وي اي ٽي انرجي جو آزاد طور تي تيار ڪيل سي وي ڊي ٽينٽلم ڪاربائيڊ (ٽي سي) ڪوٽنگ ويفر سسپيٽر سخت ڪم ڪندڙ حالتن لاءِ ٺهيل آهي جهڙوڪ سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار، ايل اي ڊي ايپيٽيڪسيل ويفر گروٿ (ايم او سي وي ڊي)، ڪرسٽل گروٿ فرنس، هاءِ-ٽيمپريچر ويڪيوم هيٽ ٽريٽمينٽ، وغيره. ڪيميڪل وانپ ڊپوزيشن (سي وي ڊي) ٽيڪنالاجي ذريعي، گريفائيٽ سبسٽريٽ جي مٿاڇري تي هڪ گهاٽو ۽ هڪجهڙو ٽينٽلم ڪاربائيڊ ڪوٽنگ ٺهيل آهي، جيڪا ٽري کي الٽرا هاءِ ٽمپريچر استحڪام (>3000℃)، پگھليل ڌاتو جي سنکنرن جي مزاحمت، حرارتي جھٽڪي جي مزاحمت ۽ گهٽ آلودگي جون خاصيتون ڏئي ٿي، جيڪا سروس جي زندگي کي خاص طور تي وڌائي ٿي.
اسان جا ٽيڪنيڪل فائدا:
1. انتهائي تيز گرمي پد جي استحڪام.
3880°C پگھلڻ جو نقطو: ٽينٽلم ڪاربائيڊ ڪوٽنگ 2500°C کان مٿي مسلسل ۽ مستحڪم طور تي ڪم ڪري سگهي ٿي، جيڪا روايتي سلڪون ڪاربائيڊ (SiC) ڪوٽنگن جي 1200-1400°C جي خراب ٿيڻ واري درجه حرارت کان تمام گهڻي آهي.
حرارتي جھٽڪي جي مزاحمت: ڪوٽنگ جو حرارتي توسيع جو ڪوئفيشنٽ گريفائيٽ سبسٽريٽ (6.6×10 -6 /K) سان ملندو آهي، ۽ 1000°C کان وڌيڪ گرمي پد جي فرق سان تيز گرمي پد جي واڌ ۽ زوال جي چڪر کي برداشت ڪري سگهي ٿو ته جيئن ٽٽڻ يا گرڻ کان بچي سگهجي.
اعليٰ درجه حرارت جي مشيني خاصيتون: ڪوٽنگ جي سختي 2000 HK (وِڪرز جي سختي) تائين پهچي ٿي ۽ لچڪدار ماڊيولس 537 GPa آهي، ۽ اهو اڃا تائين اعليٰ درجه حرارت تي بهترين ساخت جي طاقت برقرار رکي ٿو.
2. عمل جي پاڪائي کي يقيني بڻائڻ لاءِ انتهائي سنکنرن جي مزاحمتي
بهترين مزاحمت: ان ۾ H₂، NH₃، SiH₄، HCl ۽ پگھليل ڌاتو (مثال طور Si، Ga) جهڙين corrosive گيسن جي خلاف بهترين مزاحمت آهي، جيڪا گريفائيٽ سبسٽريٽ کي رد عمل واري ماحول کان مڪمل طور تي الڳ ڪري ٿي ۽ ڪاربان آلودگي کان بچائي ٿي.
گھٽ نجاست جي منتقلي: انتهائي اعليٰ پاڪائي، نائٽروجن، آڪسيجن ۽ ٻين نجاستن جي ڪرسٽل يا ايپيٽيڪسيل پرت ڏانهن منتقلي کي مؤثر طريقي سان روڪي ٿي، مائڪروٽيوب جي خرابي جي شرح کي 50 سيڪڙو کان وڌيڪ گھٽائي ٿي.
3. عمل جي تسلسل کي بهتر بڻائڻ لاءِ نانو-سطح جي درستگي
ڪوٽنگ جي هڪجهڙائي: ٿلهي رواداري≤±5%، مٿاڇري جي همواري نانو ميٽر جي سطح تائين پهچي ٿي، ويفر يا ڪرسٽل جي واڌ جي پيرا ميٽرز جي اعلي استحڪام کي يقيني بڻائي ٿي، حرارتي هڪجهڙائي جي غلطي <1%.
طول و عرض جي درستگي: ±0.05mm رواداري جي ڪسٽمائيزيشن کي سپورٽ ڪري ٿو، 4 انچ کان 12 انچ ويفرز سان مطابقت رکي ٿو، ۽ اعليٰ درستگي واري سامان جي انٽرفيس جي ضرورتن کي پورو ڪري ٿو.
4. ڊگھي عرصي وارو ۽ پائيدار، مجموعي خرچ گھٽائڻ
بانڊنگ جي طاقت: ڪوٽنگ ۽ گريفائيٽ سبسٽريٽ جي وچ ۾ بانڊنگ جي طاقت ≥5 MPa آهي، جيڪا ڪٽڻ ۽ پائڻ جي مزاحمتي آهي، ۽ سروس جي زندگي 3 ڀيرا کان وڌيڪ وڌي وئي آهي.
مشين جي مطابقت
سي وي ڊي، ايم او سي وي ڊي، اي ايل ڊي، ايل پي اي، وغيره جهڙن مکيه اسٽريم ايپيٽيڪسيل ۽ ڪرسٽل گروٿ جي سامان لاءِ موزون، جيڪي سي آءِ سي ڪرسٽل گروٿ (پي وي ٽي طريقو)، گي اين ايپيٽيڪسي، ايل اين سبسٽريٽ تيار ڪرڻ ۽ ٻين منظرنامي کي ڍڪيندا آهن.
اسان مختلف قسم جي سسپيٽر شڪلون مهيا ڪندا آهيون جهڙوڪ فليٽ، مقعر، محدب، وغيره. ٿولهه (5-50 ملي ميٽر) ۽ پوزيشننگ هول لي آئوٽ کي گفا جي جوڙجڪ جي مطابق ترتيب ڏئي سگهجي ٿو ته جيئن سامان سان بيحد مطابقت حاصل ڪري سگهجي.
مکيه ايپليڪيشنون:
SiC ڪرسٽل جي واڌ: PVT طريقي ۾، ڪوٽنگ حرارتي ميدان جي ورڇ کي بهتر بڻائي سگھي ٿي، ڪنڊ جي خرابين کي گھٽائي سگھي ٿي، ۽ ڪرسٽل جي اثرائتي واڌ واري علائقي کي 95٪ کان وڌيڪ وڌائي سگھي ٿي.
GaN epitaxy: MOCVD عمل ۾، سسپيٽر ٿرمل يونيفارمي غلطي <1٪ آهي، ۽ epitaxial پرت جي ٿولهه جي تسلسل ±2٪ تائين پهچي ٿي.
AlN سبسٽريٽ تيار ڪرڻ: تيز گرمي پد (>2000°C) امينيشن رد عمل ۾، TaC ڪوٽنگ گريفائٽ سبسٽريٽ کي مڪمل طور تي الڳ ڪري سگهي ٿي، ڪاربان آلودگي کان بچي سگهي ٿي، ۽ AlN ڪرسٽل جي پاڪائي کي بهتر بڻائي سگهي ٿي.
| 碳化钽涂层物理特性物理特性 جي جسماني خاصيتون ٽي اي سي ڪوٽنگ | |
| 密度/ کثافت | 14.3 (گرام/سينٽي ميٽر³) |
| 比辐射率 / مخصوص اخراج | 0.3 |
| 热膨胀系数 / حرارتي توسيع جي کوٽائي | 6.3 10-6/K |
| 努氏硬度/ سختي (HK) | 2000 هانگ ڪانگ |
| ڄڃ / مزاحمت | 1 × 10-5 اوهم*سينٽي ميٽر |
| 热稳定性 / حرارتي استحڪام | <2500 ℃ |
| 石墨尺寸变化 / گريفائيٽ جي سائيز ۾ تبديليون | -10~-20م |
| 涂层厚度 / ڪوٽنگ جي ٿلهي | ≥30um عام قدر (35um±10um) |
ننگبو وي اي ٽي انرجي ٽيڪنالاجي ڪمپني لميٽيڊ هڪ اعليٰ ٽيڪنالاجي ڪمپني آهي جيڪا اعليٰ درجي جي جديد مواد جي ترقي ۽ پيداوار تي ڌيان ڏئي ٿي، مواد ۽ ٽيڪنالاجي جنهن ۾ گريفائٽ، سلڪون ڪاربائيڊ، سيرامڪس، مٿاڇري جي علاج جهڙوڪ سي آءِ سي ڪوٽنگ، ٽي اي سي ڪوٽنگ، شيشي ڪاربن ڪوٽنگ، پائروليٽڪ ڪاربن ڪوٽنگ وغيره شامل آهن، اهي شيون فوٽووولٽڪ، سيمي ڪنڊڪٽر، نئين توانائي، ڌاتو سازي وغيره ۾ وڏي پيماني تي استعمال ٿينديون آهن.
اسان جي ٽيڪنيڪل ٽيم اعليٰ گهريلو تحقيقي ادارن مان آهي، ۽ پيداوار جي ڪارڪردگي ۽ معيار کي يقيني بڻائڻ لاءِ ڪيتريون ئي پيٽنٽ ٿيل ٽيڪنالاجيون تيار ڪيون آهن، گراهڪن کي پيشه ورانه مواد حل پڻ فراهم ڪري سگهن ٿيون.
