دعامة رقاقة الجرافيت PECVD

وصف مختصر:

صُممت دعامة رقاقة الجرافيت من VET Energy لضمان الدقة والأداء، وهي المادة المثالية للاستخدام في عمليات معالجة الرقاقات المتقدمة، حيث يُعدّ الاستقرار الحراري العالي والأداء المتواصل أمرًا بالغ الأهمية. سواء كنت تعمل على رقائق أشباه الموصلات أو غيرها من المواد الحساسة، فإن دعامة الجرافيت عالية الجودة هذه ستعزز موثوقية عملياتك وجودة منتجاتك، مما يجعلها مكونًا أساسيًا في التصنيع الحديث.

أرسل لنا بريدًا إلكترونيًا تنزيل بصيغة PDF

تفاصيل المنتج

علامات المنتج

دعامة رقاقة الجرافيت لعملية PECVD من VET Energy هي مادة استهلاكية أساسية مصممة لعملية PECVD (الترسيب الكيميائي للبخار المُحسَّن بالبلازما). هذا المنتج مصنوع من مادة جرافيت عالية النقاء والكثافة، تتميز بمقاومة ممتازة لدرجات الحرارة العالية والتآكل وثبات الأبعاد وغيرها من الخصائص، مما يوفر منصة دعم مستقرة لعملية PECVD، مما يضمن اتساق وتجانس ترسيب الأغشية.

لا يستطيع تصميم "دعم الجرافيت" لدعامة رقاقة الجرافيت VET Energy دعم الرقاقة بشكل فعال فحسب، بل يوفر أيضًا ثباتًا حراريًا في بيئة PECVD ذات درجة الحرارة العالية والضغط العالي لضمان استقرار العملية.

يتمتع دعامة رقاقة الجرافيت PECVD من VET Energy بالخصائص التالية:

▪نقاء عالي:محتوى الشوائب منخفض للغاية، لتجنب تلوث الفيلم، لضمان جودة الفيلم.

▪كثافة عالية:كثافة عالية، قوة ميكانيكية عالية، يمكنها تحمل درجة الحرارة العالية والضغط العالي في بيئة PECVD.

▪استقرار أبعادي جيد:تغييرات أبعادية صغيرة في درجات الحرارة العالية لضمان استقرار العملية.

▪موصلية حرارية ممتازة:نقل الحرارة بشكل فعال لمنع ارتفاع درجة حرارة الرقاقة.

▪مقاومة قوية للتآكل:قادرة على مقاومة التآكل بواسطة الغازات المسببة للتآكل المختلفة والبلازما.

▪خدمة مخصصة:يمكن تخصيص طاولات دعم الجرافيت بأحجام وأشكال مختلفة وفقًا لاحتياجات العملاء.

مادة الجرافيت من SGL:

المعلمة النموذجية: R6510
فِهرِس	معيار الاختبار	قيمة	وحدة
متوسط حجم الحبوب	ايزو 13320	10	ميكرومتر
الكثافة الظاهرية	DIN IEC 60413/204	1.83	جم/سم³
المسامية المفتوحة	DIN66133	10	%
حجم المسام متوسط	DIN66133	1.8	ميكرومتر
نفاذية	DIN 51935	0.06	سم²/ثانية
صلابة روكويل HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
المقاومة الكهربائية النوعية	DIN IEC 60413/402	13	ميكرومتر
قوة الانحناء	DIN IEC 60413/501	60	ميجا باسكال
قوة الضغط	DIN 51910	130	ميجا باسكال
معامل يونغ	DIN 51915	11.5×10³	ميجا باسكال
التمدد الحراري (20-200 درجة مئوية)	DIN 51909	4.2 × 10^-6	K^-1
الموصلية الحرارية (20 درجة مئوية)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

صُمم خصيصًا لتصنيع الخلايا الشمسية عالية الكفاءة، ويدعم معالجة رقائق G12 كبيرة الحجم. يُحسّن تصميم الناقل المُحسّن الإنتاجية بشكل ملحوظ، مما يُتيح معدلات إنتاج أعلى وتكاليف إنتاج أقل.

غرض	يكتب	حامل رقاقة رقم
قارب PEVCD Grephite - سلسلة 156	قارب من الجرافيت 156-13	144
	قارب من الجرافيت 156-19	216
	قارب جريفيت 156-21	240
	قارب جرافيت 156-23	308
قارب PEVCD Grephite - سلسلة 125	قارب جريفيت 125-15	196
	قارب جريفيت 125-19	252
	قارب جرافيتي 125-21	280