يُعدّ حامل رقاقة الجرافيت من VET Energy، المُصمّم خصيصًا لعملية الترسيب الكيميائي للبخار المُعزّز بالبلازما (PECVD)، عنصرًا أساسيًا في هذه العملية. يُصنع هذا المنتج من مادة جرافيت عالية النقاء والكثافة، ويتميز بمقاومة فائقة للحرارة العالية والتآكل، بالإضافة إلى ثبات أبعاده، مما يوفر منصة دعم ثابتة لعملية PECVD، ويضمن تجانس طبقة الترسيب واستوائها.
إن تصميم "دعم الجرافيت" لدعامة رقاقة الجرافيت من VET Energy لا يدعم الرقاقة بشكل فعال فحسب، بل يوفر أيضًا استقرارًا حراريًا في بيئة PECVD ذات درجة الحرارة العالية والضغط العالي لضمان استقرار العملية.
تتميز دعامة رقاقة الجرافيت المستخدمة في عملية الترسيب الكيميائي للبخار المعزز بالبلازما (PECVD) من شركة VET Energy بالخصائص التالية:
▪نقاء عالٍ:محتوى شوائب منخفض للغاية، لتجنب تلوث الفيلم، لضمان جودة الفيلم.
▪كثافة عالية:يتميز بكثافة عالية وقوة ميكانيكية عالية، ويمكنه تحمل درجات الحرارة العالية والضغط العالي في بيئة الترسيب الكيميائي للبخار المعزز بالبلازما.
▪ثبات أبعاد جيد:تغييرات طفيفة في الأبعاد عند درجة حرارة عالية لضمان استقرار العملية.
▪موصلية حرارية ممتازة:ينقل الحرارة بكفاءة لمنع ارتفاع درجة حرارة الرقاقة.
▪مقاومة عالية للتآكل:قادر على مقاومة التآكل الناتج عن مختلف الغازات المسببة للتآكل والبلازما.
▪خدمة مخصصة:يمكن تخصيص طاولات الدعم المصنوعة من الجرافيت بأحجام وأشكال مختلفة وفقًا لاحتياجات العملاء.
مادة الجرافيت من شركة SGL:
| المعلمة النموذجية: R6510 | |||
| فِهرِس | معيار الاختبار | قيمة | وحدة |
| متوسط حجم الحبوب | ISO 13320 | 10 | ميكرومتر |
| الكثافة الظاهرية | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | جم/سم3 |
| مسامية مفتوحة | DIN66133 | 10 | % |
| حجم المسام متوسط | DIN66133 | 1.8 | ميكرومتر |
| نفاذية | DIN 51935 | 0.06 | سم²/ث |
| صلابة روكويل HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| المقاومة الكهربائية النوعية | DIN IEC 60413/402 | 13 | ميكرو أوم متر |
| قوة الانحناء | DIN IEC 60413/501 | 60 | ميجا باسكال |
| قوة الضغط | DIN 51910 | 130 | ميجا باسكال |
| معامل يونغ | DIN 51915 | 11.5×10³ | ميجا باسكال |
| التمدد الحراري (20-200 درجة مئوية) | DIN 51909 | 4.2 × 10-6 | K-1 |
| الموصلية الحرارية (20 درجة مئوية) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
صُممت هذه التقنية خصيصاً لتصنيع الخلايا الشمسية عالية الكفاءة، وتدعم معالجة رقائق السيليكون كبيرة الحجم من نوع G12. يُحسّن تصميم الحامل المُحسّن الإنتاجية بشكل ملحوظ، مما يُتيح معدلات إنتاج أعلى وتكاليف إنتاج أقل.
| غرض | يكتب | حامل رقاقة رقمي |
| قارب PEVCD Grephite - سلسلة 156 | قارب من الجرافيت 156-13 | 144 |
| قارب من الجرافيت 156-19 | 216 | |
| قارب من الجرافيت 156-21 | 240 | |
| قارب جرافيت 156-23 | 308 | |
| قارب PEVCD Grephite - سلسلة 125 | قارب من الجرافيت 125-15 | 196 |
| قارب جريفيت 125-19 | 252 | |
| قارب جرافيت 125-21 | 280 |
