طاقة VETحامل الجرافيت المستخدم في عملية الترسيب الكيميائي للبخار المعزز بالبلازما (PECVD) هو مادة استهلاكية عالية الجودة مصممة خصيصًا لهذه العملية. يُصنع هذا الحامل من مادة جرافيت عالية النقاء والكثافة، ويتميز بمقاومة ممتازة لدرجات الحرارة العالية والتآكل، بالإضافة إلى ثبات الأبعاد، مما يوفر منصة حامل مستقرة لعملية الترسيب الكيميائي للبخار المعزز بالبلازما، ويضمن تجانسًا ودقةً في ترسيب الأغشية الرقيقة.
تتميز حوامل الجرافيت المستخدمة في عملية الترسيب الكيميائي للبخار المعزز بالبلازما (PECVD) بالخصائص التالية:
▪ نقاء عالٍ: محتوى شوائب منخفض للغاية، مما يمنع تلوث الفيلم ويضمن جودته.
▪ كثافة عالية: كثافة عالية، قوة ميكانيكية عالية، قادرة على تحمل درجات الحرارة العالية وبيئة PECVD ذات الضغط العالي.
▪ استقرار الأبعاد الجيد: تغيير طفيف في الأبعاد عند درجة حرارة عالية، مما يضمن استقرار العملية.
▪ موصلية حرارية ممتازة: تنقل الحرارة بشكل فعال لمنع ارتفاع درجة حرارة الرقاقة.
▪ مقاومة قوية للتآكل: قادر على مقاومة التآكل الناتج عن مختلف الغازات المسببة للتآكل والبلازما.
▪ خدمة مخصصة: يمكن تخصيص حوامل الجرافيت بأحجام وأشكال مختلفة وفقًا لاحتياجات العميل.
مادة الجرافيت من شركة SGL:
| المعلمة النموذجية: R6510 | |||
| فِهرِس | معيار الاختبار | قيمة | وحدة |
| متوسط حجم الحبوب | ISO 13320 | 10 | ميكرومتر |
| الكثافة الظاهرية | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | جم/سم3 |
| مسامية مفتوحة | DIN66133 | 10 | % |
| حجم المسام متوسط | DIN66133 | 1.8 | ميكرومتر |
| نفاذية | DIN 51935 | 0.06 | سم²/ث |
| صلابة روكويل HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| المقاومة الكهربائية النوعية | DIN IEC 60413/402 | 13 | ميكرو أوم متر |
| قوة الانحناء | DIN IEC 60413/501 | 60 | ميجا باسكال |
| قوة الضغط | DIN 51910 | 130 | ميجا باسكال |
| معامل يونغ | DIN 51915 | 11.5×10³ | ميجا باسكال |
| التمدد الحراري (20-200 درجة مئوية) | DIN 51909 | 4.2 × 10-6 | K-1 |
| الموصلية الحرارية (20 درجة مئوية) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
صُممت هذه التقنية خصيصاً لتصنيع الخلايا الشمسية عالية الكفاءة، وتدعم معالجة رقائق السيليكون كبيرة الحجم من نوع G12. يُحسّن تصميم الحامل المُحسّن الإنتاجية بشكل ملحوظ، مما يُتيح معدلات إنتاج أعلى وتكاليف إنتاج أقل.
| غرض | يكتب | حامل رقاقة رقمي |
| قارب PEVCD Grephite - سلسلة 156 | قارب من الجرافيت 156-13 | 144 |
| قارب من الجرافيت 156-19 | 216 | |
| قارب من الجرافيت 156-21 | 240 | |
| قارب جرافيت 156-23 | 308 | |
| قارب PEVCD Grephite - سلسلة 125 | قارب من الجرافيت 125-15 | 196 |
| قارب جريفيت 125-19 | 252 | |
| قارب جرافيت 125-21 | 280 |
