ក្នុងរយៈពេលប៉ុន្មានឆ្នាំចុងក្រោយនេះ ការអនុវត្តសម្ភារៈ SiC នៅក្នុងឧស្សាហកម្មស៊ីមីកុងដុកទ័របានកើនឡើងជាលំដាប់ ជាពិសេសនៅក្នុងអេឡិចត្រូនិចថាមពល ឧបករណ៍អុបតូអេឡិចត្រូនិច និងឧបករណ៍ប្រេកង់ខ្ពស់ ដែលការអនុវត្តរបស់វាកាន់តែរីករាលដាល។ SiC ជាមួយនឹងភាពរឹងខ្ពស់ខ្លាំង ស្ថេរភាពកម្ដៅដ៏ល្អឥតខ្ចោះ និងលក្ខណៈសម្បត្តិអគ្គិសនីល្អ បានក្លាយជាជម្រើសដ៏សំខាន់មួយជំនួសសម្ភារៈស៊ីលីកុន (Si) នៅក្នុងឧស្សាហកម្ម។ ទោះជាយ៉ាងណាក៏ដោយ ដើម្បីសម្រេចបាននូវការផលិតឧបករណ៍ SiC ដែលមានប្រសិទ្ធភាព និងមានគុណភាពខ្ពស់ បន្ថែមពីលើការមានតម្រូវការតឹងរ៉ឹងសម្រាប់ដំណើរការផលិតបន្ទះ SiC បច្ចេកវិទ្យាទ្រទ្រង់បន្ទះក៏មិនអាចមើលរំលងបានដែរ។ នៅក្នុងដំណើរការនេះ តួនាទីរបស់ឧបករណ៍កាន់បន្ទះ SiC កាន់តែមានសារៈសំខាន់ជាពិសេស។
A អ្នកកាន់បន្ទះ SiCគឺជាឧបករណ៍មួយដែលត្រូវបានរចនាឡើងជាពិសេសសម្រាប់ទ្រទ្រង់ និងជួសជុលបន្ទះសៀគ្វី SiC។ បន្ទះសៀគ្វីត្រូវឆ្លងកាត់ដំណើរការច្រើនក្នុងដំណើរការផលិតស៊ីមីកុងដុកទ័រ រួមទាំងការដាក់ស្រទាប់ចំហាយគីមី (CVD) ការដាក់ស្រទាប់ស្តើង ការធ្វើឡាស៊ែរពន្លឺ ការឆ្លាក់ជាដើម។ ដំណើរការទាំងអស់នេះតម្រូវឱ្យមានទីតាំងច្បាស់លាស់ និងការគាំទ្រដែលមានស្ថេរភាពនៃបន្ទះសៀគ្វី។ ឧបករណ៍កាន់បន្ទះសៀគ្វី SiC ត្រូវបានរចនាឡើងយ៉ាងជាក់លាក់ដើម្បីផ្តល់នូវការគាំទ្រដែលមានស្ថេរភាព ដោយធានាថាបន្ទះសៀគ្វីមិនផ្លាស់ប្តូរ ពត់ ឬខូចទ្រង់ទ្រាយក្នុងអំឡុងពេលដំណើរការទាំងនេះ។ ដោយសារតែភាពរឹងខ្ពស់ខ្លាំង និងភាពធន់នឹងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់នៃសម្ភារៈ SiC ឧបករណ៍កាន់បន្ទះសៀគ្វី SiC ជាធម្មតាត្រូវបានផលិតពីវត្ថុធាតុដើមដែលមានភាពធន់នឹងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងភាពធន់នឹងការច្រេះ ហើយត្រូវមានចរន្តកំដៅល្អ និងស្ថេរភាពគីមី។
នៅក្នុងដំណើរការផលិតស៊ីមីកុងដុកទ័រ បន្ទះសៀគ្វី SiC ជាធម្មតាត្រូវកែច្នៃក្នុងបរិយាកាសសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងសម្ពាធខ្ពស់។ ក្រោមលក្ខខណ្ឌដំណើរការទាំងនេះ បន្ទះសៀគ្វីងាយនឹងទទួលឥទ្ធិពលពីផលប៉ះពាល់រូបវន្តខាងក្រៅ ការពង្រីកកម្ដៅ និងកត្តាផ្សេងៗទៀត ដែលនាំឱ្យមានការខូចទ្រង់ទ្រាយ ស្នាមឆ្កូត ឬការចម្លងរោគនៃបន្ទះសៀគ្វី។ តួនាទីរបស់ឧបករណ៍កាន់បន្ទះសៀគ្វី SiC គឺដើម្បីការពារបញ្ហាទាំងនេះពីការកើតឡើងដោយផ្តល់កម្លាំងទ្រទ្រង់ដ៏រឹងមាំ និងមានស្ថេរភាព។
ពាក្យសុំ
- CVD (ការដាក់ចំហាយគីមី): នៅក្នុងដំណើរការ CVD វាអាចផ្តល់នូវការគាំទ្រទីតាំងច្បាស់លាស់សម្រាប់បន្ទះ wafer ដែលធានាបាននូវការដាក់ស្រទាប់ខ្សែភាពយន្តឯកសណ្ឋាននៅក្នុងបរិយាកាស។
- ការបោះពុម្ពលើថ្ម និងការឆ្លាក់៖ វាអាចធានាបាននូវការតម្រឹមយ៉ាងច្បាស់លាស់នៃបន្ទះស្តើង ជៀសវាងលំនាំអុហ្វសិត និងលំនាំមិនស៊ីមេទ្រី និងធានាបាននូវភាពត្រឹមត្រូវនៃឥទ្ធិពលឆ្លាក់។
- PVD៖ នៅក្នុងដំណើរការដូចជា PVD និងការបាញ់ថ្នាំ វាចាំបាច់ក្នុងការផ្តល់ការគាំទ្រល្អ ហើយក៏អាចទប់ទល់នឹងផលប៉ះពាល់នៃភាគល្អិតថាមពលខ្ពស់ដើម្បីរក្សាដំណើរការប្រកបដោយស្ថេរភាពផងដែរ។
- ការធ្វើតេស្ត និងការវេចខ្ចប់៖ ក្នុងអំឡុងពេលធ្វើតេស្ត និងការវេចខ្ចប់ឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក ជាពិសេសក្នុងការធ្វើតេស្តឧបករណ៍ប្រេកង់ខ្ពស់ និងថាមពលខ្ពស់ ប្រព័ន្ធគាំទ្រដ៏ជាក់លាក់មួយត្រូវបានទាមទារ។
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ សីហា-០៨-២០២៥