VET Energy's tsy miankina novolavolaina CVD tantalum carbide (TaC) coating wafer susceptor dia natao ho an'ny toe-javatra henjana toy ny semiconductor famokarana, LED epitaxial wafer fitomboana (MOCVD), kristaly fitomboana lafaoro, avo-temperature vacuum fitsaboana hafanana, sns Amin'ny alalan'ny simika etona deposition (CVD) teknolojia, ny endrika matevina sy fanamiana tantagraph coating ny tantalum carbide. substrate, manome ny fitoeran-javatra ultra-avo ny mari-pana fahamarinan-toerana (> 3000 ℃), fanoherana ny vy vy harafesiny, mafana fahatafintohinana fanoherana sy ny ambany loto toetra, be fanitarana ny fiainana fanompoana.
Ny tombony ara-teknika:
1. Fiorenan'ny mari-pana ambony indrindra.
3880 ° C teboka mitsonika: Tantalum carbide coating dia afaka miasa tsy tapaka sy stably ambonin'ny 2500 ° C, lavitra mihoatra ny 1200-1400 ° C mari-pana decomposition ny mahazatra silisiôma carbide coatings (SiC).
Ny fanoherana ny fahatafintohinana mafana: Ny coefficient fanitarana mafana amin'ny coating dia mifanandrify amin'ny substrate graphite (6.6 × 10 -6 / K), ary mahatohitra ny fiakaran'ny mari-pana sy ny fianjerana haingana miaraka amin'ny fahasamihafana amin'ny hafanana mihoatra ny 1000 ° C mba tsy hikorontana na hianjera.
Toetra mekanika amin'ny mari-pana ambony: Ny hamafin'ny coating dia mahatratra 2000 HK (hardness Vickers) ary ny modulus elastika dia 537 GPa, ary mbola mitazona hery ara-drafitra tsara amin'ny hafanana ambony.
2. Tena mahatohitra harafesina mba hiantohana ny fahadiovan'ny dingana
Tena tsara fanoherana: Manana fanoherana tsara amin'ny entona manimba toy ny H₂, NH₃, SiH₄, HCl ary metaly voarendrika (ohatra Si, Ga), mitoka-monina tanteraka ny substrate graphite amin'ny tontolo mihetsika ary misoroka ny fandotoana karbaona.
Low fifindra-monina loto: Ultra-avo ny fahadiovana, mahomby manakana ny fifindra-monina ny azota, oksizenina sy ny loto hafa ny kristaly na epitaxial sosona, fampihenana ny kilema tahan'ny microtubes mihoatra ny 50%.
3. Nano-ambaratonga mazava tsara mba hanatsarana ny dingana tsy miovaova
Coating fanamiana: hateviny tolerance≤±5%, ambonin'ny fisaka mahatratra nanometer haavon'ny, miantoka avo tsy miovaova ny wafer na kristaly fitomboana masontsivana, mafana fanamiana fahadisoana <1%.
Fahamarinan'ny refy: manohana ± 0.05mm fandeferana customization, adapts amin'ny 4-mirefy ny 12-mirefy wafers, ary mahafeno ny filan'ny fitaovana avo lenta interface tsara.
4. Maharitra sy maharitra, mampihena ny fandaniana amin'ny ankapobeny
Hery fatorana: Ny tanjaky ny fatorana eo amin'ny coating sy ny substrate graphite dia ≥5 MPa, mahatohitra ny erosion sy ny fitafy, ary ny fiainana fanompoana dia miitatra mihoatra ny in-3.
Mifanaraka amin'ny milina
Mety amin'ny fitaovana fitomboan'ny epitaxial sy kristaly mahazatra toy ny CVD, MOCVD, ALD, LPE, sns., mandrakotra ny fitomboan'ny kristaly SiC (fomba PVT), epitaxy GaN, fanomanana substrate AlN ary toe-javatra hafa.
Manome isan-karazany ny susceptor endrika toy ny fisaka, concave, convex, sns Ny hateviny (5-50mm) sy ny fametrahana ny lavaka dia azo ahitsy araka ny firafitry ny lavaka mba hahazoana seamless mifanaraka amin'ny fitaovana.
Fampiharana lehibe:
Fitomboan'ny kristaly SiC: Amin'ny fomba PVT, ny coating dia afaka manatsara ny fizarana mafana amin'ny sehatra mafana, mampihena ny lesoka amin'ny sisiny, ary mampitombo ny faritra mitombo amin'ny kristaly ho mihoatra ny 95%.
GaN epitaxy: Ao amin'ny dingan'ny MOCVD, ny hadisoan'ny fanamiana hafanana mafana dia <1%, ary ny tsy fitoviana amin'ny hatevin'ny epitaxial dia mahatratra ± 2%.
AlN substrate fanomanana: Amin'ny hafanana avo (> 2000 ° C) amination fanehoan-kevitra, ny TaC coating dia afaka mitoka-monina tanteraka ny graphite substrate, hisorohana ny fandotoana karbaona, ary hanatsara ny fahadiovan'ny AlN kristaly.
| 碳化钽涂层物理特性物理特性 Toetra ara-batana ny TaC coating | |
| 密度/ Hateza | 14.3 (g/cm³) |
| 比辐射率 / Emissivité manokana | 0.3 |
| 热膨胀系数 / Ny fanitarana hafanana | 6.3 10-6/K |
| 努氏硬度/ Hamafin'ny (HK) | 2000 HK |
| 电阻 / Fanoherana | 1×10-5 ohm*cm |
| 热稳定性 / Fahamarinan'ny hafanana | <2500 ℃ |
| 石墨尺寸变化 / Fiovana ny haben'ny grafita | -10~-20um |
| 涂层厚度 / Hatevin'ny coating | ≥30um sanda mahazatra (35um±10um) |
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd dia orinasa teknolojia avo lenta mifantoka amin'ny fampandrosoana sy ny famokarana fitaovana avo lenta avo lenta, ny fitaovana sy ny teknolojia anisan'izany ny grafit, silisiôma carbide, seramika, ambonin'ny fitsaboana toy ny SiC coating, TaC coating, glassy karbaona coating, pyrolytic karbonika coating, sns, ireo vokatra dia be mpampiasa amin'ny photovoltaic, semiconductor, angovo vaovao, angovo vaovao.
Ny ekipa ara-teknika dia avy amin'ny andrim-pikarohana ambony ao an-toerana, ary namolavola teknolojia patentina maro mba hiantohana ny fahombiazan'ny vokatra sy ny kalitao, dia afaka manome vahaolana ara-pitaovana matihanina ihany koa ny mpanjifa.
