He aha ka ʻenehana kākoʻo koʻikoʻi loa no nā Semiconductors

I nā makahiki i hala iho nei, ua piʻi mālie ka hoʻohana ʻana i nā mea SiC i ka ʻoihana semiconductor, ʻoi aku hoʻi i nā mea uila mana, nā mea optoelectronic a me nā lako alapine kiʻekiʻe, kahi i lilo ai kā lākou hoʻohana i mea ākea. ʻO SiC, me kona paʻakikī kiʻekiʻe loa, ke kūpaʻa wela maikaʻi loa a me nā waiwai uila maikaʻi, ua lilo ia i mea koho koʻikoʻi i nā mea silicon (Si) i ka ʻoihana. Eia nō naʻe, no ka hoʻokō ʻana i ka hana pono a me ke kiʻekiʻe o nā mea SiC, me ka loaʻa ʻana o nā koi koʻikoʻi no ke kaʻina hana o nā wafers SiC, ʻaʻole hiki ke hoʻowahāwahā ʻia ka ʻenehana kākoʻo wafer. I kēia kaʻina hana, lilo ka hana o ka SiC Wafer Holder i mea nui loa.

A Mea Paʻa Wafer SiChe mea hana i hoʻolālā kūikawā ʻia no ke kākoʻo ʻana a me ka hoʻopaʻa ʻana i nā wafers SiC. Pono nā wafers e hele i nā kaʻina hana he nui i ke kaʻina hana semiconductor, me ka hoʻokomo ʻana i ka mahu kemika (CVD), ka hoʻokomo ʻana i ka ʻili lahilahi, ka photolithography, ka etching, a pēlā aku. Pono kēia mau kaʻina hana āpau i ke kūlana pololei a me ke kākoʻo paʻa o nā wafers. Ua hoʻolālā pololei ʻia ka SiC Wafer Holder e hāʻawi i ke kākoʻo paʻa, e hōʻoiaʻiʻo ana ʻaʻole e neʻe, kūlou a hoʻololi paha nā wafers i kēia mau kaʻina hana. Ma muli o ka paʻakikī kiʻekiʻe loa a me ke kūpaʻa wela kiʻekiʻe o ka mea SiC, hana pinepine ʻia nā mea paʻa SiC Wafer i nā mea me ke kūpaʻa wela kiʻekiʻe a me ke kūpaʻa ʻana i ka palaho, a pono e loaʻa ka conductivity thermal maikaʻi a me ke kūpaʻa kemika.

I ke kaʻina hana semiconductor, pono e hana ʻia nā wafers SiC i kahi mahana kiʻekiʻe a me ke kaomi kiʻekiʻe. Ma lalo o kēia mau kūlana hana, ua maʻalahi nā wafers i ka hopena o nā hopena kino o waho, ka hoʻonui ʻana o ka wela a me nā mea ʻē aʻe, e alakaʻi ana i ka deformation, nā ʻōpala a i ʻole ka haumia o nā wafers. ʻO ke kuleana o ka SiC Wafer Holder ʻo ia ke pale aku i kēia mau pilikia mai ka hana ʻana ma o ka hāʻawi ʻana i kahi ikaika kākoʻo ikaika a paʻa.

Noi

• CVD (Chemical Vapor Deposition): Ma ke kaʻina hana CVD, hiki iā ia ke hāʻawi i ke kākoʻo kūlana pololei no ka wafer, e hōʻoiaʻiʻo ana i ka waiho like ʻana o ke kiʻiʻoniʻoni i ka lewa.
• Lithography a me Etching: Hiki iā ia ke hōʻoia i ka hoʻonohonoho pololei ʻana o ka wafer, pale i nā ʻano offset a me nā asymmetrical, a hōʻoia i ka pololei o ka hopena etching
• PVD: I nā kaʻina hana e like me PVD a me ka sputtering, pono e hāʻawi i ke kākoʻo maikaʻi a hiki ke kū i ka hopena o nā ʻāpana ikehu kiʻekiʻe e mālama i ka hana paʻa
• Ka Hoʻāʻo ʻana a me ka Hoʻopili ʻana: I ka wā o ka hoʻāʻo ʻana a me ka hoʻopili ʻana i nā mea semiconductor, ʻoi aku hoʻi i ka hoʻāʻo ʻana i nā mea hana alapine kiʻekiʻe a me ka mana kiʻekiʻe, pono kahi ʻōnaehana kākoʻo pololei loa.