Сүүлийн жилүүдэд хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлд SiC материалын хэрэглээ аажмаар нэмэгдэж, ялангуяа цахилгаан электроник, оптоэлектроник төхөөрөмж, өндөр давтамжийн тоног төхөөрөмжид тэдгээрийн хэрэглээ улам бүр өргөн тархаж байна. Маш өндөр хатуулаг, маш сайн дулааны тогтвортой байдал, сайн цахилгаан шинж чанартай SiC нь үйлдвэрлэлд цахиур (Si) материалын чухал хувилбар болсон. Гэсэн хэдий ч SiC төхөөрөмжүүдийг үр ашигтай, өндөр чанартай үйлдвэрлэхийн тулд SiC вафли үйлдвэрлэх процесст хатуу шаардлага тавихаас гадна вафлины тулгуур технологийг үл тоомсорлож болохгүй. Энэ үйл явцад SiC вафлины эзэмшигчийн үүрэг онцгой чухал болж байна.
A SiC вафли эзэмшигчнь SiC вафлигуудыг тулгуурлах, бэхлэх зориулалттай тусгайлан бүтээгдсэн төхөөрөмж юм. Вафлигууд нь хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн процесст химийн ууршуулах (CVD), нимгэн хальсан хуримтлал, фотолитографи, сийлбэр гэх мэт олон процессоор дамжин өнгөрөх шаардлагатай. Эдгээр бүх процессууд нь вафлигуудын нарийн байрлал, тогтвортой тулгуурыг шаарддаг. SiC вафлиг тогтоогч нь тогтвортой тулгуурыг хангахаар нарийн зохион бүтээгдсэн бөгөөд эдгээр процессын явцад вафлигууд хөдлөхгүй, нугарахгүй, хэв гажилтгүй байхыг баталгаажуулдаг. SiC материалын маш өндөр хатуулаг, өндөр температурт тэсвэртэй тул SiC вафлиг тогтоогчийг ихэвчлэн өндөр температурт тэсвэртэй, зэврэлтэнд тэсвэртэй материалаар хийдэг бөгөөд дулаан дамжуулах чадвар сайтай, химийн тогтвортой байх шаардлагатай.
Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэх процесст SiC вафлиг ихэвчлэн өндөр температур, өндөр даралттай орчинд боловсруулах шаардлагатай байдаг. Эдгээр процессын нөхцөлд вафли нь гадны физик нөлөөлөл, дулааны тэлэлт болон бусад хүчин зүйлийн нөлөөнд өртөмтгий байдаг бөгөөд энэ нь вафлиг деформаци, зураас эсвэл бохирдолд хүргэдэг. SiC вафлиг тогтоогчийн үүрэг нь бат бөх, тогтвортой тулгуур хүчийг бий болгосноор эдгээр асуудлууд гарахаас урьдчилан сэргийлэх явдал юм.
Аппликейшн
- CVD (Химийн уурын хуримтлал): CVD процесст энэ нь вафлины нарийн байрлалыг дэмжиж, агаар мандалд хальсыг жигд хуримтлуулах боломжийг олгодог.
- Литографи ба сийлбэр: Энэ нь вафлийн нарийн уялдаа холбоог хангах, офсет болон тэгш бус хэв маягаас зайлсхийх, сийлбэрийн үр нөлөөний нарийвчлалыг баталгаажуулах боломжтой.
- PVD: PVD болон цацалт зэрэг процессуудад сайн дэмжлэг үзүүлэх, мөн тогтвортой ажиллагааг хангахын тулд өндөр энергийн бөөмсийн нөлөөллийг тэсвэрлэх чадвартай байх шаардлагатай.
- Туршилт ба сав баглаа боодол: Хагас дамжуулагч төхөөрөмжийн туршилт, сав баглаа боодлын үед, ялангуяа өндөр давтамжтай болон өндөр хүчин чадалтай төхөөрөмжийн туршилтын үед маш нарийн тулгуур систем шаардлагатай.
Нийтэлсэн цаг: 2025 оны 8-р сарын 8