Ki teknoloji sipò ki pi enpòtan pou semi-kondiktè yo?

Nan dènye ane sa yo, aplikasyon materyèl SiC nan endistri semi-kondiktè a ogmante piti piti, sitou nan elektwonik pouvwa, aparèy optoelektwonik ak ekipman wo frekans, kote aplikasyon yo vin pi laj. SiC, ak dite ekstrèmman wo li, ekselan estabilite tèmik ak bon pwopriyete elektrik, li vin tounen yon altènatif enpòtan pou materyèl Silisyòm (Si) nan endistri a. Sepandan, pou reyalize yon pwodiksyon efikas ak kalite siperyè nan aparèy SiC, anplis de egzijans strik pou pwosesis fabrikasyon wafer SiC yo, teknoloji sipò wafer la pa ka inyore tou. Nan pwosesis sa a, wòl SiC Wafer Holder la vin patikilyèman enpòtan.

A SiC Wafer Holderse yon aparèy ki fèt espesyalman pou sipòte ak fikse wafer SiC yo. Wafer yo bezwen pase nan plizyè pwosesis nan pwosesis fabrikasyon semi-kondiktè yo, tankou depo vapè chimik (CVD), depo fim mens, fotolitografi, grave, elatriye. Tout pwosesis sa yo mande yon pozisyonman presi ak yon sipò ki estab pou wafer yo. Sipò Wafer SiC la fèt avèk presizyon pou bay yon sipò ki estab, pou asire ke wafer yo pa deplase, pliye oswa defòme pandan pwosesis sa yo. Akòz dite ekstrèmman wo ak rezistans tanperati ki wo nan materyèl SiC a, sipò Wafer SiC yo anjeneral fèt ak materyèl ki gen rezistans tanperati ki wo ak rezistans korozyon, epi yo bezwen gen bon konduktivite tèmik ak estabilite chimik.

Nan pwosesis fabrikasyon semi-kondiktè yo, waf SiC yo anjeneral bezwen trete nan yon anviwònman ki gen tanperati ki wo ak presyon ki wo. Nan kondisyon pwosesis sa yo, waf yo fasil sibi enfliyans enpak fizik ekstèn, ekspansyon tèmik ak lòt faktè, sa ki ka lakòz defòmasyon, reyur oswa kontaminasyon waf yo. Wòl Sipò Waf SiC la se jisteman pou anpeche pwoblèm sa yo rive grasa yon fòs sipò ki solid ak ki estab.

Aplikasyon

• CVD (Depozisyon Vapè Chimik): Nan pwosesis CVD a, li ka bay yon sipò pozisyonman presi pou waf la, pou asire yon depo inifòm fim nan nan atmosfè a.
• Litografi ak Gravure: Li ka asire aliyman egzak wafer la, evite modèl konpanse ak asimetri, epi garanti presizyon efè grave a.
• PVD: Nan pwosesis tankou PVD ak pulverizasyon, li nesesè pou bay bon sipò epi tou pou kapab reziste enpak patikil ki gen anpil enèji pou kenbe yon pèfòmans ki estab.
• Tès ak Anbalaj: Pandan tès ak anbalaj aparèy semi-kondiktè yo, espesyalman nan tès aparèy ki gen gwo frekans ak gwo puisans, yon sistèm sipò ki trè presi nesesè.