سيمي ڪنڊڪٽرز لاءِ سڀ کان اهم مددگار ٽيڪنالاجي ڪهڙي آهي؟

تازن سالن ۾، سيمي ڪنڊڪٽر انڊسٽري ۾ SiC مواد جو استعمال بتدريج وڌيو آهي، خاص طور تي پاور اليڪٽرانڪس، آپٽو اليڪٽرانڪ ڊوائيسز ۽ اعليٰ فريڪوئنسي سامان ۾، جتي انهن جو استعمال تيزي سان وسيع ٿي رهيو آهي. SiC، پنهنجي انتهائي اعليٰ سختي، بهترين حرارتي استحڪام ۽ سٺي برقي خاصيتن سان، صنعت ۾ سلڪون (Si) مواد جو هڪ اهم متبادل بڻجي چڪو آهي. تنهن هوندي به، SiC ڊوائيسز جي موثر ۽ اعليٰ معيار جي پيداوار حاصل ڪرڻ لاءِ، SiC ويفرز جي پيداوار جي عمل لاءِ سخت گهرجن کان علاوه، ويفر سپورٽ ٽيڪنالاجي کي به نظرانداز نٿو ڪري سگهجي. هن عمل ۾، SiC ويفر هولڊر جو ڪردار خاص طور تي اهم ٿي ويندو آهي.

A سي سي ويفر هولڊرهڪ ڊوائيس آهي جيڪو خاص طور تي SiC ويفرز کي سپورٽ ڪرڻ ۽ درست ڪرڻ لاءِ ٺاهيو ويو آهي. ويفرز کي سيمي ڪنڊڪٽر ٺاهڻ جي عمل ۾ ڪيترن ئي عملن مان گذرڻ جي ضرورت آهي، جنهن ۾ ڪيميائي وانپ ڊپوزيشن (CVD)، پتلي فلم ڊپوزيشن، فوٽو ليٿوگرافي، ايچنگ وغيره شامل آهن. انهن سڀني عملن کي ويفرز جي صحيح پوزيشننگ ۽ مستحڪم سپورٽ جي ضرورت آهي. SiC ويفر هولڊر کي صحيح طور تي مستحڪم سپورٽ فراهم ڪرڻ لاءِ ٺاهيو ويو آهي، انهي کي يقيني بڻائي ٿو ته ويفرز انهن عملن دوران منتقل، موڙي يا خراب نه ٿين. SiC مواد جي انتهائي سختي ۽ اعلي درجه حرارت جي مزاحمت جي ڪري، SiC ويفر هولڊر عام طور تي اعلي درجه حرارت مزاحمت ۽ سنکنرن مزاحمت سان مواد مان ٺهيل آهن، ۽ انهن کي سٺي حرارتي چالکائي ۽ ڪيميائي استحڪام جي ضرورت آهي.

سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار جي عمل ۾، SiC ويفرز کي عام طور تي تيز گرمي پد ۽ تيز دٻاءُ واري ماحول ۾ پروسيس ڪرڻ جي ضرورت هوندي آهي. انهن عمل جي حالتن ۾، ويفرز ٻاهرين جسماني اثرن، حرارتي توسيع ۽ ٻين عنصرن جي اثر هيٺ هوندا آهن، جنهن جي ڪري ويفرز جي خرابي، ڇڪڻ يا آلودگي ٿيندي آهي. SiC ويفر هولڊر جو ڪردار خاص طور تي هڪ مضبوط ۽ مستحڪم سپورٽ فورس فراهم ڪندي انهن مسئلن کي ٿيڻ کان روڪڻ آهي.

درخواست

• سي وي ڊي (ڪيميائي وانپ ڊپوزيشن): سي وي ڊي جي عمل ۾، اهو ويفر لاءِ صحيح پوزيشننگ سپورٽ فراهم ڪري سگهي ٿو، فضا ۾ فلم جي هڪجهڙائي جمع کي يقيني بڻائي ٿو.
• لٿوگرافي ۽ ايچنگ: اهو ويفر جي صحيح ترتيب کي يقيني بڻائي سگهي ٿو، آفسيٽ ۽ غير متناسب نمونن کان پاسو ڪري سگهي ٿو، ۽ ايچنگ اثر جي درستگي جي ضمانت ڏئي سگهي ٿو.
• پي وي ڊي: پي وي ڊي ۽ اسپٽرنگ جهڙن عملن ۾، سٺي مدد فراهم ڪرڻ ۽ مستحڪم ڪارڪردگي برقرار رکڻ لاءِ اعليٰ توانائي وارن ذرڙن جي اثر کي برداشت ڪرڻ جي قابل هجڻ ضروري آهي.
• ٽيسٽنگ ۽ پيڪنگنگ: سيمي ڪنڊڪٽر ڊوائيسز جي ٽيسٽنگ ۽ پيڪنگنگ دوران، خاص طور تي هاءِ فريڪوئنسي ۽ هاءِ پاور ڊوائيسز جي ٽيسٽنگ ۾، هڪ انتهائي صحيح سپورٽ سسٽم جي ضرورت هوندي آهي.