1. CVD-SiC பூச்சுடன் கூடிய கிராஃபைட் படிகப் படகு
கிராஃபைட்டை எளிதில் பதப்படுத்தலாம், மேலும் ஒரே கட்டியிலிருந்து பல செயல்முறைகள் மூலம் அதை ஒற்றைத் துண்டு படிகப் படகாக உருவாக்க முடியும். கிராஃபைட் ஒரு நுண்துளைகள் கொண்ட பொருள் என்பதால், பல்வேறு குறைக்கடத்தி உற்பத்திப் பொருட்களுக்கு கிராஃபைட்டின் மேற்பரப்பு நேரடியாக வெளிப்படுவதால் ஏற்படும் துகள் சிக்கலைத் தடுக்க, அதன் மேற்பரப்பில் சுமார் 100μm தடிமன் கொண்ட ஒரு SiC அடுக்கு பூசப்பட வேண்டும். இருப்பினும், அதன் தடிமன்CVD-SiC பூச்சுஇதைக் கட்டுப்படுத்துவது எளிதல்ல, குறிப்பாக பூச்சு மெல்லியதாக இருக்கக்கூடிய சில ஆழமான துளைகள் மற்றும் மூலைகளில். கிராஃபைட் பகுதிக்கும் SiC படலத்திற்கும் இடையிலான CTE (வெப்ப விரிவாக்கக் குணகம்) பொருந்தாமையின் காரணமாக (25-1400℃, SiC-க்கு சராசரியாக 4.4×10⁻⁶/℃ மற்றும் கிராஃபைட்டிற்கு 7.1×10⁻⁶/℃), பலமுறை வெப்பநிலை ஏறி இறங்கிய பிறகு SiC படலம் பொதுவாக உதிர்ந்துவிடும். கிராஃபைட் வெளிப்படும்போது, அரிக்கும் வாயுக்கள் அல்லது திரவங்கள் நுண்துளைகள் கொண்ட கிராஃபைட் பகுதிக்குள் நுழைந்து, அவற்றை முழுமையாக அகற்றுவது கடினமாகிறது. இதனால், உயர்-வெப்பநிலை செயல்முறைகளில் துகள்கள் உருவாகின்றன. இந்த SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் படகு மிகவும் மலிவானது மற்றும் சுமார் ஒரு வருடமே நீடிக்கும் மிகக் குறுகிய ஆயுட்காலத்தைக் கொண்டது.
2. CVD-SiC பூச்சுடன் கூடிய மறுபடிகமாக்கப்பட்ட SiC படிகப் படகு
மறுபடிகமாக்கப்பட்ட SiC படிகப் படகுகள் பொதுவாக முதலில் பல அலகு பாகங்களை உருக்கிச் சூடாக்கிச் செயலாக்குவதன் மூலமும், பின்னர் ஒவ்வொரு பாகத்தையும் உயர் வெப்பநிலையில் Si பசையுடன் பிணைத்து ஒரு படிகப் படகை உருவாக்குவதன் மூலமும், இறுதியாக அதன் மீது ஒரு CVD-SiC பூச்சை (சுமார் 100um) பூசுவதன் மூலமும் உருவாக்கப்படுகின்றன. மறுபடிகமாக்கல் செயல்முறை நுண்துளைகள் கொண்டிருப்பதால், SiC பூச்சு இல்லாமலும் துகள்களைக் குறைக்கடத்தி செயல்முறைகளில் அறிமுகப்படுத்த முடியும். மேலும், பிணைப்புப் பகுதியில் உள்ள Si பசையானது, SiC பொருளைப் போன்ற அதே உயர் வெப்பநிலையைத் தாங்காது. CVD-SiC பூச்சுடன் கூடிய இந்த மறுபடிகமாக்கப்பட்ட SiC படிகப் படகின் உற்பத்தி செயல்முறை மிகவும் நீண்டது மற்றும் அதன் விலையும் மிக அதிகம். SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் படிகப் படகுடன் ஒப்பிடும்போது, CVD-SiC பூசப்பட்ட மறுபடிகமாக்கப்பட்ட SiC படிகப் படகில் CTE பொருந்தாமைச் சிக்கல் இல்லை, ஆனால் அமிலக் கழுவல் மற்றும் மோதல் காரணமாகவும் SiC பூச்சு உதிர்ந்து போகக்கூடும். இதன் ஆயுட்காலம் சற்றே அதிகம், சுமார் 2 முதல் 3 ஆண்டுகள் வரை.
3. CVD பூச்சு இல்லாத ஒற்றைத் துண்டு SiC படிகப் படகு
CVD பூச்சு இல்லாத படிகப் படகுகளுக்கு, மேற்பரப்பு அடர்த்தியாக இருக்க வேண்டும். அடர்த்தியான SiC பொருட்களில் இரண்டு வகைகள் உள்ளன: அழுத்தமில்லா உருக்குதல் SiC (SSiC) மற்றும் வினை உருக்குதல் SiC (RBSiC, சிலிக்கான் ஊடுருவிய SiC, SiSiC என்றும் அழைக்கப்படுகிறது). இருப்பினும், இந்த இரண்டு வகை SiC-களையும் குவார்ட்ஸைப் போல ஒரே அலகாக உருக்க முடியாது. தூளிலிருந்து SiC-ஐ உருவாக்கி, அதை ஒரு துண்டு படிகப் படகின் தோராயமான வடிவத்தில் உருக்குவது எளிதல்ல. மேலும், SiC மிகவும் கடினமானது மற்றும் பதப்படுத்துவது கடினம், இது ஒரு துண்டு SiC படிகப் படகுகளுக்கான பதப்படுத்தும் செலவை மிகவும் அதிகமாக்குகிறது. SSiC-ஐ விட RBSiC-ஐ தோராயமான வடிவத்தில் உருவாக்குவது சற்று எளிதாக இருந்தாலும், அதுவும் மிகவும் கடினமானது. கூடுதலாக, RBSiC-இல் 10 முதல் 15% வரை தனித்த Si உள்ளது, இது SSiC பொருட்களைப் போன்ற அதிக வெப்பநிலையைத் தாங்க முடியாததாக ஆக்குகிறது. பொதுவாக, இது 1400 ° C-க்குக் குறைவான வெப்பநிலையைத் தாங்கக்கூடியது. மேலும், தனித்த Si ஆனது HF அமிலத்தால் எளிதில் அரிக்கப்பட்டு, துகள்களாக மாறுகிறது.
4.காலெக்ஸ் SiC மாடுலர் கிரிஸ்டல் போட்
99.675% தூய்மை கொண்ட, அழுத்தமின்றி உருக்கப்பட்ட SiC பொருளைப் பயன்படுத்தி, இந்த அலகின் பாகங்கள் வடிவமைத்தல், உருக்குதல் மற்றும் அரைத்தல் செயல்முறைகள் மூலம் பதப்படுத்தப்படுகின்றன. பின்னர், அவை SSiC திருகுகள், நட்டுகள் போன்றவற்றைக் கொண்டு ஒன்றாக இணைக்கப்பட்டு, சுமை தாங்கும் திறனை உறுதி செய்வதற்காக SSiC முள்களைக் கொண்டு பொருத்தப்படுகின்றன. SiC பூச்சு இல்லாததால், துகள் பூச்சு சேதமடையும் அபாயம் இல்லை. மேலும், இது ஐந்து ஆண்டுகளுக்கும் மேலான சேவை ஆயுளுடன், உயர் வெப்பநிலை (1600℃) மற்றும் HF அமிலம் போன்ற கடுமையான சூழல்களில் நீண்ட காலம் பயன்படுத்தப்படலாம்.
பதிவிட்ட நேரம்: ஆகஸ்ட்-19-2025