1. Grafietkristalboot met CVD-SiC-laag
Grafiet is maklik om te verwerk en kan deur verskeie prosedures van 'n enkele blokmateriaal in 'n enkelstuk kristalboot gemaak word. Aangesien grafiet 'n poreuse materiaal is, moet 'n SiC-laag met 'n dikte van ongeveer 100 μm op die oppervlak bedek word om die gedeeltelike probleem te voorkom wat veroorsaak word deur direkte blootstelling van die grafietoppervlak aan verskeie halfgeleiervervaardiging. Die dikte van dieCVD-SiC-laagis nie maklik om te beheer nie, veral in sommige diep gate en hoeke waar die laag dunner kan wees. As gevolg van die wanverhouding van CTE (koëffisiënt van termiese uitbreiding) tussen die grafietliggaam en die SiC-film (25-1400 ℃, met 'n gemiddelde van 4.4 × 10e-6/℃ vir SIC en 7.1 × 10e-6/℃ vir grafiet), is die SiC-film gewoonlik geneig om af te val na verskeie temperatuurstygings en -dalings. Wanneer grafiet blootgestel word, sal korrosiewe gasse of vloeistowwe die poreuse grafietliggaam binnedring en moeilik wees om heeltemal te verwyder, wat lei tot die vorming van deeltjies in hoëtemperatuurprosesse. Hierdie SiC-bedekte grafietboot is die goedkoopste en het die kortste lewensduur, ongeveer een jaar.
2. Herkristalliseerde SiC-kristalboot met CVD-SiC-laag
Herkristalliseerde SiC-kristalbootjies word gewoonlik gevorm deur eers verskeie eenheidsonderdele te sinter en te verwerk, dan elke onderdeel met Si-pasta by hoë temperature te bind om 'n kristalboot te vorm, en uiteindelik 'n CVD-SiC-laag (ongeveer 100 µm) aan te wend. Omdat herkristallisasie poreus is, kan deeltjies ook sonder 'n SiC-laag in halfgeleierprosesse ingebring word. Boonop kan die Si-pasta in die bindingsone nie dieselfde hoë temperatuur as die SiC-materiaal weerstaan nie. Die vervaardigingsproses van hierdie herkristalliseerde SiC-kristalboot met CVD-SiC-laag is die langste en die koste is baie hoog. In vergelyking met die grafietkristalboot wat met SiC bedek is, het die herkristalliseerde SiC-kristalboot wat met CVD-SiC bedek is geen CTE-wanpassingsprobleem nie, maar suurwas en botsing kan ook veroorsaak dat die SiC-laag afval. Die lewensduur daarvan is effens langer, ongeveer 2 tot 3 jaar.
3. Eenstuk SiC-kristalboot sonder CVD-laag
Vir kristalbote sonder CVD-laag moet die oppervlak dig wees. Daar is twee tipes digte SiC-materiale: druklose gesinterde SiC (SSiC) en reaksie-gesinterde SiC (RBSiC, ook bekend as silikon-deurdringde SiC, SiSiC). Nie een van hierdie twee tipes SiC kan egter in een eenheid soos kwarts saamgesmelt word nie. Dit is nie maklik om SiC uit poeier te vorm en dit in 'n benaderde vorm van 'n eenstuk-enkelstuk-kristalboot te brand nie. Boonop is SiC baie hard en moeilik om te verwerk, wat lei tot 'n uiters hoë verwerkingskoste vir eenstuk-enkelstuk-SiC-kristalbote. Alhoewel RBSiC effens makliker is om 'n benaderde vorm te vorm as SSiC, is dit steeds baie hard. Daarbenewens bevat RBSC 10 tot 15% vry Si, wat dit nie in staat stel om dieselfde hoë temperature as SSiC-materiale te weerstaan nie. Oor die algemeen kan dit temperature onder 1400 °C weerstaan. Boonop word die vry Si maklik deur HF-suur geëts, wat lei tot deeltjies.
4. Kallex SiC Modulêre Kristalboot
Die onderdele van die eenheid word verwerk deur middel van vorming, sintering en slyp met behulp van druklose gesinterde SiC-materiaal met 'n suiwerheid van 99.675%. Dan word dit saam met SSiC-skroewe, moere, ens. gekombineer en met SSiC-penne vasgemaak om die dravermoë te verseker. Sonder SiC-laag is daar geen risiko van gedeeltelike beskadiging van die laag nie. Boonop kan dit vir 'n lang tyd in strawwe omgewings, soos hoë temperature (1600 ℃) en HF-suur, gebruik word, met 'n lewensduur van meer as vyf jaar.
Plasingstyd: 19 Augustus 2025