Ní àwọn ọdún àìpẹ́ yìí, lílo àwọn ohun èlò SiC nínú ilé iṣẹ́ semiconductor ti pọ̀ sí i díẹ̀díẹ̀, pàápàá jùlọ nínú ẹ̀rọ itanna agbára, àwọn ẹ̀rọ optoelectronic àti àwọn ohun èlò ìgbóná gíga, níbi tí lílò wọn ti ń gbilẹ̀ sí i. SiC, pẹ̀lú líle gíga rẹ̀, ìdúróṣinṣin ooru tó dára àti àwọn ànímọ́ iná mànàmáná tó dára, ti di àyípadà pàtàkì sí àwọn ohun èlò silicon (Si) nínú ilé iṣẹ́. Síbẹ̀síbẹ̀, láti ṣe àṣeyọrí iṣẹ́jade àwọn ẹ̀rọ SiC tó munadoko àti tó ga, ní àfikún sí níní àwọn ohun tí ó yẹ fún iṣẹ́ ṣíṣe àwọn wafer SiC, a kò le fojú fo ìmọ̀ ẹ̀rọ ìrànlọ́wọ́ wafer náà. Nínú ìlànà yìí, ipa ti SiC Wafer Holder di pàtàkì ní pàtàkì.
A Ohun tí ó mú kí a fi ẹ̀rọ wafer SiC ṣejẹ́ ẹ̀rọ kan tí a ṣe ní pàtó fún ìtìlẹ́yìn àti títúnṣe àwọn wafer SiC. Àwọn wafer nílò láti la ọ̀pọ̀lọpọ̀ ìlànà kọjá nínú iṣẹ́ ìṣelọ́pọ́ semiconductor, títí bí ìdènà ìgbóná kẹ́míkà (CVD), ìdènà fíìmù tín-tín, photolithography, ìgé, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ. Gbogbo àwọn ìlànà wọ̀nyí nílò ipò pàtó àti ìtìlẹ́yìn tí ó dúró ṣinṣin ti àwọn wafers. A ṣe ohun èlò SiC Wafer Holder náà ní pàtó láti pèsè ìtìlẹ́yìn tí ó dúró ṣinṣin, ní rírí dájú pé àwọn wafers kò yípadà, tẹ̀ tàbí yípadà nígbà àwọn iṣẹ́ wọ̀nyí. Nítorí líle gíga àti resistance tí ó ga jùlọ ti ohun èlò SiC, àwọn ohun èlò tí ó ní resistance tí ó ga àti resistance tí ó jẹ́ ti ipata ni a sábà máa ń fi ṣe àwọn ohun èlò tí ó ní resistance tí ó ga àti resistance tí ó jẹ́ ti ipata, wọ́n sì nílò láti ní conductivity ooru tí ó dára àti ìdúróṣinṣin kẹ́míkà.
Nínú ìlànà ìṣelọ́pọ́ semiconductor, a sábà máa ń lo àwọn wafer SiC ní àyíká tí ó ní iwọ̀n otútù gíga àti ìfúnpá gíga. Lábẹ́ àwọn ipò ìlànà wọ̀nyí, àwọn wafer máa ń ní ipa àwọn ipa ti ara láti òde, ìfẹ̀sí ooru àti àwọn nǹkan mìíràn, èyí tí ó ń yọrí sí ìbàjẹ́, ìfọ́ tàbí ìbàjẹ́ àwọn wafer. Iṣẹ́ ti SiC Wafer Holder ni láti dènà àwọn ìṣòro wọ̀nyí nípa pípèsè agbára ìtìlẹ́yìn tí ó lágbára àti tí ó dúró ṣinṣin.
Ohun elo
- CVD (Ìfipamọ́ Kẹ́míkà Afẹ́fẹ́): Nínú ìlànà CVD, ó lè pèsè àtìlẹ́yìn ìdúró pàtó fún wafer náà, kí ó lè rí i dájú pé fíìmù náà wà ní ojú ọ̀run ní ìbámu pẹ̀lú ìwọ̀n kan náà
- Lithography ati Etching: O le rii daju pe o ti ṣe deede ti wafer naa, yago fun awọn ilana aiṣedeede ati asymmetrical, ati rii daju pe o peye ti ipa etching naa
- PVD: Ninu awọn ilana bii PVD ati sputtering, o ṣe pataki lati pese atilẹyin to dara ati tun ni anfani lati koju ipa ti awọn patikulu agbara giga lati ṣetọju iṣẹ iduroṣinṣin
- Idanwo ati Apoti: Lakoko idanwo ati iṣakojọpọ awọn ẹrọ semikondokito, paapaa ninu idanwo awọn ẹrọ igbohunsafẹfẹ giga ati agbara giga, eto atilẹyin ti o peye pupọ ni a nilo
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù Kẹjọ-08-2025