Önüm barada maglumat we maslahat üçin web sahypamyza hoş geldiňiz.
Web sahypamyz:https://www.vet-china.com/
Poli we SiO2-niň aşındyrylmagy:
Mundan soň, artykmaç Poli we SiO2 oýulyp aýrylýar, ýagny aýrylýar. Bu wagtda, ugurlyoýmaulanylýar. Oýmaklygyň klassifikasiýasynda ugurly oýmak we ugursyz oýmak klassifikasiýalary bar. Ugurly oýmak şuňa degişlidiroýmabelli bir ugurda, ugursyz aşındyrma bolsa ugursyzdyr (men tötänleýin köp aýtdym. Gysgaça aýdylanda, bu SiO2-ni belli bir ugurda belli bir kislotalar we esaslar arkaly aýyrmakdyr). Bu mysalda, biz SiO2-ni aýyrmak üçin aşaky ugurly aşındyrmany ulanýarys we ol şeýle bolýar.
Ahyrsoňy, fotorezisti aýyryň. Häzirki wagtda fotorezisti aýyrmagyň usuly ýokarda agzalan ýagtylyk şöhlelendirmesi arkaly däl-de, beýleki usullar arkaly işjeňleşdirmekdir, sebäbi häzirki wagtda belli bir ululygy kesgitlemegiň zerurlygy ýok, eýsem ähli fotorezisti aýyrmagyň zerurlygy bar. Ahyrsoňy, aşakdaky suratda görkezilişi ýaly bolýar.
Şeýlelik bilen, biz Poly SiO2-niň belli bir ýerini saklamak maksadyna ýetdik.
Çeşmäniň we drenažyň emele gelmegi:
Ahyrsoňy, çeşme we drenajyň nähili emele gelýändigine seredeliň. Geçen sanynda bu barada gürrüň edendigimizi hemmeler henizem ýadynda saklaýar. Çeşme we drenaj bir görnüşli elementler bilen ion arkaly ýerleşdirilen. Häzirki wagtda, N görnüşli ýerleşdirilmeli çeşme/drenaž zolagyny açmak üçin fotorezist ulanyp bileris. Diňe NMOS-y mysal hökmünde alýandygymyz üçin, aşakdaky suratda görkezilişi ýaly, ýokardaky suratdaky ähli bölekler açylar.
Fotorezist bilen örtülen bölegi implantasiýa edip bolmaýandygy sebäpli (çyranyň şöhlesi ýapyk), N-tipli elementler diňe zerur NMOS-a implantasiýa ediler. Poliniň aşagyndaky substrat poli we SiO2 tarapyndan ýapyk bolandygy sebäpli, ol implantasiýa edilmez, şonuň üçin ol şeýle bolýar.
Şu wagta çenli ýönekeý MOS modeli döredildi. Teoriýa boýunça, çeşmä, drenaj, poli we substrata naprýaženiýe goşulsa, bu MOS işläp biler, ýöne biz diňe zond alyp, çeşmä we drenaja naprýaženiýe goşup bilmeris. Şu wagta çenli MOS simleri gerek, ýagny bu MOS-da köp MOS-lary birleşdirmek üçin simleri birikdiriň. Simleri birikdirmek prosesine göz aýlalyň.
Ýöriteleşdiriş:
Ilkinji ädim, aşakdaky suratda görkezilişi ýaly, tutuş MOS-y SiO2 gatlagy bilen örtmekdir:
Elbetde, bu SiO2 CVD tarapyndan öndürilýär, sebäbi ol örän çalt we wagty tygşytlaýar. Aşakda fotorezist goýmak we açmak prosesi dowam edýär. Gutarandan soň, ol şeýle görünýär.
Soňra aşakdaky suratdaky çal reňkli bölekde görkezilişi ýaly, SiO2-de deşik açmak üçin aşındyrma usulyny ulanyň. Bu deşigiň çuňlugy Si ýüzüne gönüden-göni degýär.
Ahyrsoňy, fotorezisti aýryň we aşakdaky görnüşi alyň.
Häzirki wagtda edilmeli zat şu deşikdäki geçirijini doldurmakdyr. Bu geçiriji näme? Her kompaniýa dürli-dürli, olaryň köpüsi wolfram garyndylaryndan ýasalandyr, şonuň üçin bu deşigi nädip dolduryp bolýar? PVD (Fiziki bug çökündisi) usuly ulanylýar we prinsip aşakdaky surata meňzeş.
Nyşana materialy bombalamak üçin ýokary energiýaly elektronlary ýa-da ionlary ulanyň, şonda döwülen nyşana material atomlar görnüşinde aşak düşer we şeýlelik bilen aşakdaky örtügi emele getirer. Habarlarda adatça görýän nyşana materialymyz bu ýerdäki nyşana materiala degişlidir.
Deşigi doldurandan soň, ol şeýle görünýär.
Elbetde, ony dolduranymyzda, örtügiň galyňlygyny deşigiň çuňlugyna doly deňleşdirmek mümkin däl, şonuň üçin biraz artykmaçlyk bolar, şonuň üçin biz CMP (Himiki Mehaniki Jilalama) tehnologiýasyny ulanýarys, bu örän ýokary derejeli ýaly bolup görünýär, ýöne aslynda ol artykmaç bölekleri üweýär, üweýär. Netije şeýle.
Bu tapgyrda biz wia gatlagynyň önümçiligini tamamladyk. Elbetde, wia önümçiligi, esasan, arkasyndaky metal gatlagyň simlerini çekmek üçindir.
Metall gatlak önümçiligi:
Ýokardaky şertlerde, biz başga bir metal gatlagyny çuňlaşdyrmak üçin PVD ulanýarys. Bu metal, esasan, mis esasly garyndydyr.
Soňra eksponasiýadan we oýup ýasalandan soň, isleýän zadymyzy alýarys. Soňra zerurlyklarymyzy kanagatlandyrýança üýşürmäge dowam edýäris.
Biz dizaýny çyzanymyzda, ulanylan proses arkaly iň köp näçe gat metalyň üst-üste goýulyp bilinjekdigini, bu bolsa onuň näçe gat üstü goýulyp bilinjekdigini aýdarys.
Ahyrsoňy, biz şu gurluşy alýarys. Üstki ýapgyç bu çipiň ştiftidir we gaplanandan soň, ol biziň görüp bilýän ştiftimize öwrülýär (elbetde, men ony tötänleýin çekdim, munuň amaly ähmiýeti ýok, diňe mysal üçin).
Bu çip ýasamagyň umumy prosesi. Bu sanda biz ýarymgeçiriji guýma önümçiliginde iň möhüm ekspozisiýa, aşındyrma, ion implantasiýa, peç turbalary, CVD, PVD, CMP we ş.m. barada öwrendik.
Ýerleşdirilen wagty: 2024-nji ýylyň 23-nji awgusty