Lilemong tsa morao tjena, ts'ebeliso ea lisebelisoa tsa SiC indastering ea semiconductor e eketsehile butle-butle, haholo-holo lisebelisoa tsa motlakase, lisebelisoa tsa optoelectronic le lisebelisoa tsa maqhubu a phahameng, moo ts'ebeliso ea tsona e atileng haholo. SiC, ka thata ea eona e phahameng haholo, botsitso bo botle ba mocheso le thepa e ntle ea motlakase, e fetohile mokhoa o mong oa bohlokoa bakeng sa lisebelisoa tsa silicon (Si) indastering. Leha ho le joalo, ho fihlela tlhahiso e sebetsang hantle le ea boleng bo holimo ea lisebelisoa tsa SiC, ntle le ho ba le litlhoko tse thata bakeng sa ts'ebetso ea tlhahiso ea li-wafer tsa SiC, theknoloji ea tšehetso ea wafer le eona e ke ke ea hlokomolohuoa. Ts'ebetsong ena, karolo ea Mohlokomeli oa Wafer oa SiC e ba ea bohlokoa haholo.
A Setshwari sa Wafer sa SiCke sesebelisoa se etselitsoeng ka ho khetheha ho tšehetsa le ho lokisa li-wafer tsa SiC. Li-wafer li hloka ho feta lits'ebetsong tse ngata ts'ebetsong ea tlhahiso ea semiconductor, ho kenyeletsoa le ho beoa ha mouoane oa lik'hemik'hale (CVD), ho beoa ha filimi e tšesaane, photolithography, ho fata, jj. Ts'ebetso tsena kaofela li hloka ho beoa hantle le tšehetso e tsitsitseng ea li-wafer. Sehokelo sa SiC Wafer se etselitsoe ka nepo ho fana ka tšehetso e tsitsitseng, ho netefatsa hore li-wafer ha li sisinyehe, ha li kobehe kapa ha li senyehe nakong ea lits'ebetso tsena. Ka lebaka la ho thatafala ho hoholo haholo le ho hanyetsa mocheso o phahameng oa thepa ea SiC, lihokelo tsa SiC Wafer hangata li entsoe ka thepa e nang le khanyetso e phahameng ea mocheso le khanyetso ea mafome, 'me li hloka ho ba le conductivity e ntle ea mocheso le botsitso ba lik'hemik'hale.
Mokgweng wa tlhahiso ya semiconductor, di-wafer tsa SiC hangata di hloka ho sebetswa tikolohong e nang le mocheso o phahameng le kgatello e phahameng. Tlas'a maemo ana a tshebetso, di-wafer di sekamela ho susumetswa ke ditlamorao tsa mmele tsa kantle, katoloso ya mocheso le mabaka a mang, e leng se lebisang ho feto-fetohang, ho ngoatheha kapa tshilafatso ya di-wafer. Karolo ya SiC Wafer Holder ke ho thibela mathata ana ho etsahala ka ho fana ka matla a tshehetso a matla le a tsitsitseng.
Kopo
- CVD (Ho Ntša Mouoane ka Lik'hemik'hale): Ts'ebetsong ea CVD, e ka fana ka tšehetso e nepahetseng ea ho beha wafer, e netefatsa hore filimi e lula e le sepakapakeng ka mokhoa o ts'oanang.
- Lithography le Etching: E ka netefatsa ho otloloha hantle ha wafer, ea qoba lipaterone tse fapaneng le tse sa lekanang, 'me ea netefatsa ho nepahala ha phello ea etching
- PVD: Ditshebetsong tse kang PVD le ho qhalana ha metsi, ho hlokahala ho fana ka tshehetso e ntle le ho kgona ho mamella tshusumetso ya dikarolwana tse nang le matla a mangata ho boloka tshebetso e tsitsitseng.
- Teko le Pakete: Nakong ea liteko le liphutheloana tsa lisebelisoa tsa semiconductor, haholo-holo litekong tsa lisebelisoa tse sebelisang maqhubu a phahameng le tse sebelisang matla a phahameng, ho hlokahala sistimi e nepahetseng haholo ea tšehetso.
Nako ea poso: Phato-08-2025