Дар солҳои охир, истифодаи маводҳои SiC дар саноати нимноқилҳо, махсусан дар электроникаи барқӣ, дастгоҳҳои оптоэлектронӣ ва таҷҳизоти басомади баланд, ки дар онҳо истифодаи онҳо торафт васеъ паҳн шудааст, тадриҷан афзоиш ёфтааст. SiC, бо сахтии бениҳоят баланд, устувории аълои гармӣ ва хосиятҳои хуби электрикӣ, дар саноат ба алтернативаи муҳим барои маводҳои кремний (Si) табдил ёфтааст. Аммо, барои ба даст овардани истеҳсоли самаранок ва босифати дастгоҳҳои SiC, илова бар талаботи қатъӣ барои раванди истеҳсоли вафлҳои SiC, технологияи дастгирии вафлро низ нодида гирифтан мумкин нест. Дар ин раванд, нақши дорандаи вафли SiC махсусан муҳим мегардад.
A Дорандаи вафли SiCдастгоҳест, ки махсус барои дастгирӣ ва мустаҳкам кардани пластинаҳои SiC тарҳрезӣ шудааст. Пластинаҳо бояд дар раванди истеҳсоли нимноқилҳо аз равандҳои сершумор, аз ҷумла таҳшиншавии буғи кимиёвӣ (CVD), таҳшиншавии плёнкаи тунук, фотолитография, кандакорӣ ва ғайра гузаранд. Ҳамаи ин равандҳо ҷойгиркунии дақиқ ва дастгирии устувори пластинаҳоро талаб мекунанд. Дорандаи пластинаи SiC дақиқ барои таъмини дастгирии устувор тарҳрезӣ шудааст, ки кафолат медиҳад, ки пластинаҳо дар ин равандҳо ҳаракат намекунанд, хам намешаванд ё деформатсия намешаванд. Аз сабаби сахтии бениҳоят баланд ва муқовимати ҳарорати баланди маводи SiC, дорандагони пластинаи SiC одатан аз маводҳое сохта мешаванд, ки муқовимати ҳарорати баланд ва муқовимати зангзанӣ доранд ва бояд гузаронандагии хуби гармӣ ва устувории кимиёвӣ дошта бошанд.
Дар раванди истеҳсоли нимноқилҳо, вафлҳои SiC одатан бояд дар муҳити ҳарорати баланд ва фишори баланд коркард шаванд. Дар чунин шароити раванд, вафлҳо ба таъсири таъсири берунаи ҷисмонӣ, васеъшавии гармӣ ва дигар омилҳо моил мебошанд, ки боиси деформатсия, харошидан ё ифлосшавии вафлҳо мегардад. Нақши дорандаи вафли SiC маҳз пешгирии пайдоиши ин мушкилот тавассути таъмини қувваи мустаҳкам ва устувор мебошад.
Ариза
- CVD (Ҷойгиршавии буғи кимиёвӣ): Дар раванди CVD, он метавонад дастгирии дақиқи ҷойгиркуниро барои вафл таъмин кунад ва ҷойгиршавии якхелаи плёнкаро дар атмосфера таъмин намояд
- Литография ва кандакорӣ: Он метавонад ҳамоҳангии дақиқи вафлро таъмин кунад, аз нақшҳои офсетӣ ва носимметрӣ пешгирӣ кунад ва дақиқии таъсири кандакориро кафолат диҳад.
- PVD: Дар равандҳо ба монанди PVD ва пошидани он, дастгирии хуб ва инчунин қобилияти тоб овардан ба таъсири зарраҳои баландэнергетикӣ барои нигоҳ доштани кори устувор зарур аст.
- Санҷиш ва бастабандӣ: Ҳангоми санҷиш ва бастабандии дастгоҳҳои нимноқилӣ, махсусан ҳангоми санҷиши дастгоҳҳои басомади баланд ва пуриқтидор, як системаи дастгирии хеле дақиқ лозим аст.
Вақти нашр: 08 августи соли 2025