ציפוי טנטלום קרביד (TaC) CVD שפותח באופן עצמאי על ידי VET Energy מיועד לתנאי עבודה קשים כגון ייצור מוליכים למחצה, גידול פרוסות אפיטקסיאליות של LED (MOCVD), תנור גידול גבישים, טיפול בחום ואקום בטמפרטורה גבוהה ועוד. באמצעות טכנולוגיית שקיעת אדים כימית (CVD), נוצר ציפוי טנטלום קרביד צפוף ואחיד על פני מצע הגרפיט, מה שמעניק למגש יציבות בטמפרטורה גבוהה במיוחד (>3000℃), עמידות בפני קורוזיה של מתכת מותכת, עמידות בפני הלם תרמי ומאפייני זיהום נמוכים, מה שמאריך משמעותית את חיי השירות.
היתרונות הטכניים שלנו:
1. יציבות בטמפרטורה גבוהה במיוחד.
נקודת התכה של 3880°C: ציפוי טנטלום קרביד יכול לפעול ברציפות וביציבות מעל 2500°C, ועולה בהרבה על טמפרטורת הפירוק של 1200-1400°C של ציפויי סיליקון קרביד (SiC) קונבנציונליים.
עמידות בפני הלם תרמי: מקדם ההתפשטות התרמית של הציפוי תואם לזה של מצע הגרפיט (6.6×10-6/K), ויכול לעמוד במחזורי עלייה וירידה מהירים בטמפרטורה עם הפרש טמפרטורות של יותר מ-1000°C כדי למנוע סדקים או נפילה.
תכונות מכניות בטמפרטורה גבוהה: קשיות הציפוי מגיעה ל-2000 HK (קשיות ויקרס) ומודול האלסטיות הוא 537 GPa, והוא עדיין שומר על חוזק מבני מעולה בטמפרטורות גבוהות.
2. עמידות גבוהה בפני קורוזיה כדי להבטיח טוהר התהליך
עמידות מצוינת: יש לו עמידות מצוינת לגזים קורוזיביים כגון H₂, NH₃, SiH₄, HCl ומתכות מותכות (למשל Si, Ga), מבודד לחלוטין את מצע הגרפיט מהסביבה הריאקטיבית ומונע זיהום פחמן.
נדידת זיהומים נמוכה: טוהר גבוה במיוחד, מעכב ביעילות את נדידת החנקן, החמצן וזיהומים אחרים לגביש או לשכבה האפיטקסיאלית, ומפחית את שיעור הפגמים של המיקרו-צינורות ביותר מ-50%.
3. דיוק ברמת ננו לשיפור עקביות התהליך
אחידות ציפוי: סבילות עובי ≤ ± 5%, שטוחות פני השטח מגיעה לרמת ננומטרי, מה שמבטיח עקביות גבוהה של פרמטרי גידול פרוסות או גבישים, שגיאת אחידות תרמית <1%.
דיוק ממדי: תומך בהתאמה אישית של סבילות של ±0.05 מ"מ, מתאים את עצמו לפלים בגודל 4 אינץ' עד 12 אינץ', ועונה על הצרכים של ממשקי ציוד מדויקים.
4. עמיד לאורך זמן, מה שמפחית את העלויות הכוללות
חוזק הדבקה: חוזק ההדבקה בין הציפוי למצע הגרפיט הוא ≥5 MPa, עמיד בפני שחיקה ובלאי, וחיי השירות מוארכים ביותר מפי 3.
תאימות מכונה
מתאים לציוד אפיטקסיאלי וגידול גבישים מיינסטרים כגון CVD, MOCVD, ALD, LPE וכו', הכולל גידול גבישי SiC (שיטת PVT), אפיטקסיה של GaN, הכנת מצע AlN ותרחישים אחרים.
אנו מספקים מגוון צורות של סוספטורים כגון שטוחים, קעורים, קמורים וכו'. ניתן להתאים את העובי (5-50 מ"מ) ואת פריסת חורי המיקום בהתאם למבנה החלל כדי להשיג תאימות חלקה עם הציוד.
יישומים עיקריים:
גידול גבישי SiC: בשיטת PVT, הציפוי יכול לייעל את פיזור השדה התרמי, להפחית פגמי קצה ולהגדיל את שטח הגידול האפקטיבי של הגביש ליותר מ-95%.
אפיטקסיה של GaN: בתהליך MOCVD, שגיאת האחידות התרמית של הספקטור היא <1%, ועקביות עובי השכבה האפיטקסיאלית מגיעה ל-±2%.
הכנת מצע AlN: בתגובת אמינינג בטמפרטורה גבוהה (>2000°C), ציפוי TaC יכול לבודד לחלוטין את מצע הגרפיט, למנוע זיהום פחמן ולשפר את טוהר גביש ה-AlN.
| 碳化钽涂层物理特性物理特性 תכונות פיזיקליות של טאק שִׁכבָה | |
| 密度צפיפות | 14.3 (גרם/סמ"ק) |
| 比辐射率 פליטה ספציפית | 0.3 |
| 热膨胀系数 מקדם התפשטות תרמית | 6.3 10-6/K |
| 努氏硬度/ קשיות (HK) | 2000 הונג קונגי |
| 电阻 / התנגדות | 1×10-5 אוהם*ס"מ |
| 热稳定性 יציבות תרמית | <2500 ℃ |
| 石墨尺寸变化 שינויים בגודל הגרפיט | 10-~20 מיקרון |
| 涂层厚度 עובי ציפוי | ערך טיפוסי של ≥30 מיקרון (35 מיקרון ± 10 מיקרון) |
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd היא מפעל היי-טק המתמקד בפיתוח וייצור של חומרים מתקדמים באיכות גבוהה. החומרים והטכנולוגיה כוללים גרפיט, סיליקון קרביד, קרמיקה, טיפולי שטח כמו ציפוי SiC, ציפוי TaC, ציפוי פחמן זכוכיתי, ציפוי פחמן פירוליטי וכו'. מוצרים אלה נמצאים בשימוש נרחב בתחומי הפוטו-וולטאית, מוליכים למחצה, אנרגיה חדשה, מטלורגיה וכו'.
הצוות הטכני שלנו מגיע ממוסדות מחקר מקומיים מובילים, ופיתח מספר טכנולוגיות פטנטיות כדי להבטיח ביצועי מוצר ואיכות, ויכול גם לספק ללקוחות פתרונות חומרים מקצועיים.
