VET Energy-ийн бие даан боловсруулсан CVD тантал карбид (TaC) бүрэх өргүүрийн мэдрэгч нь хагас дамжуулагч үйлдвэрлэл, LED эпитаксиаль өргүүр (MOCVD), болор өсөлтийн зуух, өндөр температурт вакуум дулааны боловсруулалт гэх мэт хүнд хэцүү нөхцөлд зориулагдсан. бал чулууны субстратын гадаргуу нь тавиурын хэт өндөр температурын тогтвортой байдлыг (>3000℃), хайлсан металлын зэврэлтэнд тэсвэртэй, дулааны цохилтод тэсвэртэй, бохирдол багатай шинж чанарыг өгч, ашиглалтын хугацааг мэдэгдэхүйц уртасгана.
Манай техникийн давуу талууд:
1. Хэт өндөр температурын тогтвортой байдал.
3880°С хайлах цэг: Тантал карбидын бүрээс нь 2500°C-ээс дээш температурт тасралтгүй, тогтвортой ажиллах боломжтой бөгөөд энэ нь ердийн цахиурын карбидын (SiC) задралын температураас 1200-1400°С хол давсан байна.
Дулааны цочролын эсэргүүцэл: Бүрхүүлгийн дулаан тэлэлтийн коэффициент нь бал чулууны суурьтай (6.6×10 -6 /K) таарч, хагарал, унахаас сэргийлж температурын огцом өсөлт, уналтын циклийг 1000 ° C-аас дээш температурын зөрүүтэй тэсвэрлэх чадвартай.
Өндөр температурын механик шинж чанар: Бүрхүүлгийн хатуулаг нь 2000 HK (Виккерсийн хатуулаг) хүрч, уян хатан модуль нь 537 GPa бөгөөд өндөр температурт бүтцийн хувьд маш сайн бат бөх хэвээр байна.
2. Процессын цэвэр байдлыг хангахын тулд зэврэлтэнд маш тэсвэртэй
Маш сайн эсэргүүцэл: Энэ нь H₂, NH₃, SiH₄, HCl зэрэг идэмхий хий болон хайлсан металл (жишээ нь Si, Ga) зэрэгт маш сайн тэсвэртэй бөгөөд бал чулууны субстратыг реактив орчноос бүрэн тусгаарлаж, нүүрстөрөгчийн бохирдлоос сэргийлдэг.
Бохирдол багатай шилжилт: хэт өндөр цэвэршилттэй, азот, хүчилтөрөгч болон бусад хольцын талст эсвэл эпитаксиаль давхарга руу шилжихийг үр дүнтэй дарангуйлж, микротубын согогийн хэмжээг 50% -иас илүү бууруулдаг.
3. Процессын тууштай байдлыг сайжруулахын тулд нано түвшний нарийвчлал
Бүрхүүлгийн жигд байдал: зузаан хүлцэл≤±5%, гадаргуугийн тэгш байдал нь нанометрийн түвшинд хүрч, вафер эсвэл болор өсөлтийн параметрүүдийн өндөр тууштай байдлыг хангах, дулааны жигд байдлын алдаа<1%.
Хэмжээний нарийвчлал: ± 0.05 мм-ийн хүлцлийн тохируулгыг дэмждэг, 4 инчээс 12 инчийн хэмжээтэй вафельд дасан зохицож, өндөр нарийвчлалтай тоног төхөөрөмжийн интерфейсийн хэрэгцээг хангадаг.
4. Удаан эдэлгээтэй, удаан эдэлгээтэй, нийт зардлыг бууруулдаг
Холболтын бат бэх: Бүрхүүл болон бал чулууны субстратыг холбох бат бэх нь ≥5 МПа, элэгдэлд тэсвэртэй, элэгдэлд тэсвэртэй, ашиглалтын хугацаа 3 дахин нэмэгддэг.
Машины нийцтэй байдал
SiC талст өсөлт (PVT арга), GaN эпитакси, AlN субстрат бэлтгэх болон бусад хувилбаруудыг хамарсан CVD, MOCVD, ALD, LPE гэх мэт эпитаксиаль болон талст өсөлтийн үндсэн төхөөрөмжид тохиромжтой.
Бид хавтгай, хотгор, гүдгэр гэх мэт янз бүрийн хэлбэрийн мэдрэгчийг санал болгодог. Зузаан (5-50мм) ба нүхний байршлыг нүхний бүтцээс хамаарч тохируулж, тоног төхөөрөмжтэй нийцтэй байдлыг хангах боломжтой.
Үндсэн програмууд:
SiC болор өсөлт: PVT аргын хувьд бүрхүүл нь дулааны талбайн тархалтыг оновчтой болгож, ирмэгийн согогийг багасгаж, болорын үр дүнтэй өсөлтийн талбайг 95% -иас дээш болгож чадна.
GaN эпитакси: MOCVD процесст мэдрэгчийн дулааны жигд байдлын алдаа <1%, эпитаксиаль давхаргын зузаанын тууштай байдал ±2% хүрдэг.
AlN субстратын бэлтгэл: Өндөр температурт (>2000 ° C) аминжих урвалын үед TaC бүрээс нь бал чулууны субстратыг бүрэн тусгаарлаж, нүүрстөрөгчийн бохирдлоос зайлсхийж, AlN талстыг цэвэршүүлэх боломжтой.
| 碳化钽涂层物理特性物理特性 -ийн физик шинж чанар TaC бүрэх | |
| 密度/ Нягт | 14.3 (г/см³) |
| 比辐射率 / Тусгай ялгаруулах чадвар | 0.3 |
| 热膨胀系数 / Дулааны тэлэлтийн коэффициент | 6.3 10-6/K |
| 努氏硬度/ Хатуулаг (HK) | 2000 Хонконг |
| 电阻 / Эсэргүүцэл | 1×10-5 Ом*см |
| 热稳定性 / Дулааны тогтвортой байдал | <2500℃ |
| 石墨尺寸变化 / Графитын хэмжээ өөрчлөгдөнө | -10~-20ум |
| 涂层厚度 / Бүрээсний зузаан | ≥30um ердийн утга (35um±10um) |
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd нь графит, цахиурын карбид, керамик, SiC бүрэх, TaC бүрэх, шилэн нүүрстөрөгчийн бүрэх, пиролит нүүрстөрөгчийн бүрэх гэх мэт гадаргын боловсруулалт зэрэг өндөр чанартай дэвшилтэт материал, материал, технологийг хөгжүүлэх, үйлдвэрлэхэд чиглэсэн өндөр технологийн аж ахуйн нэгж бөгөөд эдгээр бүтээгдэхүүнийг өргөнөөр ашигладаг.
Манай техникийн баг дотоодын шилдэг эрдэм шинжилгээний байгууллагуудаас ирдэг бөгөөд бүтээгдэхүүний гүйцэтгэл, чанарыг баталгаажуулахын тулд олон патентлагдсан технологи боловсруулсан бөгөөд үйлчлүүлэгчдэд мэргэжлийн материалын шийдлээр хангах боломжтой.
