Sannadihii ugu dambeeyay, adeegsiga agabka SiC ee warshadaha semiconductor-ka ayaa si tartiib tartiib ah u kordhay, gaar ahaan qalabka elektaroonigga korontada, aaladaha optoelectronic-ka iyo qalabka soo noqnoqda sare leh, halkaas oo codsigoodu uu si isa soo taraysa ugu faafay. SiC, oo leh adkeysigeeda aadka u sarreeya, xasilloonida kulaylka aadka u fiican iyo sifooyinka korantada ee wanaagsan, ayaa noqotay beddel muhiim ah oo loogu talagalay agabka silicon (Si) ee warshadaha. Si kastaba ha ahaatee, si loo gaaro wax soo saar hufan oo tayo sare leh oo aaladaha SiC ah, marka lagu daro inay leeyihiin shuruudo adag oo loogu talagalay habka wax soo saarka ee wafers-ka SiC, tignoolajiyada taageerada wafer-ka sidoo kale lama iska indho tiri karo. Habkan, doorka Haystaha Wafer-ka SiC wuxuu noqdaa mid muhiim ah.
A Haystaha Wafer-ka SiCwaa qalab si gaar ah loogu talagalay taageeridda iyo hagaajinta buskudka SiC. Buskudku waxay u baahan yihiin inay maraan habab badan oo ku jira habka wax soo saarka semiconductor-ka, oo ay ku jiraan kaydinta uumiga kiimikada (CVD), kaydinta filimka khafiifka ah, sawir-qaadista, xoqidda, iwm. Dhammaan hababkani waxay u baahan yihiin meelayn sax ah iyo taageero deggan oo buskudku leeyahay. Qalabka SiC Wafer Holder waxaa si sax ah loogu talagalay inuu bixiyo taageero deggan, isagoo hubinaya in buskudku aysan isbeddelin, qaloocin ama isbeddelin inta lagu jiro hababkan. Sababtoo ah adkaanta aadka u sarreysa iyo iska caabbinta heerkulka sare ee walaxda SiC, kuwa haysta Buskudka SiC waxaa badanaa laga sameeyaa walxo leh iska caabbinta heerkulka sare iyo iska caabbinta daxalka, waxayna u baahan yihiin inay yeeshaan kuleyl wanaagsan iyo xasillooni kiimiko.
Habka wax soo saarka semiconductor-ka, buskudka SiC badanaa waxaa loo baahan yahay in lagu farsameeyo jawi heerkul sare iyo cadaadis sare leh. Xaaladahan habka, buskudka waxay u nugul yihiin saameynta saameynta jireed ee dibadda, ballaarinta kulaylka iyo arrimo kale, taasoo keenta isbeddel, xoqid ama wasakheynta buskudka. Doorka Haystaha Buskudka SiC waa inuu si sax ah uga hortago dhibaatooyinkan inay dhacaan iyadoo la siinayo xoog taageero oo xooggan oo deggan.
Codsiga
- CVD (Kaydinta Uumiga Kiimikada): Habka CVD, wuxuu ku siin karaa taageero meelayn sax ah oo loogu talagalay wafer-ka, isagoo hubinaya in filimka lagu dhejiyo jawiga si isku mid ah.
- Lithography iyo Etching: Waxay hubin kartaa isku-dubbaridka saxda ah ee wafer-ka, iska ilaali qaababka aan sinnayn iyo kuwa aan sinnayn, waxayna dammaanad qaadi kartaa saxnaanta saamaynta etching-ka
- PVD: Hawlaha sida PVD iyo sputtering, waxaa lagama maarmaan ah in la bixiyo taageero wanaagsan iyo sidoo kale in la awoodo in la iska caabiyo saameynta walxaha tamarta sare leh si loo ilaaliyo waxqabadka deggan.
- Tijaabinta iyo Baakaynta: Inta lagu jiro tijaabinta iyo baakadaynta aaladaha semiconductor-ka, gaar ahaan tijaabinta aaladaha soo noqnoqda sare iyo kuwa awoodda sare leh, nidaam taageero oo aad u sax ah ayaa loo baahan yahay
Waqtiga boostada: Agoosto-08-2025