ຕົວຮັບການເຄືອບແຜ່ນແທນທາລຳຄາໄບ (TaC) CVD ທີ່ພັດທະນາຂຶ້ນຢ່າງເປັນອິດສະຫຼະຂອງ VET Energy ຖືກອອກແບບມາສຳລັບສະພາບການເຮັດວຽກທີ່ຮຸນແຮງ ເຊັ່ນ: ການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳ, ການເຕີບໂຕແຜ່ນ LED epitaxial (MOCVD), ເຕົາເຜົາຜລຶກ, ການບຳບັດຄວາມຮ້ອນດ້ວຍສູນຍາກາດອຸນຫະພູມສູງ, ແລະອື່ນໆ. ຜ່ານເທັກໂນໂລຢີການວາງໄອເຄມີ (CVD), ການເຄືອບແຜ່ນແທນທາລຳຄາໄບທີ່ໜາແໜ້ນ ແລະ ເປັນເອກະພາບຈະຖືກສ້າງຂຶ້ນຢູ່ເທິງໜ້າດິນຂອງຊັ້ນຮອງແຜ່ນແກຣໄຟ, ເຮັດໃຫ້ຖາດມີຄວາມໝັ້ນຄົງໃນອຸນຫະພູມສູງພິເສດ (>3000℃), ທົນທານຕໍ່ການກັດກ່ອນຂອງໂລຫະທີ່ລະລາຍ, ທົນທານຕໍ່ການກະແທກຄວາມຮ້ອນ ແລະ ລັກສະນະມົນລະພິດຕ່ຳ, ເຊິ່ງຍືດອາຍຸການໃຊ້ງານໄດ້ຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ.
ຂໍ້ໄດ້ປຽບທາງດ້ານເຕັກນິກຂອງພວກເຮົາ:
1. ຄວາມໝັ້ນຄົງໃນອຸນຫະພູມສູງຫຼາຍ.
ຈຸດລະລາຍ 3880°C: ການເຄືອບ Tantalum carbide ສາມາດເຮັດວຽກໄດ້ຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງ ແລະ ໝັ້ນຄົງສູງກວ່າ 2500°C, ເຊິ່ງເກີນອຸນຫະພູມການເນົ່າເປື່ອຍ 1200-1400°C ຂອງການເຄືອບ silicon carbide (SiC) ແບບດັ້ງເດີມ.
ຄວາມຕ້ານທານການຊ໊ອກຄວາມຮ້ອນ: ສຳປະສິດການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນຂອງການເຄືອບກົງກັບຂອງຊັ້ນຮອງ graphite (6.6 × 10 -6 /K), ແລະສາມາດທົນທານຕໍ່ວົງຈອນການເພີ່ມຂຶ້ນແລະຫຼຸດລົງຂອງອຸນຫະພູມຢ່າງໄວວາທີ່ມີຄວາມແຕກຕ່າງຂອງອຸນຫະພູມຫຼາຍກວ່າ 1000°C ເພື່ອຫຼີກເວັ້ນການແຕກຫຼືຫຼົ່ນອອກ.
ຄຸນສົມບັດກົນຈັກອຸນຫະພູມສູງ: ຄວາມແຂງຂອງຊັ້ນເຄືອບສູງເຖິງ 2000 HK (ຄວາມແຂງຂອງ Vickers) ແລະໂມດູລັດຍືດหยุ่นແມ່ນ 537 GPa, ແລະມັນຍັງຄົງຮັກສາຄວາມແຂງແຮງຂອງໂຄງສ້າງທີ່ດີເລີດໃນອຸນຫະພູມສູງ.
2. ທົນທານຕໍ່ການກັດກ່ອນສູງເພື່ອຮັບປະກັນຄວາມບໍລິສຸດຂອງຂະບວນການ
ຄວາມຕ້ານທານທີ່ດີເລີດ: ມັນມີຄວາມຕ້ານທານທີ່ດີເລີດຕໍ່ກັບອາຍແກັສທີ່ກັດກ່ອນເຊັ່ນ: H₂, NH₃, SiH₄, HCl ແລະໂລຫະທີ່ລະລາຍ (ເຊັ່ນ: Si, Ga), ແຍກພື້ນຖານແກຣໄຟອອກຈາກສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີປະຕິກິລິຍາຢ່າງສົມບູນ ແລະ ຫຼີກເວັ້ນການປົນເປື້ອນຄາບອນ.
ການເຄື່ອນຍ້າຍຂອງສິ່ງປົນເປື້ອນຕໍ່າ: ຄວາມບໍລິສຸດສູງຫຼາຍ, ຍັບຍັ້ງການເຄື່ອນຍ້າຍຂອງໄນໂຕຣເຈນ, ອົກຊີເຈນ ແລະ ສິ່ງປົນເປື້ອນອື່ນໆໄປສູ່ຊັ້ນຜລຶກ ຫຼື ຊັ້ນ epitaxial ໄດ້ຢ່າງມີປະສິດທິພາບ, ຫຼຸດອັດຕາການຜິດປົກກະຕິຂອງທໍ່ຂະໜາດນ້ອຍລົງຫຼາຍກວ່າ 50%.
3. ຄວາມແມ່ນຍໍາລະດັບນາໂນເພື່ອປັບປຸງຄວາມສອດຄ່ອງຂອງຂະບວນການ
ຄວາມເປັນເອກະພາບຂອງການເຄືອບ: ຄວາມທົນທານຂອງຄວາມໜາ ≤± 5%, ຄວາມຮາບພຽງຂອງພື້ນຜິວບັນລຸລະດັບນາໂນແມັດ, ຮັບປະກັນຄວາມສອດຄ່ອງສູງຂອງຕົວກໍານົດການເຕີບໃຫຍ່ຂອງແຜ່ນເວເຟີ ຫຼື ຜລຶກ, ຄວາມຜິດພາດຂອງຄວາມເປັນເອກະພາບທາງຄວາມຮ້ອນ <1%.
ຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງມິຕິ: ຮອງຮັບການປັບແຕ່ງຄວາມທົນທານ ±0.05 ມມ, ສາມາດປັບຕົວເຂົ້າກັບແຜ່ນເວເຟີຂະໜາດ 4 ນິ້ວຫາ 12 ນິ້ວ, ແລະ ຕອບສະໜອງຄວາມຕ້ອງການຂອງອຸປະກອນທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ.
4. ໃຊ້ໄດ້ດົນ ແລະ ທົນທານ, ຫຼຸດຜ່ອນຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໂດຍລວມ
ຄວາມແຮງຂອງການຍຶດຕິດ: ຄວາມແຮງຂອງການຍຶດຕິດລະຫວ່າງຊັ້ນເຄືອບ ແລະ ຊັ້ນຮອງພື້ນກາໄຟແມ່ນ ≥5 MPa, ທົນທານຕໍ່ການກັດເຊາະ ແລະ ການສວມໃສ່, ແລະ ອາຍຸການໃຊ້ງານໄດ້ຍາວກວ່າ 3 ເທົ່າ.
ຄວາມເຂົ້າກັນໄດ້ຂອງເຄື່ອງ
ເໝາະສຳລັບອຸປະກອນການເຕີບໃຫຍ່ຂອງຜລຶກ ແລະ ຜລຶກເຊັ່ນ: CVD, MOCVD, ALD, LPE, ແລະອື່ນໆ, ເຊິ່ງກວມເອົາການເຕີບໃຫຍ່ຂອງຜລຶກ SiC (ວິທີ PVT), ການເຕີບໃຫຍ່ຂອງ GaN, ການກະກຽມຊັ້ນໃຕ້ດິນ AlN ແລະ ສະຖານະການອື່ນໆ.
ພວກເຮົາສະໜອງຮູບຊົງຂອງຕົວຮັບທີ່ຫຼາກຫຼາຍເຊັ່ນ: ຮາບພຽງ, ໂຄ້ງ, ນູນ, ແລະອື່ນໆ. ຄວາມໜາ (5-50 ມມ) ແລະ ການຈັດລຽງຮູສາມາດປັບໄດ້ຕາມໂຄງສ້າງຂອງຊ່ອງເພື່ອໃຫ້ເຂົ້າກັນໄດ້ກັບອຸປະກອນຢ່າງລຽບງ່າຍ.
ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກຫຼັກ:
ການເຕີບໂຕຂອງຜລຶກ SiC: ໃນວິທີການ PVT, ການເຄືອບສາມາດເພີ່ມປະສິດທິພາບການແຈກຢາຍພາກສະໜາມຄວາມຮ້ອນ, ຫຼຸດຜ່ອນຂໍ້ບົກຜ່ອງຂອງຂອບ, ແລະເພີ່ມພື້ນທີ່ການເຕີບໂຕທີ່ມີປະສິດທິພາບຂອງຜລຶກໃຫ້ຫຼາຍກວ່າ 95%.
ການແບ່ງຊັ້ນ GaN epitaxy: ໃນຂະບວນການ MOCVD, ຄວາມຜິດພາດຂອງຄວາມເປັນເອກະພາບທາງຄວາມຮ້ອນຂອງຕົວຮັບແມ່ນ <1%, ແລະຄວາມສອດຄ່ອງຂອງຄວາມໜາຂອງຊັ້ນ epitaxial ບັນລຸ ±2%.
ການກະກຽມຊັ້ນ AlN: ໃນປະຕິກິລິຍາອາມີເນຊັນທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ (>2000°C), ການເຄືອບ TaC ສາມາດແຍກຊັ້ນ graphite ໄດ້ຢ່າງສົມບູນ, ຫຼີກລ່ຽງການປົນເປື້ອນຂອງຄາບອນ, ແລະປັບປຸງຄວາມບໍລິສຸດຂອງຜລຶກ AlN.
| 碳化钽涂层物理特性物理特性 ຄຸນສົມບັດທາງກາຍະພາບຂອງ TaC ການເຄືອບ | |
| 密度/ ຄວາມໜາແໜ້ນ | 14.3 (ກຣາມ/ຊມ³) |
| 比辐射率 / ການປ່ອຍອາຍພິດສະເພາະ | 0.3 |
| 热膨胀系数 / ສຳປະສິດການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນ | 6.3 10-6/K |
| 努氏硬度/ ຄວາມແຂງ (HK) | 2000 ຮົງກົງ |
| 电阻 / ຄວາມຕ້ານທານ | 1 × 10-5 ໂອມ*ຊມ |
| 热稳定性 / ຄວາມໝັ້ນຄົງທາງຄວາມຮ້ອນ | <2500℃ |
| 石墨尺寸变化 / ການປ່ຽນແປງຂະໜາດຂອງກຣາໄຟ | -10~-20um |
| 涂层厚度 ຄວາມໜາຂອງເຄືອບ | ຄ່າປົກກະຕິ ≥30um (35um ± 10um) |
ບໍລິສັດ ໜິງໂປ ເວດ ພະລັງງານ ເທັກໂນໂລຢີ ຈຳກັດ ເປັນວິສາຫະກິດເທັກໂນໂລຢີທີ່ສຸມໃສ່ການພັດທະນາ ແລະ ການຜະລິດວັດສະດຸທີ່ທັນສະໄໝລະດັບສູງ, ວັດສະດຸ ແລະ ເທັກໂນໂລຢີດັ່ງກ່າວລວມມີ ແກຣໄຟ, ຊິລິກອນ ຄາໄບ, ເຊລາມິກ, ການເຄືອບພື້ນຜິວເຊັ່ນ: ການເຄືອບ SiC, ການເຄືອບ TaC, ການເຄືອບຄາບອນແກ້ວ, ການເຄືອບຄາບອນໄພໂຣໄລຕິກ, ແລະອື່ນໆ, ຜະລິດຕະພັນເຫຼົ່ານີ້ຖືກນຳໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນການຜະລິດພະລັງງານແສງຕາເວັນ, ເຄິ່ງຕົວນຳ, ພະລັງງານໃໝ່, ໂລຫະວິທະຍາ, ແລະອື່ນໆ.
ທີມງານດ້ານວິຊາການຂອງພວກເຮົາມາຈາກສະຖາບັນຄົ້ນຄວ້າພາຍໃນປະເທດຊັ້ນນໍາ, ແລະ ໄດ້ພັດທະນາເຕັກໂນໂລຢີທີ່ໄດ້ຮັບສິດທິບັດຫຼາຍຢ່າງເພື່ອຮັບປະກັນປະສິດທິພາບ ແລະ ຄຸນນະພາບຂອງຜະລິດຕະພັນ, ຍັງສາມາດໃຫ້ລູກຄ້າມີວິທີແກ້ໄຂດ້ານວັດສະດຸແບບມືອາຊີບ.
