Mumakore achangopfuura, kushandiswa kwezvinhu zveSiC muindasitiri yesemiconductor kwakawedzera zvishoma nezvishoma, kunyanya mumagetsi emagetsi, zvishandiso zve optoelectronic uye michina ye high-frequency, uko kushandiswa kwazvo kwave kupararira zvakanyanya. SiC, nekuoma kwayo kwakanyanya, kugadzikana kwekupisa kwakanaka uye hunhu hwakanaka hwemagetsi, yave imwe nzira yakakosha pane zvinhu zvesilicon (Si) muindasitiri. Zvisinei, kuti uwane kugadzirwa kwakanaka uye kwemhando yepamusoro kwezvigadzirwa zveSiC, pamusoro pekuve nezvinodiwa zvakasimba zvekugadzira mawafer eSiC, tekinoroji yekutsigira wafer haigone kuregeredzwa futi. Mukuita uku, basa reSiC Wafer Holder rinova rakakosha zvikuru.
A Chibatiso cheSiC Wafermudziyo wakagadzirirwa kutsigira nekugadzirisa mawafer eSiC. Mawafer anofanira kuita mabasa akawanda mukugadzira ma semiconductor, anosanganisira chemical vapor deposition (CVD), thin film deposition, photolithography, etching, nezvimwewo. Maitiro ese aya anoda nzvimbo chaiyo uye rutsigiro rwakagadzikana rwemawafer. SiC Wafer Holder yakagadzirwa nemazvo kuti ipe rutsigiro rwakagadzikana, ichiva nechokwadi chekuti mawafer haachinji, haakotame kana kukanganisika panguva yemaitiro aya. Nekuda kwekuoma kwakanyanya uye kuramba kupisa kwakanyanya kwezvinhu zveSiC, mawafer eSiC anowanzo gadzirwa nezvinhu zvine kuramba kupisa kwakanyanya uye kuramba ngura, uye zvinoda kuva nekupisa kwakanaka uye kugadzikana kwemakemikari.
Mukugadzirwa kwemasemiconductor, mawafer eSiC anowanzo fanirwa kugadziriswa munzvimbo inodziya zvakanyanya uye ine kumanikidzwa kwakanyanya. Pasi pemamiriro ezvinhu aya, mawafer anowanzo kukanganiswa nekunze, kuwedzera kwekupisa nezvimwe zvinhu, zvichikonzera kuchinjika, kukwenya kana kusvibiswa kwemawafer. Basa reSiC Wafer Holder nderekudzivirira matambudziko aya kuti asaitike nekupa simba rekutsigira rakasimba uye rakagadzikana.
Kushandiswa
- CVD (Chemical Vapor Deposition): Mukuita kweCVD, inogona kupa rutsigiro rwakarurama rwekugadzika kwewafer, ichivimbisa kuiswa kwakafanana kwefirimu mumhepo.
- Lithography uye Etching: Inogona kuve nechokwadi chekuti wafer yakanyatsorongeka, kudzivirira maitiro asina kuenzana uye asina kuenzana, uye kuvimbisa kururama kwemhedzisiro ye etching
- PVD: Mumaitiro akadai sePVD uye kuputika, zvakakosha kupa rutsigiro rwakanaka uye kukwanisa kutsungirira kukanganiswa kwezvikamu zvine simba rakawanda kuti urambe uchishanda zvakanaka.
- Kuedza uye Kurongedza: Panguva yekuyedza uye kurongedza zvishandiso zve semiconductor, kunyanya pakuyedza zvishandiso zvine frequency uye zvine simba guru, sisitimu yekutsigira yakanyatsojeka inodiwa.
Nguva yekutumira: Nyamavhuvhu-08-2025