1. Boti ya Fuwele ya Graphite yenye Mipako ya CVD-SiC
Grafiti ni rahisi kusindika na inaweza kutengenezwa kuwa boti ya fuwele ya kipande kimoja kupitia taratibu nyingi kutoka kwa nyenzo ya block moja. Kwa kuwa grafiti ni nyenzo yenye vinyweleo, safu ya SiC yenye unene wa takriban 100μm lazima ipakwe juu ya uso wake ili kuzuia tatizo la sehemu linalosababishwa na mfiduo wa moja kwa moja wa uso wa grafiti kwa utengenezaji mbalimbali wa nusu-semiconductor. Hata hivyo, unene waMipako ya CVD-SiCSi rahisi kudhibiti, hasa katika baadhi ya mashimo na pembe zenye kina kirefu ambapo mipako inaweza kuwa nyembamba. Kutokana na kutolingana kwa CTE (mgawo wa upanuzi wa joto) kati ya mwili wa grafiti na filamu ya SiC (25-1400℃, kwa wastani wa 4.4×10e-6/℃ kwa SIC na 7.1×10e-6/℃ kwa grafiti), filamu ya SiC kwa kawaida huelekea kuanguka baada ya kuongezeka na kushuka kwa joto mara kadhaa. Grafiti inapofichuliwa, gesi au vimiminika vinavyosababisha kutu vitaingia kwenye mwili wa grafiti yenye vinyweleo na kuwa vigumu kuondoa kabisa, na hivyo kusababisha uzalishaji wa sehemu katika michakato ya halijoto ya juu. Boti hii ya grafiti iliyofunikwa na SiC ndiyo ya bei nafuu zaidi na ina muda mfupi zaidi wa kuishi, takriban mwaka mmoja.
2. Boti ya Fuwele ya SiC Iliyotengenezwa upya yenye Upako wa CVD-SiC
Boti za fuwele za SiC zilizotengenezwa upya kwa kawaida huundwa kwa kuchuja na kusindika sehemu kadhaa za kitengo kwanza, kisha kuunganisha kila sehemu na Si paste kwenye halijoto ya juu ili kuunda boti ya fuwele, na hatimaye kutumia mipako ya CVD-SiC (karibu 100um). Kwa sababu uundaji upya wa crystallization ni wenye vinyweleo, sehemu ndogo inaweza pia kuletwa katika michakato ya nusu-semiconductor bila mipako ya SiC. Kwa kuongezea, Si paste katika eneo la uunganishaji haiwezi kuhimili halijoto ya juu sawa na nyenzo ya SiC. Mchakato wa utengenezaji wa boti hii ya fuwele ya SiC iliyotengenezwa upya yenye mipako ya CVD-SiC ndio mrefu zaidi na gharama ni kubwa sana. Ikilinganishwa na boti ya fuwele ya grafiti iliyofunikwa na SiC, boti ya fuwele ya SiC iliyotengenezwa upya iliyofunikwa na CVD-SiC haina tatizo la kutolingana kwa CTE, lakini kuosha na kugongana kwa asidi pia kunaweza kusababisha mipako ya SiC kuanguka. Maisha yake ya huduma ni marefu kidogo, kama miaka 2 hadi 3.
3. Boti ya Fuwele ya SiC yenye kipande kimoja bila mipako ya CVD
Kwa boti za fuwele zisizo na mipako ya CVD, uso lazima uwe mnene. Kuna aina mbili za vifaa vya SiC vyenye mnene: SiC isiyo na shinikizo iliyochomwa (SSiC) na SiC iliyochomwa na mmenyuko (RBSiC, pia inajulikana kama SiC iliyopenyeka na silicon, SiSiC). Hata hivyo, hakuna hata moja kati ya aina hizi mbili za SiC inayoweza kuunganishwa katika kitengo kimoja kama quartz. Si rahisi kuunda SiC kutoka kwa unga na kuichoma kuwa umbo la takriban la boti ya fuwele ya kipande kimoja. Zaidi ya hayo, SiC ni ngumu sana na ni vigumu kusindika, jambo ambalo husababisha gharama kubwa sana ya usindikaji kwa boti za fuwele za SiC zenye kipande kimoja. Ingawa RBSiC ni rahisi kidogo kuunda umbo la takriban kuliko SSiC, bado ni ngumu sana. Kwa kuongezea, RBSC ina Si 10 hadi 15% isiyo na kikomo, ambayo inafanya isiweze kuhimili halijoto ya juu sawa na nyenzo za SSiC. Kwa ujumla, inaweza kuhimili halijoto chini ya 1400 ° C. Zaidi ya hayo, Si tupu huchongwa kwa urahisi na asidi ya HF, na kusababisha sehemu ndogo.
4. Boti ya Kioo ya Kallex SiC Modular
Sehemu za kitengo husindikwa kwa kutengeneza, kuchuja na kusaga kwa kutumia nyenzo ya SiC isiyo na shinikizo iliyochuja yenye usafi wa 99.675%. Kisha changanya pamoja na skrubu za SSiC, karanga, n.k., na uzirekebishe kwa pini za SSiC ili kuhakikisha uwezo wa kubeba mzigo. Bila mipako ya SiC, hakuna hatari ya uharibifu wa sehemu ya mipako. Zaidi ya hayo, inaweza kutumika kwa muda mrefu katika mazingira magumu, kama vile halijoto ya juu (1600℃) na asidi ya HF, yenye maisha ya huduma ya zaidi ya miaka mitano.
Muda wa chapisho: Agosti-19-2025