ለሴሚኮንዳክተሮች በጣም አስፈላጊው የድጋፍ ቴክኖሎጂ ምንድነው?

በቅርብ ዓመታት ውስጥ፣ በሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪ ውስጥ የSiC ቁሳቁሶች አተገባበር ቀስ በቀስ ጨምሯል፣ በተለይም በሃይል ኤሌክትሮኒክስ፣ በኦፕቶኤሌክትሮኒክ መሳሪያዎች እና በከፍተኛ ድግግሞሽ መሳሪያዎች ውስጥ፣ አተገባበራቸውም በስፋት ተስፋፍቷል። SiC፣ እጅግ በጣም ከፍተኛ ጥንካሬ፣ እጅግ በጣም ጥሩ የሙቀት መረጋጋት እና ጥሩ የኤሌክትሪክ ባህሪያት ያሉት፣ በኢንዱስትሪ ውስጥ ለሲሊኮን (Si) ቁሳቁሶች አስፈላጊ አማራጭ ሆኗል። ሆኖም፣ ለSiC ዋፈርዎች የማምረት ሂደት ጥብቅ መስፈርቶች ከመኖራቸው በተጨማሪ የSiC መሳሪያዎችን ቀልጣፋ እና ከፍተኛ ጥራት ያለው ምርት ለማግኘት፣ የዋፈር ድጋፍ ቴክኖሎጂም ችላ ሊባል አይችልም። በዚህ ሂደት ውስጥ የSiC ዋፈር መያዣ ሚና በተለይ አስፈላጊ ይሆናል።

A የሲሲ ዋፈር መያዣየSiC ዋፈርዎችን ለመደገፍ እና ለማስተካከል በተለይ የተነደፈ መሳሪያ ነው። ዋፈርዎች በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ሂደት ውስጥ በርካታ ሂደቶችን ማለፍ አለባቸው፣ ይህም የኬሚካል ትነት ማስቀመጫ (CVD)፣ ቀጭን የፊልም ማስቀመጫ፣ ፎቶሊቶግራፊ፣ ቅርጻቅርጽ፣ ወዘተ. ያካትታል። እነዚህ ሁሉ ሂደቶች ትክክለኛ አቀማመጥ እና የዋፈርዎች የተረጋጋ ድጋፍ ያስፈልጋቸዋል። የSiC ዋፈር መያዣው የተረጋጋ ድጋፍ ለመስጠት በትክክል የተነደፈ ሲሆን ዋፈርዎቹ በእነዚህ ሂደቶች ወቅት እንዳይቀያየሩ፣ እንዳይታጠፉ ወይም እንዳይበላሹ ያረጋግጣል። እጅግ በጣም ከፍተኛ በሆነው የSiC ቁሳቁስ ጥንካሬ እና ከፍተኛ የሙቀት መቋቋም ምክንያት፣ የSiC ዋፈር መያዣዎች ብዙውን ጊዜ ከፍተኛ የሙቀት መቋቋም እና የዝገት መቋቋም ካላቸው ቁሳቁሶች የተሠሩ ናቸው፣ እና ጥሩ የሙቀት አማቂነት እና የኬሚካል መረጋጋት ሊኖራቸው ይገባል።

በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ሂደት ውስጥ፣ የሲሲ ዋፈርዎች ብዙውን ጊዜ በከፍተኛ ሙቀት እና ከፍተኛ ግፊት ባለው አካባቢ ውስጥ መካሄድ አለባቸው። በእነዚህ የሂደት ሁኔታዎች፣ ዋፈርዎች ለውጫዊ አካላዊ ተፅእኖዎች፣ ለሙቀት መስፋፋት እና ለሌሎች ምክንያቶች ተጽዕኖ የተጋለጡ ሲሆኑ፣ ይህም ወደ ዋፈር መበላሸት፣ ጭረቶች ወይም ብክለት ያስከትላል። የሲሲ ዋፈር መያዣ ሚና ጠንካራ እና የተረጋጋ የድጋፍ ኃይል በማቅረብ እነዚህ ችግሮች እንዳይከሰቱ በትክክል መከላከል ነው።

ማመልከቻ

• ሲቪዲ (የኬሚካል ትነት ማስቀመጫ)፡- በሲቪዲ ሂደት ውስጥ፣ ለዋፈር ትክክለኛ የአቀማመጥ ድጋፍ መስጠት ይችላል፣ ይህም ፊልሙ በከባቢ አየር ውስጥ ወጥ የሆነ አቀማመጡን ያረጋግጣል።
• ሊቶግራፊ እና ቅርፊት፡- የዋፈርን ትክክለኛ አሰላለፍ ማረጋገጥ፣ የሚካካሱ እና ያልተመጣጠነ ቅጦችን ማስወገድ እና የመቁረጫ ውጤቱን ትክክለኛነት ማረጋገጥ ይችላል
• PVD፡- እንደ PVD እና sputtering ባሉ ሂደቶች ውስጥ፣ የተረጋጋ አፈፃፀምን ለመጠበቅ ጥሩ ድጋፍ መስጠት እና ከፍተኛ ኃይል ያላቸው ቅንጣቶችን ተጽእኖ መቋቋም መቻል አስፈላጊ ነው።
• ሙከራ እና ማሸጊያ፡- በተለይም ከፍተኛ ድግግሞሽ እና ከፍተኛ ኃይል ያላቸውን መሳሪያዎች በሚሞክሩበት ጊዜ የሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎችን በሚሞክሩበት እና በሚታሸጉበት ጊዜ እጅግ በጣም ትክክለኛ የሆነ የድጋፍ ስርዓት ያስፈልጋል