طاقة فيتحامل الجرافيت لعملية PECVD هو مادة استهلاكية عالية الجودة مصممة خصيصًا لعملية PECVD (ترسيب البخار الكيميائي المُحسَّن بالبلازما). هذا الحامل مصنوع من مادة جرافيت عالية النقاء والكثافة، تتميز بمقاومة ممتازة لدرجات الحرارة العالية والتآكل وثبات الأبعاد وغيرها من الخصائص، مما يوفر منصة حامل مستقرة لعملية PECVD، مما يضمن اتساق وتجانس ترسيب الأغشية الرقيقة.
تتمتع حاملات الجرافيت لعملية PECVD بالخصائص التالية:
▪ نقاء عالي: نسبة شوائب منخفضة للغاية، مما يتجنب تلوث الفيلم ويضمن جودة الفيلم.
▪ كثافة عالية: كثافة عالية، قوة ميكانيكية عالية، قادرة على تحمل درجة الحرارة العالية وبيئة PECVD ذات الضغط العالي.
▪ استقرار أبعادي جيد: تغير أبعادي صغير عند درجة حرارة عالية، مما يضمن استقرار العملية.
▪ توصيل حراري ممتاز: نقل الحرارة بشكل فعال لمنع ارتفاع درجة حرارة الرقاقة.
▪ مقاومة قوية للتآكل: قادرة على مقاومة التآكل بواسطة الغازات المسببة للتآكل المختلفة والبلازما.
▪ خدمة مخصصة: يمكن تخصيص حاملات الجرافيت بأحجام وأشكال مختلفة وفقًا لاحتياجات العملاء.
مادة الجرافيت من SGL:
| المعلمة النموذجية: R6510 | |||
| فِهرِس | معيار الاختبار | قيمة | وحدة |
| متوسط حجم الحبوب | ايزو 13320 | 10 | ميكرومتر |
| الكثافة الظاهرية | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | جم/سم3 |
| المسامية المفتوحة | DIN66133 | 10 | % |
| حجم المسام متوسط | DIN66133 | 1.8 | ميكرومتر |
| نفاذية | DIN 51935 | 0.06 | سم²/ثانية |
| صلابة روكويل HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| المقاومة الكهربائية النوعية | DIN IEC 60413/402 | 13 | ميكرومتر |
| قوة الانحناء | DIN IEC 60413/501 | 60 | ميجا باسكال |
| قوة الضغط | DIN 51910 | 130 | ميجا باسكال |
| معامل يونغ | DIN 51915 | 11.5×10³ | ميجا باسكال |
| التمدد الحراري (20-200 درجة مئوية) | DIN 51909 | 4.2 × 10-6 | K-1 |
| الموصلية الحرارية (20 درجة مئوية) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
صُمم خصيصًا لتصنيع الخلايا الشمسية عالية الكفاءة، ويدعم معالجة رقائق G12 كبيرة الحجم. يُحسّن تصميم الناقل المُحسّن الإنتاجية بشكل ملحوظ، مما يُتيح معدلات إنتاج أعلى وتكاليف إنتاج أقل.
| غرض | يكتب | حامل رقاقة رقم |
| قارب PEVCD Grephite - سلسلة 156 | قارب من الجرافيت 156-13 | 144 |
| قارب من الجرافيت 156-19 | 216 | |
| قارب جريفيت 156-21 | 240 | |
| قارب جرافيت 156-23 | 308 | |
| قارب PEVCD Grephite - سلسلة 125 | قارب جريفيت 125-15 | 196 |
| قارب جريفيت 125-19 | 252 | |
| قارب جرافيتي 125-21 | 280 |
