O le a le Tekonolosi Lagolago Sili ona Taua mo Semiconductors

I tausaga talu ai nei, ua faasolosolo malie ona faateleina le faaaogaina o mea SiC i le alamanuia semiconductor, aemaise lava i eletise eletise, masini optoelectronic ma masini e maualuga le saoasaoa, lea ua faateleina ai le salalau o latou faaaogaina. O le SiC, faatasi ai ma lona malosi tele, le mautu lelei o le vevela ma meatotino eletise lelei, ua avea ma se isi mea taua e sui ai mea silicon (Si) i le alamanuia. Peitai, ina ia ausia le gaosiga lelei ma le maualuga o masini SiC, e faaopoopo atu i le i ai o manaoga faigata mo le faagasologa o le gaosiga o wafers SiC, e le mafai foi ona le amanaiaina le tekinolosi lagolago wafer. I lenei faagasologa, ua matua taua tele le matafaioi a le SiC Wafer Holder.

A Pusa Fa'amau SiCo se masini ua mamanuina faapitoa mo le lagolagoina ma le fa'apipi'iina o wafers SiC. E mana'omia e wafers ona ui atu i le tele o faiga i le faagasologa o le gaosiga o semiconductor, e aofia ai le fa'aputuina o le ausa vaila'au (CVD), fa'aputuina o ata manifinifi, photolithography, etching, ma isi. O nei faiga uma e mana'omia ai le tulaga sa'o ma le lagolago mautu o wafers. O le SiC Wafer Holder ua mamanuina ma le sa'o e tu'uina atu ai le lagolago mautu, ma ia mautinoa ai e le minoi, pi'o pe fa'aleagaina wafers i le taimi o nei faiga. Ona o le matua'i ma'a'a ma le tete'e atu i le vevela maualuga o le mea SiC, o le SiC Wafer holders e masani ona faia i mea e tete'e atu i le vevela maualuga ma le tete'e atu i le 'ele, ma e mana'omia le lelei o le fa'avevela ma le mautu o vaila'au.

I le faagasologa o le gaosiga o semiconductor, e masani ona manaʻomia le faʻagasoloina o wafers SiC i se siosiomaga e maualuga le vevela ma le mamafa. I lalo o nei tulaga o le faagasologa, e faigofie ona aʻafia wafers i aafiaga faaletino mai fafo, faʻalauteleina o le vevela ma isi mea, e mafua ai ona faʻaleagaina, maosi pe faʻaleagaina wafers. O le matafaioi a le SiC Wafer Holder o le puipuia lea o nei faʻafitauli mai le tutupu e ala i le tuʻuina atu o se malosiaga lagolago malosi ma mautu.

Talosaga

• CVD (Fa'aputuga Ausa Kemikolo): I le faiga o le CVD, e mafai ona tu'uina atu ai le lagolago sa'o mo le tulaga o le wafer, ma fa'amautinoa ai le tutusa o le fa'aputuga o le ata tifaga i le ea
• Lithography ma le Etching: E ​​mafai ona faʻamautinoa le faʻatulagaina saʻo o le wafer, aloese mai mamanu faʻaletonu ma le le tutusa, ma faʻamautinoa le saʻo o le aafiaga etching
• PVD: I faiga e pei o le PVD ma le sputtering, e tatau ona tuʻuina atu le lagolago lelei ma ia mafai foʻi ona tatalia le aʻafiaga o vaega malolosi e faʻatumauina ai le faʻatinoga mautu.
• Su'ega ma Afifiina: I le taimi o su'ega ma afifiina o masini semiconductor, aemaise lava i le su'eina o masini maualuga ma masini eletise maualuga, e mana'omia se faiga lagolago e matua sa'o lava.