق السيليكون المطلي بكربيد التنتالوم (TaC) بتقنية الترسيب الكيميائي للبخار (CVD) والمطور بشكل مستقل من قبل شركة VET Energy، ليتحمل ظروف العمل القاسية مثل تصنيع أشباه الموصلات، ونمو رقائق السيليكون فوق الركيزة (MOCVD)، وأفران نمو البلورات، والمعالجة الحرارية الفراغية ذات درجة الحرارة العالية، وما إلى ذلك. من خلال تقنية الترسيب الكيميائي للبخار (CVD)، يتم تشكيل طبقة كثيفة وموحدة من كربيد التنتالوم على سطح ركيزة الجرافيت، مما يمنح الحامل استقرارًا فائقًا في درجات الحرارة العالية (>3000 درجة مئوية)، ومقاومة لتآكل المعادن المنصهرة، ومقاومة للصدمات الحرارية، وخصائص منخفضة التلوث، مما يطيل عمره الافتراضي بشكل كبير.
مزايانا التقنية:
1. ثبات فائق في درجات الحرارة العالية.
نقطة الانصهار 3880 درجة مئوية: يمكن لطلاء كربيد التنتالوم أن يعمل بشكل مستمر ومستقر فوق 2500 درجة مئوية، متجاوزًا بكثير درجة حرارة التحلل 1200-1400 درجة مئوية لطلاءات كربيد السيليكون التقليدية (SiC).
مقاومة الصدمات الحرارية: يتطابق معامل التمدد الحراري للطلاء مع معامل التمدد الحراري لركيزة الجرافيت (6.6 × 10 -6 / كلفن)، ويمكنه تحمل دورات الارتفاع والانخفاض السريع في درجة الحرارة مع فرق في درجة الحرارة يزيد عن 1000 درجة مئوية لتجنب التشقق أو السقوط.
الخواص الميكانيكية عند درجات الحرارة العالية: تصل صلابة الطلاء إلى 2000 HK (صلابة فيكرز) ومعامل المرونة هو 537 جيجا باسكال، ولا يزال يحافظ على قوة هيكلية ممتازة عند درجات الحرارة العالية.
2. مقاومة عالية للتآكل لضمان نقاء العملية
مقاومة ممتازة: يتمتع بمقاومة ممتازة للغازات المسببة للتآكل مثل H₂ و NH₃ و SiH₄ و HCl والمعادن المنصهرة (مثل Si و Ga)، مما يعزل ركيزة الجرافيت تمامًا عن البيئة التفاعلية ويتجنب التلوث بالكربون.
انخفاض هجرة الشوائب: نقاء فائق، يمنع بشكل فعال هجرة النيتروجين والأكسجين والشوائب الأخرى إلى الطبقة البلورية أو الطبقة فوق المحورية، مما يقلل من معدل عيوب الأنابيب الدقيقة بأكثر من 50٪.
3. دقة على مستوى النانو لتحسين اتساق العملية
تجانس الطلاء: تفاوت السماكة ≤ ± 5٪، وتستوي السطح يصل إلى مستوى النانومتر، مما يضمن اتساقًا عاليًا لمعلمات نمو الرقاقة أو البلورة، وخطأ التوحيد الحراري < 1٪.
الدقة الأبعاد: يدعم تخصيص التفاوت ±0.05 مم، ويتكيف مع الرقاقات من 4 بوصات إلى 12 بوصة، ويلبي احتياجات واجهات المعدات عالية الدقة.
4. يدوم طويلاً ويتحمل الاستخدام، مما يقلل التكاليف الإجمالية
قوة الترابط: قوة الترابط بين الطلاء والركيزة الجرافيتية ≥ 5 ميجا باسكال، ومقاومة للتآكل والتلف، وتمديد عمر الخدمة بأكثر من 3 مرات.
توافق الجهاز
مناسب لمعدات النمو البلوري والطبقي السائدة مثل CVD وMOCVD وALD وLPE وما إلى ذلك، ويغطي نمو بلورات SiC (طريقة PVT) والنمو الطبقي لـ GaN وإعداد ركائز AlN وغيرها من السيناريوهات.
نقدم مجموعة متنوعة من أشكال الحامل مثل المسطحة والمقعرة والمحدبة وما إلى ذلك. يمكن تعديل السماكة (5-50 مم) وتصميم فتحة التثبيت وفقًا لهيكل التجويف لتحقيق توافق سلس مع المعدات.
التطبيقات الرئيسية:
نمو بلورات كربيد السيليكون: في طريقة PVT، يمكن للطلاء تحسين توزيع المجال الحراري، وتقليل عيوب الحواف، وزيادة مساحة النمو الفعالة للبلورة إلى أكثر من 95٪.
الترسيب الطبقي لـ GaN: في عملية MOCVD، يكون خطأ التوحيد الحراري للمستقبل أقل من 1٪، ويصل اتساق سمك الطبقة المترسبة إلى ±2٪.
تحضير ركيزة AlN: في تفاعل الأمينة عند درجة حرارة عالية (>2000 درجة مئوية)، يمكن لطلاء TaC أن يعزل ركيزة الجرافيت تمامًا، ويتجنب تلوث الكربون، ويحسن نقاء بلورة AlN.
| 碳化钽涂层物理特性物理特性 الخصائص الفيزيائية لـ تاك طلاء | |
| 密度/ كثافة | 14.3 (جم/سم³) |
| شكرا جزيلا / الانبعاثية النوعية | 0.3 |
| هذا هو الحال معامل التمدد الحراري | 6.3 10-6/K |
| شكرا جزيلا/ الصلابة (HK) | 2000 هونغ كونغ |
| 电阻 / مقاومة | 1×10-5 أوم*سم |
| 热稳定性 / الثبات الحراري | أقل من 2500 درجة مئوية |
| منتجات جديدة / تغيرات حجم الجرافيت | -10~-20 ميكرومتر |
| 涂层厚度 / سمك الطلاء | القيمة النموذجية ≥30 ميكرومتر (35 ميكرومتر ± 10 ميكرومتر) |
شركة نينغبو فيت لتكنولوجيا الطاقة المحدودة هي شركة ذات تقنية عالية تركز على تطوير وإنتاج مواد متطورة عالية الجودة، وتشمل المواد والتكنولوجيا الجرافيت وكربيد السيليكون والسيراميك ومعالجة الأسطح مثل طلاء SiC وطلاء TaC وطلاء الكربون الزجاجي وطلاء الكربون المحلل حرارياً، وما إلى ذلك، وتستخدم هذه المنتجات على نطاق واسع في الخلايا الكهروضوئية وأشباه الموصلات والطاقة الجديدة والمعادن، وما إلى ذلك.
يتألف فريقنا التقني من أفضل المؤسسات البحثية المحلية، وقد طور العديد من التقنيات الحاصلة على براءات اختراع لضمان أداء المنتج وجودته، كما يمكنه تزويد العملاء بحلول مواد احترافية.
